学习日报
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氧流量 8 12
透过率最大值 96.6% 98.0%
透过率最大时 的波长 406nm 422nm
460 nm透光 率 90.1% 93.8 %
氧流量不同时透光率实验总结
同等条件下，随着蒸镀过程中通氧量的增加， 透过率最大时的峰值向长波长移动。
速率不同时透光率实验总结
同等条件下，随着蒸镀过程中速率增加，电阻值 增大，透过率最大时的峰值向长波长移动。
1.0A/S 的 硅片表面 ITO照片
1.5A/S 的 硅片表面 ITO照片
有图所示，本次试验中，速率高的ITO 结构密集，有关各种条件 对ITO 晶体结构的影响还要通过多次实验验证。
温度
电阻值
透过率最大值
透过率最大时 460 nm透光 的波长 率
300
330
8.0
9.7
98.0%
97.9%
422nm
432nm
93.8%
95.4 %
温度不同时透光率实验总结
•随着温度的增加，电阻值增加，波峰向长波移动。
膜厚 2400 2600
电阻值 8.9 7.8
透过率最大值 97.0% 98.7%
透过率最大时波长
420nm 440nm
膜厚不同时透光率实验总结
• 随着ITO厚度的增加，电阻值下降，波 峰向长波移动。
ITO透 射率 影响
4.膜厚 其它条件不变，改变膜厚 2400A 和2600A 的比较
蒸镀速率
电阻值
透过率最大值
透过率最大.5 %
1.000 1.500
8.0 8.6
98.0% 96.5%
学习日报
汇报人 庞菲 2011.5.3
1
实验方案
1 速率的改变 其它条件不变，改变速率 1.0A/S 和1.5A/S 的比较 2.氧气流量 其它条件不变，改变氧气 流量 8 sccm 和12 sccm比较
3.温度 其它条件不变，改变温度 300 ℃ 和330 ℃的比较