碳含量对电弧增强反应磁控溅射方法制备BCN薄膜热稳定性的影响

碳含量对电弧增强反应磁控溅射方法制备BCN薄膜热稳定性
的影响
陈向阳;张瑾;黄润;马胜利
【期刊名称】《机械工程材料》
【年(卷),期】2017(041)010
【摘要】利用电弧增强反应磁控溅射(AEMS)方法在高速钢基体上制备了BCN薄膜,通过改变石墨靶功率来调整BCN薄膜中碳元素的含量,采用傅里叶变换红外光谱仪、高分辨透射电镜、显微硬度计和划痕仪等设备研究了BCN薄膜的热稳定性.结果表明:BCN薄膜在高温下具有较好的热稳定性;随着碳含量的增加,高温退火后BCN薄膜原子排列的有序度增加,部分结合键发生转化或分解,结合力下降,BCN薄膜的热稳定性降低.
【总页数】4页(P44-47)
【作者】陈向阳;张瑾;黄润;马胜利
【作者单位】安徽理工大学机械工程学院,淮南 232001;西安交通大学金属材料强度国家重点实验室,西安 710049;安徽理工大学机械工程学院,淮南 232001;安徽理工大学材料科学与工程学院,淮南 232001;西安交通大学金属材料强度国家重点实验室,西安 710049
【正文语种】中文
【中图分类】TG174.44
【相关文献】
1.靶电流密度对热丝增强等离子磁控溅射制备Cr2N薄膜结构与性能的影响 [J], 张鑫;王晓明;高健波;郭媛媛;解志文;周艳文
2.反应射频磁控溅射法制备HfTaO薄膜的热稳定性和光学性能 [J], 马春雨;苗春雨;李树林;王文娟;张庆瑜
3.直流反应磁控溅射制备TiO2薄膜过程中热处理温度对薄膜性能的影响 [J], 黄代勇;刘保顺;赵修建
4.反应磁控溅射方法制备 BCN 薄膜的高温抗氧化性 [J], 陈向阳;张瑾;胡海霞;马胜利
5.电弧增强磁控溅射制备的纳米复合Si-C-N超硬薄膜的结构与性能 [J], 郑凤新因版权原因，仅展示原文概要，查看原文内容请购买。