XPS数据分析方法.ea

XPS数据分析
纵坐标：Intensity(cps)
横坐标：binding energy〔eV〕
除了氢氦元素，其他的元素都可以进行分析；先进行宽扫，确定样品有何种元素，再对该元素进行窄扫。

该元素的不同键接方式都对应不同的峰，所以对元素窄扫的峰要进行分峰〔分峰之前要进行调整基线〕。

如何分峰，不同的键接方式会对应不同的结合能。

第一步：先把元素的窄扫峰用origin画出来；
纵坐标：Intensity(cps)
横坐标：binding energy〔eV〕
第二步：调整基线；
选择Ceate Baseline-----next------next-----add/modify添加〔双击〕或去除〔delete〕基点，保证基线水平-----Finish
最小化图，会出现调整基线后的坐标。

插入一列，
单机右键选择set column values 输入col〔b〕-col〔d〕：即开始纵坐标减去调整基线后的纵坐标。

再用横坐标与刚开始得到的纵坐标作图------调整基线后的XPS窄扫图。

第三步：对峰求积分面积；
选择integrate peaks-----next-------狂点------完成
即area为峰的面积。

第四步：分峰较难〔有专门的分峰软件，origin也能分峰〕
第五步：求组分元素比：
元素比等于：窄扫峰面积/XPS灵敏度因子〔每一个元素的灵敏度因子不一致〕
咱们这边西工大的XPS设备选择的是铝板〔AlKα〕。