铜镓氧红外透明导电纳米晶膜的制备方法[发明专利]
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专利名称：铜镓氧红外透明导电纳米晶膜的制备方法专利类型：发明专利
发明人：韩美杰
申请号：CN201510920077.5
申请日：20151210
公开号：CN105506585A
公开日：
20160420
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本发明提供一种铜镓氧红外透明导电纳米晶膜的制备方法，依次包括铜镓前驱液配置步骤、所述铜镓前驱液的旋涂成膜步骤、成膜后的低温退火步骤、以及高温热处理步骤。
本发明选用蓝宝石做为薄膜生长的衬底材料，采用简单溶液法制备，工艺简单能耗低，采用两步退火优化了晶膜表面的致密性，快速退火与降温可避免CuGaO高温下合成反应的逆反应，从而制备出成分较为单一的CuGaO纳米晶膜，提高了薄膜质量，使其在可见光区和红外光区都有较好的透过率和良好的导电性能。
申请人：上海电机学院
地址：200240 上海市闵行区江川路690号
国籍：CN
代理机构：上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：菅秀君
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