特气管道施工工艺标准
特种气体系统管道安装施工工艺流程和质量要求
特种气体系统管道安装施工工艺流程和质量要求1.引言1.1 概述概述特种气体系统管道安装施工工艺流程和质量要求是在特种气体系统建设过程中必不可少的一项工作。
随着特种气体在各个领域的广泛应用，特种气体系统的建设和使用变得越来越重要。
本文将详细介绍特种气体系统管道安装施工的工艺流程和质量要求，并提供一些建议和指导，以确保特种气体系统的安全稳定运行。
特种气体系统管道安装施工工艺是一项复杂的工作，需要充分考虑管道的选择、布置与安装，以及质量控制、连接质量要求、测试与验收等方面。
从前期准备工作开始，施工人员需要对建设现场进行评估和规划，确保所有必要的资料和设备准备就绪，同时制定相应的安全措施和应急预案。
管道材料的选择与采购也是非常重要的一环。
不同特种气体系统对管道材料的要求各不相同，施工人员需要根据特种气体的性质和使用环境选择合适的管道材料，并确保采购的管道材料符合相应的标准和要求。
在管道布置与安装过程中，施工人员需要遵循相应的施工工艺，确保管道的布置合理、连接牢固、安装正确。
同时，施工人员还需要注意管道的保温隔热、防腐蚀等工作，以确保管道的使用寿命和安全性。
与此同时，施工过程中的质量控制也是至关重要的。
施工人员需要根据相关规范和要求，进行严格的质量检查和控制，及时发现和解决施工中的质量问题，确保特种气体系统的质量。
在管道连接质量要求方面，施工人员需要确保管道连接紧密、无渗漏，并按照相关标准和规范进行连接，以确保特种气体的安全运输和使用。
最后，在管道安装完毕后，施工人员需要进行管道的测试与验收工作。
通过各项测试，如压力测试、泄漏检测等，验证管道的安全性和稳定性，并进行相应的验收工作，以确保管道的质量和性能达到设计要求。
总之，特种气体系统管道安装施工工艺流程和质量要求是确保特种气体系统安全运行的关键环节。
本文将详细介绍以上各个方面的内容，并提供相关建议和指导，希望能为特种气体系统的建设和使用提供一定的参考和指引。
超高纯特气双层管道施工工艺
超高纯特气双层管道施工工艺半导体及太阳能薄膜工艺会使用到超高纯硅烷SiH4、磷烷PH3，砷烷AsH3、乙硼烷B2H6、六氟化钨WF6、高纯氨NH3等特气，这些气体具有易燃、剧毒、强腐蚀等特性，但却是精密半导体电子元器件、新能源光电产品制造的必不可少的重要原料。
生产中若发生气体泄漏，将会造成非常严重的产品质量和人身伤亡事故。
为确保安全，此类高纯特气的输送管道采用不锈钢双层管道。
该管道施工时，对作业环境洁净度、管道内外管材的洁净度、焊接和安装质量的要求都非常高。
本篇就超高纯特气双层管道的施工提出几点建议供同行参考。
工艺原理采用水平15°倾斜摆放姿势进行加工，顺管内介质流向高纯氮气（99.9999%）进行吹扫，不锈钢弹簧填充双层管夹层后用专用弯管装置进行弯管加工，双层管道内外充纯氩（99.9999%）保护的全自动轨道氩弧焊连接和柔性金属垫片端面密封连接，结合氦气检漏的工艺原理，保证内外层管道洁净度、密闭性、弯管质量以及管道焊接安装质量。
3 加工安装操作要点3.1 洁净区域管制现场设置三段预制加工洁净区域，建立临时洁净室，要求净化等级不低于9级，确保管件加工的洁净度，进入洁净室的人员必须穿戴洁服、洁净帽、洁净鞋、洁净手套。
见图3.1。
3.2管道加工3.2.1管口加工管口的加工是本施工技术的关键点之一，管道切割、预制均在洁净环境进行，同时确保管道切割前表面无有害痕迹、破损。
管道开封前应做好管内冲氮的准备工作。
管道在取掉两层塑料外包装后，要轻轻的取下两端的塑料密封套，并立即充氮，防止空气污染。
管道切割时使用不锈钢专用切割器缓慢进行切割，操作时保持切面直度(90°±0.5)。
管道水平15°横放固定倾斜摆放姿势进行切割及端面处理，并顺介质下流方向冲放高纯氮气，防止切屑进入管内。
切割后采用端面处理器进行端面处理，铣去毛刺；处理过程中，确保端面朝下(一直保持端面朝下)，处理后轻轻抖动消除切屑；加工后使切面朝下，从上方敲打5次，然后再次顺管内介质流用高纯氮气冲吹，切割面位于氮气下流方向。
特种气体管道的设计与施工
特种气体系统的设计与施工前言：一个工艺技术先进的大规模集成电路工厂的硅片制造过程中，全部工艺大约要使用50种不同的电子气体。
其中大部分为特种气体。
本文就特种气体系统的设计与施工方面做一个简单描述。
关键词：特种气体气瓶柜316L EP一：概念特气输送系统是指：将特种气体从气源端、根据工艺设备的工艺需求、通过对流量和压力等参数的控制，通过管道、无二次污染、稳定的输送到工艺设备的用气点。
其基本流程是：气源控制柜管道传输VMB 用气点二：分类特种气体根据气体性质不同一般分为：惰性气体、易燃易爆气体、有毒气体和腐蚀性气体；根据供应包装的不同分为：特种气体和大宗特种气体。
三：供气系统的选择1. 简单供气系统简单供气系统主要针对4英寸及以下半导体芯片厂、半导体材料的科研机构以及一些单台的工艺设备等。
它们的制程简单，通常不需要连续性供气，对气体供应系统的投资预算低。
由于气体流量小，不经常使用，特种气体气源多采用普通钢瓶（<50L）。
输送系统多采用半自动气瓶柜或气瓶架加简单的控制面板；配置继电器控制，自动切换，手动吹扫，手动放空，有害性气体配备紧急切断阀。
惰性气体瓶架则采用全手动系统，有些甚至用单瓶系统。
所有气体共用一个气体房，甚至没有气体房，特气钢瓶和输送系统有时放在回风夹道，或直接放在工艺制造设备旁边或隔壁。
如果没有特别危险气体一般共用一个抽风系统。
简单供气系统通常存在安全隐患。
2. 常规供气系统常规供气系统主要应用于4-6英寸大规模集成电路厂，50MW以下的太阳能电池生产线，发光二极管的芯片工序线以及其它用气量中等规模的电子行业。
对气体纯度控制的要求不苛刻，系统配备在满足安全的前提下尽量简单，节省投资。
特种气体采用普通钢瓶（<50L）供气。
特气输送系统采用气瓶柜。
配置全自动PLC控制器，彩色触摸屏；气体面板采用气动阀门和压力传感器，可实现自动切换，自动氮气吹扫，自动真空辅助放空；多重安全防护措施，泄漏侦测，远程紧急切断；专用氮气吹扫起源等等。
特殊气体管路施工规范
（29）易燃物品頇放置於有蓋容器內。
（30）任何閥、開關插座、電源插座，不可隨意開、關、拔除(機台管線)。 （31）任何配管配線、材料，非經過監工人員同意，不可擅自任意更改。
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Piping installation管路架設
在無塵室或簡易潔淨室執行高潔淨度配管工作時，必頇遵循下列的規定。 1、現場工作規定
2、.配管圖看法與管長之決定
配管圖尺寸是表示配管中心之 尺寸或中心配管末端之長之謂。
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通常在配管分岐點實施熔接很多，茲以下圖表示之。
至中心點之長度約 +3 mm (1/4” OD)(則3.15 mm -------3mm)約 +5 mm (3/8” OD)
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使用TUBE BENDER 來加以彎曲之中心點大約彎曲15R與直角彎曲比較，
a施工圖面施工詳圖及流程圖b施工說明書1依業主movein設備進度安排工程進度表2工程進度掌控工程進度執行3每日審核工程進度評估工程進度回報工地安全報告2對設備完成真空管路配管向業主提出完工報告3同本公司相同承包貴公司其它工程廠商及公司協調工程會議材料管理現場勘察執行工作4對施工技術用料施工人員監督工作5施工時要求事項
圖(一) (參考用)
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◆ 架設程序(圖二)
將工作管路兩端套上管套，連接沖吹氣體及閥 。
圖(二)
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◆ 裝封(在Clean booth內進行) 完成焊接之後，在管內充滿Ar氣，而且用無塵的塑膠紙在末端包裹兩層。 如果末端的閥已經連接好了，把閥也用塑膠紙裹起來。
2、現場施工
現埸焊接的人員必頇有受過高潔淨度配管技術檢定通過。 焊接工作
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※ 控制氬氣沖吹 ◆ 用壓力計或液位計察看尚餘有多少氬氣。
特气管道施工工艺标准1
QG/ZDⅡ-T03-12-2003 中国电子系统工程第二建设公司洁净厂房高纯气体管道施工工艺标准拟稿单位：总工程师办公室编制：邓顺志审核：王开源批准：侯忆二OO三年一月二十五日目录1、总则----------------------------------------------------------------------------------12、高纯气体的三个主要参数-------------------------------------------------------13、管道材料选择----------------------------------------------------------------------24、施工程序----------------------------------------------------------------------------45、图纸会审----------------------------------------------------------------------------56、工程测定----------------------------------------------------------------------------57、绘制管段图-------------------------------------------------------------------------58、设置预制洁净房-------------------------------------------------------------------69、材料检查确认----------------------------------------------------------------------610、保护气体的供给和管理---------------------------------------------------------911、管段预制--------------------------------------------------------------------------1112、现场配管施工--------------------------------------------------------------------1313、压力试验--------------------------------------------------------------------------1914、系统吹扫--------------------------------------------------------------------------2015、系统测试--------------------------------------------------------------------------21 附录1 露点、含湿量、绝对湿度换算表---------------------------------------24 附录2 洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级------------------------26 附录3 EP/BA管自动氩弧焊接钨棒尺寸表------------------------------------271.总则1.1本标准适用于洁净厂房高纯气体管道配管施工。
特气管道设备施工方法
特气管道设备施工方法我折腾了好久特气管道设备施工，总算找到点门道。
说实话，一开始我真的是瞎摸索。
我就只知道特气这东西挺危险的，所以施工肯定得小心再小心。
那首先材料这一关就得严抓，我试过直接用普通的管道材料，觉得好像差距不大啊，结果差点出大问题。
特气管道得用专门适配的，抗腐蚀得强，密封性还好才行。
这就好比你想装水的容器，要是容器本身容易漏水或者被水腐蚀烂掉，肯定不行对吧。
管道连接的部分那可是关键中的关键。
我第一次做的时候，就按照自己臆想的随便拧拧，觉得紧了就行。
但是一测试，到处泄漏。
后来我才知道有专门的连接设备，像那种接头，得按照严格的扭矩标准去拧，不能凭着感觉。
这就跟你盖瓶盖一样，拧得太松，里面东西流出来了，拧得太紧，盖子可能崩掉或者瓶子坏了，得恰到好处。
在施工路线上也有讲究。
一开始我为了图方便，就想直来直去怎么简单怎么来。
可实际情况不是这样的，要考虑周围的设备布局，还有可能造成的风险。
我一次施工差点把管道接到高温源附近，要是特气遇到高温波动那危险系数可就上升好多了。
所以要结合整个场地的设备布置，避开危险的、有干扰的地方。
还有就是安装之后的检测。
我原来觉得看起来没啥问题就行了呗。
结果排查故障的时候发现自己大错特错。
你得用专业的设备检测密封性啊、管道内的气流情况啊这些。
就像是给人做全身体检一样，表面看起来好好的，但里面啥情况不知道，得用专门的设备才能查清楚。
我不太确定是不是所有类型的特气管道设备施工老方法都适用新型特气，因为现在新的特气种类也不断在出现。
但目前我经历这么多施工后觉得，严格按照标准、严谨对待每一个小步骤准没错儿。
而且施工方案预先一定要详细规划，想清楚每一步怎么做，就算是遇到突发情况再修改方案也比盲目施工要好。
还有就是施工团队成员之间的沟通也很重要，我之前就有过因为沟通失误，一个人以为要这样做，另一个人那样做，结果做了半天相互抵消工作白费了的情况。
大家都明确自己的任务和施工标准，特气管道设备施工至少不会出现那些低级错误了。
燃气管道安装施工工艺标准（一）
燃气管道安装施工工艺标准（一）依据标准：《建筑工程施工质量验收统一标准》GB50300-2001《建筑给水排水及采暖工程施工质量验收规范》GB50242-2002 《城市燃气输配工程施工及验收规范》CJJ33-89《家用燃气快速热水安装验收规程》CJJ12-86《城市煤气设计规范》TJ28-78（试行）。
1、范围本工艺标准适用于工作压力不大于0.005MPa的室内低压煤气管道及器具安装工程。
2、施工准备2.1材料要求2.1.1燃气输配工程使用的管子、管件、密封填料等附属材料应符合国家现行有关标准。
管子、管件及附属材料应有出厂合格证，到现场还应进行复验。
2.1.2镀锌碳素钢管及管件的规格种类应符合设计要求，管壁内外镀锌均匀，无锈蚀、无飞刺。
管件无偏扣、乱扣，丝呈不全或角度不准等现象。
管材及管件均应有出厂合格证。
室内煤气管道安装应尽量使用镀锌碳素钢管及管件。
2.1.3碳素钢管、无缝钢管。
管材不得弯曲、锈蚀，无飞刺、重皮及凹凸不平现象。
2.1.4阀门应选用现行国家标准中适用于输送燃气介质，并且具有良好密封性和耐腐蚀性的阀门。
室内一般选用施塞或球阀。
阀门的规格型号应符合设计要求。
其外观要求：阀体铸造规矩，表面光洁，无裂纹、气孔、缩孔、渣眼；密封面表面不得有任何缺陷，表面粗糙度和吻合度满足标准规定的要求；直通式阀门的连接法兰的密封面应相互平行；直通式阀门的内螺纹接头中心线应在同一直线上，角度偏差不得超过2°；直角工阀门的内螺纹接头中心线的不垂直度，其偏差不得超过2°；真料压入后的高度和紧密度，应保持密封和不妨碍阀杆运动，并留有一定的调整余量；旋塞阀的塞子上台阶应有定位标记，并且全开到全关闭应限制在90°范围内旋转。
开关灵活，关闭严密，填料密封完好无渗漏，手轮完整无损坏。
运到现场阀门还谋划尖作强度试验和严密性试验。
试验不合格者不得安装。
2.1.5胶管应采用耐油纯胶管。
2.1.6气表：居民家庭一般用皮膜家用煤气表。
特气双套管施工工艺
特气双套管施工工艺一、施工准备在开始特气双套管施工前，需要进行充分的施工准备工作。
这包括了解工程需求、熟悉施工图纸、确定施工方案、准备所需材料和工具等。
同时，应确保施工现场安全、整洁，符合施工条件。
二、管材选择与检验选择合适的管材是特气双套管施工的关键环节。
应根据工程需求、管道介质、工作压力等条件选择合适的管材及管件。
选购管材时，应确保管材质量合格，具有相关质量证明文件。
在管材进场后，应进行质量检验，确保管材无损坏、无锈蚀、无裂纹等。
三、管道切割与连接根据施工图纸和实际需要，使用合适的工具对管道进行切割，确保切割断面平整、光滑。
在进行管道连接时，应采用合适的连接方式，如焊接、法兰连接、卡套连接等，确保连接牢固、密封性好。
四、管道安装定位按照施工图纸进行管道安装定位。
在安装过程中，应注意管道的走向、角度、高度等参数，确保符合设计要求。
同时，应注意管道支架的设置，确保管道安装稳定、可靠。
五、套管密封处理在特气双套管施工中，套管的密封性十分重要。
应对套管连接处进行密封处理，如使用密封胶、生料带等材料进行密封。
同时，应对套管端头进行密封处理，确保气体不泄漏。
六、压力测试与检验在特气双套管施工完成后，应对管道进行压力测试与检验。
这包括对管道的气密性、强度等方面进行测试。
在压力测试过程中，应观察管道是否有变形、泄漏等现象。
经测试合格的管道方可投入使用。
七、清洁与消毒在特气双套管投入使用前，应对其进行清洁与消毒处理。
这可以有效去除管道内的杂质、细菌等有害物质，确保管道内环境的卫生和安全。
清洁与消毒的具体方法应根据实际情况而定。
特种气体不锈钢洁净管道施工工法(2)
特种气体不锈钢洁净管道施工工法特种气体不锈钢洁净管道施工工法一、前言特种气体不锈钢洁净管道施工工法是一种具有高洁净度要求的管道系统的施工方法。
它适用于需要输送高纯度气体的行业，如半导体制造、医药生产和精细化工等领域。
本文将详细介绍该工法的特点、适应范围、工艺原理、施工工艺、劳动组织、机具设备、质量控制、安全措施、经济技术分析以及工程实例。
二、工法特点特种气体不锈钢洁净管道施工工法的特点主要有以下几点：1. 高洁净度要求：该工法要求管道内壁无死角，无油污、无尘埃、无杂质等，以确保输送的气体洁净。
2. 高密封性：采用专用密封材料和接头，确保管道系统具有良好的气密性，防止气体泄漏和污染。
3. 高耐压性：采用特种不锈钢材料制作管道，具有优异的耐压性和耐腐蚀性。
4. 管道布局合理：管道系统的布局设计能够最大程度地减少死角和盲管，便于清洗和维护。
5. 施工周期短：采用现场焊接和组装的方式进行施工，工期较短，能够提高施工效率。
三、适应范围特种气体不锈钢洁净管道施工工法适用于以下范围：1. 半导体制造行业：适用于大规模半导体生产线的气体输送系统，如超纯水供应、工艺气体供应等。
2. 医药生产行业：适用于药品生产过程中对洁净度要求较高的气体输送系统，如制药空调系统、灭菌系统等。
3. 精细化工行业：适用于化工生产过程中对气体纯度要求较高的输送系统，如气相色谱仪气体供应系统、实验室洁净气源等。
四、工艺原理特种气体不锈钢洁净管道施工工法的工艺原理主要体现在施工工法与实际工程之间的联系以及采取的技术措施上。
首先，根据实际工程的需求和设计要求，确定管道系统的布局和结构。
然后，选用优质的特种不锈钢材料，并进行预加工和清洗处理，以确保管道的洁净度。
接下来，采用现场焊接和组装的方式进行管道的安装，保证管道的连接牢固和气密性。
最后，进行管道的压力测试和洁净度验证，确保管道系统的可靠性和洁净度。
五、施工工艺特种气体不锈钢洁净管道施工工艺主要包括以下几个施工阶段：1. 施工准备：包括施工图纸的审核和解读、材料的采购和预处理，以及工地的组织和准备等工作。
超高纯特气双层管道施工工法(2)
超高纯特气双层管道施工工法超高纯特气双层管道施工工法一、前言超高纯特气双层管道施工工法是一种针对高要求气体输送的特殊管道工法。
该工法采用特殊材料和工艺，以确保管道的纯净度和安全性。
本文将详细介绍该工法的特点、适应范围、工艺原理、施工工艺、劳动组织、机具设备、质量控制、安全措施和经济技术分析，并提供一个工程实例。
二、工法特点超高纯特气双层管道施工工法的特点包括：高纯度要求、双层结构、低压损失、高安全性、耐腐蚀性和可持续使用。
三、适应范围该工法适用于超高纯要求的特气输送，如半导体产业、医药产业、化工产业等领域。
四、工艺原理工法原理主要基于特殊材料的选用和特殊工艺的施工。
通过合理选择材料，采取措施防止杂质和化学反应，确保超高纯特气的输送。
五、施工工艺施工工艺包括管道布设、焊接连接、材料清洗、材料运输和安装等阶段。
在每个阶段中，要注意时间控制、温度控制、材料选择和工艺操作等细节。
六、劳动组织为了保证施工工序的高效和协调，需要合理组织劳动力并确保施工人员具备相应的技能和经验。
七、机具设备施工过程中需要使用特殊的机具设备，如焊接机、清洗设备、输送设备等。
这些机具设备具有高效、精确和稳定性的特点。
八、质量控制为了确保施工过程中的质量达到设计要求，需要进行监控和检查，采取相应的控制措施。
包括材料清洗、焊缝质量、泄漏检测等。
九、安全措施施工中需要遵守相关安全规范和要求，包括个人防护、防火防爆、通风等措施，以确保施工人员和工程安全。
十、经济技术分析施工工法的经济技术分析包括施工周期、施工成本和使用寿命等方面。
通过评估这些指标，可以了解该工法的可行性和经济性。
十一、工程实例某半导体工厂采用超高纯特气双层管道施工工法进行气体输送管道的建设。
经过施工，管道达到了高纯度要求，并保证了气体的安全输送。
施工周期为3个月，施工成本约为100万元，使用寿命预计为20年。
总结超高纯特气双层管道施工工法是一种适用于高要求气体输送的特殊管道工法。
燃气管道安装工艺标准及燃气管道安装施工工艺标准
燃气管道安装工艺标准1 适用范围1.1 本工艺标准适用于《压力管道安全管理与监察规定》所指的公用管道工程中燃气管道施工准备、预制、安装和检验验收。
1.2 燃气管道安装除应执行本安装工艺标准外，尚应符合国家现行有关的标准、规范的规定。
2 引用标准《城镇燃气输配工程施工及验收规范》 GJJ33-893 施工准备3.1 材料准备3.1.1 管道材料入库应登记人帐，检验合格的管道材料做好标识。
3.1.2管道材料必须具有质量证明书或合格证，无质量证明书或合格证的产品不得使用。
对特征数据有异议的材料，应进行复验或必要的分析，异议未解决前，管道材料不得使用。
3.1.3管道材料必须进行外观检查，其表面应符合下列要求，不合格者不得使用。
(1)无裂纹、缩孔、夹渣、折叠、重皮等缺陷;(2)锈蚀、凹陷及机械损伤的深度，不超过产品相应标准的壁厚负偏差;(3)螺纹、密封面、坡口的加工精度及粗糙度应达到设计要求或制造标准;(4)有产品标识。
3.1.4 工作温度低于-20℃的钢管及钢制管件应有低温冲击韧性试验结果，否则应按相应标准的要求进行试验，其指标不得低于规定值的下限。
3.1.5铸铁管租铸铁管件的性能和检验应符合现行标准的要求，且出厂前应做气密性试验。
3.1.6普通铸铁管承插接口使用水泥作密封填料时应采用425标号以上硅酸盐水泥或硅酸盐膨胀水泥; 在寒冷季节施工时，宜采用325标号以上的早期强度高的水泥; 当管道接口可能受化学腐蚀时应按设计要求采用325标号以上耐蚀水泥。
所采用水泥的品质要求和检验，应符合现行有关标准的要求。
3.1.7在有效保管期内的水泥，使用前应确保不受潮、不变质、不混杂其它物质。
3.1.8在使用铅作密封填料时，要求含铅量大于99．9％，其技术要求及检验应符合现行标准的规定。
3.1.9接口密封使用的油麻丝，应采用纤维长、柔性好、不含杂质的亚麻、线麻、白麻，浸没于柴油或性质类似的矿物油内，取出后风干而成。
3.1.10在使用橡胶密封圈密封时，其性能必须符合燃气输送管的使用要求。
特种气体工程施工标准
特种气体工程施工标准第一章总则第一条为规范特种气体工程施工行为，确保施工质量和安全，保护环境，根据《特种气体管理条例》和相关法律法规的规定，制定本标准。
第二条本标准适用于氢气、氧气、氮气、氩气、乙炔等特种气体的生产、运输、贮存、使用和排放等工程施工活动。
第三条特种气体工程施工应遵循“安全第一、质量为重、环保至上”的原则，确保施工过程安全、质量可靠、环保达标。
第四条施工单位应制定特种气体工程施工方案，并报相关主管部门备案。
第五条施工单位应设立专门的安全管理部门或辅助安全管理人员，负责特种气体工程施工的安全管理工作。
第六条施工单位应对参与特种气体工程施工的人员进行安全培训，确保其具备相关工作技能和安全意识。
第七条施工单位应配备必要的施工设备和工具，确保施工作业的顺利进行。
第八条施工单位应定期对特种气体工程施工现场进行安全检查，及时发现并排除安全隐患。
第九条施工单位应建立特种气体工程施工档案，对施工过程和结果进行记录和归档。
第二章特种气体工程施工前的准备工作第十条施工前，应对施工场地进行勘察，了解地质、气象和环境等情况，选择适合施工的场地。
第十一条施工前，应对特种气体进行质量检测，确保其符合规定标准。
第十二条施工前，应对特种气体贮存设施进行检查，保证设施完好无损。
第十三条施工前，应确定好特种气体的使用量和使用方式，制定详细的使用计划。
第十四条施工前，应对特种气体工程施工人员进行入场安全培训，确保其了解作业规程和安全防护措施。
第十五条施工前，应编制特种气体工程施工方案，在施工单位及相关主管部门备案。
第十六条施工前，应对特种气体工程施工现场进行安全检查，消除安全隐患。
第三章特种气体工程施工过程中的安全措施第十七条施工单位应制定安全生产责任制度和安全操作规程，明确工作职责和安全要求。
第十八条施工现场应设置明显的安全警示标识，保证施工人员知晓危险区域和安全通道。
第十九条施工现场应配备必要的安全设施和器材，如安全帽、安全带、防毒面具等。
特种气体管道设计标准
特种气体管道设计标准一、引言特种气体管道是用于输送和分配特种气体的关键设施，其设计应满足安全、可靠、经济和环保等基本要求。
本标准旨在规定特种气体管道的设计原则和方法，为相关工程提供指导和参考。
二、管道材料与设备选择1. 管道材料选择应根据气体性质、工作压力、温度和环境条件等因素选择合适的管道材料。
对于特种气体，应选择具有优良耐腐蚀性能的材料，如不锈钢、钛合金等。
2. 管道设备选择应根据实际需求选择合适的管道设备，如阀门、管件、补偿器、过滤器等。
对于特种气体，应选择具有防泄漏、防爆、防火等安全性能的设备。
三、管道布置与安全间距1. 管道布置应根据工厂布局、工艺流程和安全要求等因素合理布置管道。
在满足工艺要求的前提下，应尽量减少管道长度和弯曲数量，以提高流体输送效率。
2. 安全间距为确保管道安全，管道与其他设施之间应保持一定的间距。
在确定安全间距时，应考虑管道工作压力、操作温度、介质特性等因素，并符合相关规范和标准的要求。
四、管道强度计算与应力分析1. 管道强度计算应根据管道工作压力、温度和介质特性等因素进行强度计算。
在计算时，应考虑管道材料的力学性能、管道尺寸和壁厚等因素，以确保管道在正常工作条件下具有足够的强度和稳定性。
2. 应力分析应对管道进行应力分析，以确定管道在承受内外压力、温度变化等因素时的应力分布和变形情况。
通过应力分析，可以优化管道设计，避免因应力集中、变形过大等原因引起的管道破裂、泄漏等问题。
五、管道支承与固定1. 支承设计应根据管道长度、直径、材质和工作环境等因素设计合理的支承结构。
支承结构应具有足够的强度和稳定性，能够承受管道的重量和外部荷载。
2. 固定设计为防止管道振动和位移，需要进行固定设计。
可采用固定支架、导向支架等形式对管道进行固定。
在选择固定形式时，应考虑管道尺寸、重量、运行状态等因素。
六、管道防腐与防漏气1. 防腐设计应根据管道所输送气体的性质和工作环境选择合适的防腐措施。
高纯特气管道施工工艺
高纯特气管道施工工艺（自动轨道焊）本项目氮气系统采用SUS316BA、高纯氮气系统、高纯氢气系统、高纯氩气系统采用SUS316EP材质自动焊接进行施工；具体施工步骤及工艺如下步骤：⑴轨道自动焊施工原则气体及纯水管道施工在现场搭建的洁净施工小室内进行焊接和预制；管道施工小室内禁止穿戴含羊毛的毛线衫或袜子；室内必须穿戴洁净衣服、手套、面罩、鞋子；小室内须使用洁净工具，禁止使用含挥发性物质的笔记用具；配管施工时应保持环境清洁；现场施工时应尽可能采用预制，减少现场作业。
⑵轨道自动焊施工工艺流程⑶轨道自动焊施工方法及措施①材料检查确认到货的材料应是有双层薄膜包装的洁净材料。
材料从接收开始，不得受到污染。
外包装完好情况的检查，在非洁净区进行，但在折除外包装后应立即搬入洁净厂房或预制加工洁净房内；内包装的开封必须在洁净室或预制加工洁净房内进行，以确保材料不受污染。
检查完成后，对暂不用的材料应立即重新用薄膜袋包装密封并置于洁净区妥善保管。
②气体供给装置保护气体为高纯氩气，其纯度指标不得低于管道系统要求的纯度，氩气的供给采用低温液化气容器或高压瓶装氩气。
系统装置见下图（其中虚线框内的装置，在采用液氩时才配置）：③配管切管及点焊：切管工具，10A以下管子宜用割管器，10A以上采用台锯较为合适。
管子切好后，切口部分可能有油份、锯屑等进入，切口部也不平整，焊接前先用合适的半圆锉打磨切口，使之眼观较为平整，再从另一端充入纯氩（99.999%）吹扫内部锯屑、灰尘等杂物，干净为止，最后使用医用酒精擦洗切口端管内外，作除油处理。
切管处理好后，就可以进行点焊工作。
点焊采用手工氩弧焊。
点焊作业前，先把焊接管段固定在操作架台上，由熟练管工对口，以保证错口及缝宽误差在所焊管壁厚度的5%以内。
检查对口合格后，充气保护，进行点焊。
结束后，冷却、用洁净胶带封好焊口，进行吹扫（一端进气，另一端塑料袋封好，开小孔出气）。
④配管预制：点焊好后的管段搬入预制小洁净室固定好，继续充气吹扫，准备进行预制焊接。
pecvd特气配管标准
PECVD特气配管标准
1.
PECVD使用的特气是SIH4和NH3，SIH4是易燃易爆的气体，SIH4遇氧气会剧烈反应，所以在日常使用的时候需要用双套管，即两根管道，管道的材料为不锈钢316L，内管里是SIH4,外管内是高纯的氮气。
管道如下图：
2．NH3是腐蚀性气体，所以管道的材料用不锈钢316L的材料。
管道如下图：
3．特气对密封性要求比较苛刻，接头和转弯要求越少越好，所有的接头均采用VCR接头，密封也是使用金属密封垫片，且每次拆开后需要更换新的金属密封垫片，连接好以后需要用检漏液做泄漏测试。
接头如下图：
4．特气管道的焊接要求很高，通常采用自动氩弧焊接，每一次焊接前需要做焊缝解剖检查，要求焊缝光滑圆润，没有任何瑕渍，管道焊接完后需要做一定时间的保压测
氮气管道
内管SIH4
外管
检漏测试口
试。
焊接接头如下图：。
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特气管道施工工艺标准 IMB standardization office【IMB 5AB- IMBK 08- IMB 2C】QG/ZDⅡ-T03-12-2003 中国电子系统工程第二建设公司洁净厂房高纯气体管道施工工艺标准拟稿单位：总工程师办公室编制：邓顺志审核：王开源批准：侯忆二OO三年一月二十五日目录1、总则----------------------------------------------------------------------------------12、高纯气体的三个主要参数-------------------------------------------------------13、管道材料选择----------------------------------------------------------------------24、施工程序----------------------------------------------------------------------------45、图纸会审----------------------------------------------------------------------------56、工程测定----------------------------------------------------------------------------57、绘制管段图-------------------------------------------------------------------------58、设置预制洁净房-------------------------------------------------------------------69、材料检查确认----------------------------------------------------------------------610、保护气体的供给和管理---------------------------------------------------------911、管段预制--------------------------------------------------------------------------1112、现场配管施工--------------------------------------------------------------------1313、压力试验--------------------------------------------------------------------------1914、系统吹扫--------------------------------------------------------------------------2015、系统测试--------------------------------------------------------------------------21 附录1 露点、含湿量、绝对湿度换算表---------------------------------------24 附录2 洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级------------------------26 附录3 EP/BA管自动氩弧焊接钨棒尺寸表------------------------------------271.总则1.1本标准适用于洁净厂房高纯气体管道配管施工。
1.2气体管道的干管，应敷设在上下技术夹层或技术夹道内，当与水、电管线共架时应设在其上部。
1.3当采用碳素钢支吊架、碳素钢管卡时必须是镀锌件，且不锈钢管道与其接触处应采用不产尘的非金属材料隔离。
1.4高纯气体管道的设计应符合下列要求：a. 按气体流量、压力或生产工艺需要确定管径，气体管道最小管径不小于φ6×1mm；b. 管道系统应尽量短；c. 不应出现不易吹除的盲管、死角；d. 管道系统应设必要的吹除口和测试取样口。
1.5气体管道穿过洁净室墙壁或楼板处的管段不应有焊缝。
管道与墙壁或楼板之间应采取可靠的密封措施，并用装饰板封堵。
1.6可燃气体和氧气管道的末端或最高点应设放散管。
放散管引至室外应高出屋脊1米，并应有防雨、防杂物侵入的措施。
可燃气体和氧气管道还应符合《洁净厂房设计规范》安全技术措施的有关要求。
1.7高纯气体终端过滤器应设在靠近用气点处。
2.高纯气体的三个主要参数所谓高纯气体管道的洁净技术控制，主要是指气体纯度、干燥度、洁净度的控制（即三度控制）。
2.1气体纯度指气体中杂质气氛的含量，通常用气体纯度的百分数表示，如%（俗称6个9），也可用杂质气氛含量的体积比ppm、ppb表示。
洁净厂房高纯气体管道系统建成的各个环节必须做到上流的合格气体流经厂房管道系统到达用气点的气体纯度仍能满足工艺对用气纯度的要求。
2.2干燥度气体中微量水分的含量，通常以露点表示，如露点-70℃，或以含湿量ppm表示，如含湿量。
（两者的转换见附录1）2.3洁净度指气体中含有污染物粒子的数量，粒径为μm的粒子的个数，pc/m3。
高纯气体管道通常使用在洁净的生产环境当中，对应的洁净环境等级，在《洁净厂房设计规范GB50073-2001》中，直接采用国际标准ISO14644-1（详见附录2）对高纯气体洁净度的控制，当设计未加特别注明时，施工中对洁净度的控制应与使用空间的洁净度等级保持一致，严防气体中的污染物粒子超过规定值，而造成管路系统或洁净生产空间的污染。
洁净厂房高纯气体管道的设计、施工管理，不同于一般工业气体管道，任何一个环节稍有失控，就可能影响输送气体的质量，从而导至无法生产出合格的产品。
3.管道材料选择将高纯洁净气体输送到各用气点而不被污染，在很大程度上受管路诸多因素的影响，其中管材的选择显得十分重要。
3.1用于输送高纯气体的管道应具备以下性能a. 管材的透气性要小；b. 管材内表面吸附解吸气体的作用要小；c. 内壁光滑、耐磨损；d. 有良好的抗腐蚀性能；e. 性能稳定，含碳量低。
3.2管道材料选择管道材料由设计选定，自行设计时应遵守《洁净厂房设计规范》的有关规定。
a. 能满足上述要求的管材，对于气体纯度在%以上或在空气洁净度等级中1~6级洁净室内时，以316L内壁经电抛光的不锈钢管（EP）为最佳选择，由于施工现场条件限制，管材应在制造厂脱脂、清洗、干燥，并有双重膜包装，对于气体纯度为%的洁净管道和干燥空气管道可选用内壁经机械抛光的304不锈钢管（BA）。
注：316L的国内对应牌号为00Cr17Ni12Mo2Ti304的国内对应牌号为0Cr18Ni9b. 阀门及其它附件的选择阀门及其它附件的材质应与管材选用原则一致，在采用不锈钢管材的管路系统中，不得采用铜材质的阀门，为确保阀门及管道系统的严密性和介质不受污染，应采用两端为焊接连接的无填料波纹管阀或隔膜阀。
对于系统终端采用螺纹连接时，应采用VCR 卡套连接；非焊接连接的垫片，对于氢、氧管道应采用金属垫片，其它高纯介质管道可采用聚四氟乙烯垫片，三通、弯头应采用与管材同材质的成品，为适应公司现有自动焊头的施焊条件，订货应注明对颈长L的要求（见下表）4. 施工程序5. 6. 置，并作出标识，以此确定管道所处位置。
如与建筑结构发生矛盾时，再与有关方面协商调整，但最终应反应到竣工图上。
7. 绘制管段图7.1 凡施工图已提供透视图的，可利用透视图作为管段图，无透视图时应在施工前绘制管段图。
7.2不可将几个管道系统绘制在一张图上，一个小系统，可绘制在一张图纸上，大系统可分段绘制在几张图上，但应标出连接符号。
7.3无论是利用透视图还是自绘管段图均应标注各管段直径、长度、标高和阀门、三通、法兰等的位置，还应分别标出预制组件的焊口（即死口）和现场焊接的焊口（即活口）位置，并在图中顺序标出焊口号。
7.4图中标注的各项尺寸应是现场实测的尺寸。
7.5对一个系统分段予制的原则是：a.尽可能减少现场（安装场所）焊接的焊口数，大量的焊接工作尽可能在预制间完成；b.现场焊接的焊口应设在便于操作的位置；c.予制组件的大小应尽可能大一些，但不可无限制的大，既要考虑预制房面积的限制，也要考虑搬运安装所经通道和门洞的限制。
8.设置预制洁净房8.1洁净厂房内高纯气体管道的预制场所，其洁净要求应与管道安装场所的洁净度要求一致，否则将很难控制所预制的管道不受污染，因此预制房的搭建是不容忽视的。
管道可能安装在不同洁净等级的房间，应按安装场所的最高洁净等级的要求来搭建预制房。
8.2预制房应尽可能在厂房暂不使用的房间内搭设，当不具备这种条件时，可就近先搭设符合挡风挡雨要求的临时建筑，再在其内搭设临时洁净预制房。
预制房的长、宽、高应能满足预制工作的要求。
一般宜采用长×宽×高=7.2米×3.6米×2.2米的规格，用防静电厚塑料膜（以0.3mm厚为宜）围护，采用FFU或高效过滤器及低压风机用风管连通（要有调节阀，以获得必要的室内正压），完成上送风、下侧四周排风的空调系统。
室内要有充足的照明。
9.材料检查确认本检查为在现场接收管材、零部件时，验证是否满足订货书要求而进行的外观检查和确认。
9.1供检查的环境到货的材料应是有双层薄膜包装的洁净材料。
材料从接收开始，不得受到污染。
a. 外包装完好情况的检查，在非洁净区进行，但在折除外包装后应立即搬入洁净厂房或预制加工洁净房内；b. 内包装的开封必须在洁净室或预制加工洁净房内进行，以确保材料不受污染。
检查完成后，对暂不用的材料应立即重新用薄膜袋包装密封并置于洁净区妥善保管。
9.2检查对象a. 管材b. 管子附件（三通、弯头、变径管等）c. 阀类（阀门、减压阀等）d. 计器类（压力计、压力传感器、压力线圈等）e. 设备类制成品（筒、箱、阀盒等）9.3检查项目○：全数检查△：抽查5%×：不检查9.4外观检查和质量要求9.4.1管路系统的管材、阀门和所有附件，必须严格按设计要求选购，不得随意更改或代换。
9.4.2管材到货后应置于室内精心保管，杜绝露天堆放、日晒雨淋。
9.4.3到货的管材，两端应有塑料密封帽密封严密，无破损和脱落；有双层塑料薄膜密封包装，不得有破损。
9.4.4阀门、管件应有塑料袋密封包装，无破损。
9.4.5管子、阀门、管件等，使用前按、、的要求切实进行下列外观检查：a.管子直径、壁厚符合订货要求，且壁厚均匀；b.管子应平直、圆滑、无局部凹陷、无压入物、无刮伤、碰伤和挤压等缺陷；c.无裂纹、缩孔、折叠、重皮和凸筋等缺陷；d.无锈蚀、锈斑等痕迹；e.内表面的粗糙度是否符合设计要求，螺纹是否有损、保护是否良好；f.内表面是否有尘埃、油脂，确认管子是否已经净化处理；g.内面电抛光薄壁不锈钢管的进货要有出厂合格证书和相关材质证明。