Centrotherm扩散炉

接线柱
Spike TC
CMS（机器安 全系统）
Spike TC
超温监控
Spike TC 供电
温度测 量模块
炉丝及炉管
Spike T温）
Spike TC
工艺气体进 气管
炉丝与接线柱 接口设计
尾气管放 置 石英管
Paddle TC 放置口
炉门控制系统-TGA
Centrotherm的 传送皮带
皮带传 送电机
3.lift的运动方式：centrotherm的lift能实现上下和前后运动，石英舟的左右运动则是依 靠下方的传送带实现；
Centrotherm的lift， 只能上下和前后 运动
装载系统下的传 送带
4.储存架的位置数量：centrotherm的储存架位于lift同一位置，一共七个（由于储存架尚未安 装，此数量是从store架的形状看出）；
热排 酸排 尾气瓶 放置区
Bubbl er放 置区
尾气瓶 放置区
冷却水及 净化装置
酸排
Bubbler 放置区
冷却水及 净化装置
热排
气体控制 柜
气体控制 柜
热排口
炉体位 置
尾气瓶放置区和尾气瓶
尾气瓶放 置区 通向酸排 工艺气体（氧气， 大小氮）进气口
热排口
Paddle TC
凝结器
尾气管 防漏盘 沉淀收集
炉体部分—centrotherm
炉体部位包含炉体，控制柜和电源柜三个部分。
炉体部位包含五根炉管，控制柜里面包含着负责工艺程序执行的CESAR电脑,CMS和温度 控制器，电源柜负责供给整个机台所需的动力电源。
动力柜
控制柜
动力柜
控制柜
炉体
CCC电脑放 置处
动力柜
动力柜中的变压器
机体温度监控
CCC控制电脑与CMS
CCC控制电脑（ Cell Control Computer ）中包含用于创建和管理recipe的软件CCC-RM （Centrotherm Cell Control Recipe Manager）,用于对CESAR电脑进行集中控制。 CMS （central machine safety），错误监视单元，用于监视炉内，炉外，炉体及电路的 温度和冷却系统的工作状况，并将结果显示在CMI电脑用户界面上。
centrotherm净化风 机所放位置
centrotherm净化风 机外部
Gas cabinate—centrotherm
Centrotherm气源柜可以分为如下几个功能区：尾气瓶放置区，bubbler放置区，磷源温度 和液位监视区，气体控制区，热排，酸排，冷却水供给及净化区。其位置如图所示。
Centrotherm的炉门系统由专门的控制装置TGA（Toxic Gas Exhaust），其上有热排风来抽走 炉门开关过程中可能释放出的有毒气体和热量。
TGA
炉门开关 驱动电机
炉门进出 驱动电机
炉门装置
Load station
Centrotherm扩散炉的装载系统由冷却箱，桨及桨托，传送带系统，手动 上料台，lift，store shelf，真空吸笔装置，过滤箱，CMI电脑以及相关的控制 电路组成。
温度控制器（每个炉管有一个）：
采用REG97温度控制器，硬件部分由controller，transducer，pulse skipping unit组成。
CESAR控 制电脑
温度控制器
动力柜，控制柜，炉体与变压器分布
控制柜
动力柜
炉体
UPS电源
电力配置箱， 变压器
炉体情况
冷却水 管接口
冷却水管 接口
冷却箱
手动上料台
CMI电脑
1.桨托的形状和作用：centrotherm的桨托起到固定桨的作用，而桨的高低位则通过升 降整个传送系统来实现；
Centrotherm桨 托
桨 控制桨高低位 的联动装置 控制桨高低 位的电机
2.桨的传送方式：centrotherm是利用固定在一侧的传送皮带带动桨托运动；
Bubbler放置区
进气管
Bubbler 放置区
出气管 小氮管
至排风
至排风 至排风 至炉内
源温及液位监控区
内部情况
外部情况
气体控制区
MFC
气动阀
气体冷却水系统
酸排，热排系统
气源柜上的 热排
气源柜上的 酸排
废液收集 瓶
控制及监控系统
centrotherm主要控制系统的组成和作用如下：
1. CMI 计算机
每个机台一个，用于控制装卸系统并显示 CMS和CESAR电脑
2. CMS （central machine safety） 错误监视单元，用于监视炉内，炉外，炉 体及电路的温度和冷却系统的工作状况，并将结 果显示在CMI电脑用户界面上，系统对偏差的响应 可设置。
3. CESAR 控制电脑（每个炉体一个） 作用： 1） 创建或更改recipe 2） 定义recipe变量（工艺时间，温度， 压力，气流） 3） start，stop and cancel recipe 4） 数字控制温度 5） 控制气流 6） 装载机组参数设置 7） 与装卸系统进行通讯 8） 监视报警/中断状况（气流，温度，压力） 9） 通过级联控制器控制温度 10）通过级联温度控制进行自动拉温 11）存储一定数量的recipe 12）记录用户定义的工艺数据 13）对正在运行的工艺进行测试（执行工艺步骤，更改变量，设置/重置停止点等）
6. PLC（Programmable Logic Controls） 设备中装有三个PLC 一个用于控制整个机台的气体流量 一个用于控制整个机台的装卸机组 一个用于控制升降系统即lift
CMI控制界面
CESAR软件界面
Centrotherm扩散 炉设备结构简介
1
CONTENT
1、设备基本构成 2、炉体部分
3、Load station
4、Gas cabinate 5、控制及监控系统
基本构成—centrotherm
Centrotherm扩散炉机台主体由装载系统，TGA，炉体部分和气源柜四部 分组成。其各部分功能如下： 1.装载系统：用于将上料台上的石英舟及未扩散硅片送入炉内，以及将 扩散完成的硅片传送到上料台。 2.TGA（Toxic Gas Exhaust）：用于驱动炉门，吸收在进舟和出舟过程 中可能泄漏出来的有毒气体。 3.炉体部分：机台的核心 部分，由五个炉体及相关的电 源系统和控制系统组成。 4.气源柜：用于提供扩散 工艺过程所需的各种工艺气体， 以及将扩散过程中产生的尾气 通过酸排风系统排出。
采用reg97温度控制器硬件部分由controllertransducerpulseskippingunit组扩散炉扩散炉控制柜动力电力配置箱变压扩散炉扩散炉spiketc温度测量模块spiketc供电cms机器安全系冷却水管接口冷却水管接口spiketc炉体情况接线柱扩散炉扩散炉spiketcspiketc包含两根热偶一根用于超温报警一根用于工艺工艺气体进气管paddletc放置尾气管放置炉丝及炉管炉丝与接线柱接口设计扩散炉扩散炉炉门控制系统tgacentrotherm的炉门系统由专门的控制装置tgatoxicgasexhaust其上有热排风来抽走炉门开关过程中可能释放出的有毒气体和热量
CMS
CCC电脑
CESAR 控制电脑(每个炉管有一个):
其作用为：创建或更改recipe， 定义recipe变量（工艺时间，温度，压力，气流），start， stop and cancel recipe，数字控制温度，控制气流，装载机组参数设置，与装卸系统进行通讯， 监视报警/中断状况（气流，温度，压力），通过级联控制器控制温度，通过级联温度控制进行自 动拉温，存储一定数量的recipe，记录用户定义的工艺数据，对正在运行的工艺进行测试（执行 工艺步骤，更改变量，设置/重置停止点等）
Centrotherm 储存架位置
5.控制方式：centrotherm的装载系统，recipe管理系统，程序运行和执行均由同一显示界 面控制；
Centrotherm 的控制界面
6.配置：centrotherm装载系统顶部有一个冷却箱，配有真空吸笔接口；
真空吸笔接口
Centrotherm冷却 箱
7. 净化风机位置：位置相同，都位于装载系统下部，但形状不一样。
4. Cell controller 其中包含用于创建和管理recipe的软件 CCC-RM（Centrotherm Cell Control Recipe Manager）,用于 对CESAR电脑进行集中遥控。
5. Temperature controller 采用REG97温度控制器，硬件部分由 controller，transducer，pulse skipping unit组成。