磁控溅射碳纳米管SnO2材料性能的研究
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磁控溅射碳纳米管SnO2材料性能的研究
林伟;黄世震;陈文哲
【期刊名称】《陶瓷学报》
【年(卷),期】2008(029)003
【摘要】采用磁控溅射的方法制备薄膜型碳纳米管SnO2气敏元件,通过对气敏元件在不同气体中的响应进行分析,以及对气敏元件进行SEM和XRD实验,研究碳纳米管SnO2材料的气敏性能.实验表明:磁控溅射碳纳米管SnO2气敏元件对NO2气体有很高的灵敏度,对其他气体不敏感.
【总页数】3页(P264-266)
【作者】林伟;黄世震;陈文哲
【作者单位】福州大学材料科学与工程学院,福州,350002;福州大学物理与信息工程学院,福州,350002;福建省微电子集成电路重点实验室,福州,350002;福州大学材料科学与工程学院,福州,350002;福州大学物理与信息工程学院,福州,350002;福建省微电子集成电路重点实验室,福州,350002;福州大学材料科学与工程学院,福州,350002
【正文语种】中文
【中图分类】TB383
【相关文献】
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