透射电子显微镜操作指南

JEM-2100F型透射电子显微镜操作指南
电镜日常初始状态：加速电压160KV (Stand by 模式)
1.加电压：点击电脑主程序Normal按钮，高压由160KV升至200KV，一般需要15分钟左右。

2.将样品（一定是干燥，洁净的样品!）放入样品杆，将样品杆送入样品室：分两步进行，先放入预抽
室，打开预抽开关。

进行预抽，等待10分钟后将样品杆进一步送入样品室。

（注：操作时一定要轻，在感觉有阻碍时切勿强行放入，要及时与老师沟通！）
3.打开CCD冷却机开关，打开CCD电脑，打开ITEM程序。

4.打开左控台左上角的Beam按钮，V1阀开启。

5.调节Brightness（顺时针光散开，逆时针光汇聚）观察是否有聚光镜像散（无像散时光圈呈圆形，且
反复调节Brightness时光圈始终中心放大缩小。

否则则需要进行聚光镜消象散：将聚光镜光阑加入光路，使用光阑调节旋钮将光阑位置调正（与荧光屏呈同心圆），顺时针旋动Brightness 使光圈汇聚成小圆盘，COND STIG 按下，调节DEF使中心点变为均匀的圆形（无拖尾现象）。

弹起COND STIG 按钮。

6.合轴(使用前的简单合轴，在40K左右进行)
1）按下右控制面板上的STD FOCUS，即恢复到标准的聚焦电压（在拍摄过程中也需要及时的使用STD FOCUS，按下它后软件对话框上面的defocus 就归零）。

2）调节SHIFT旋钮将光圈中心调到荧光品中心。

顺时针调节Brightness将光散开。

3）样品高度的确定：当物镜的焦距确定后，随后就需要来确定样品的高度，否则无法得到清晰的图像。

方法：调整样品台的高度(Z)，使观察样品的图像正焦。

(按下IMAGE WOBBLER调节样品高度使样品的晃动最小（此时接近正焦位置）。

调整结束后弹起IMAGE WOBBLER按钮。

)
4）电压中心的确认（在拍摄高分辨照片时必须进行的步骤）：在放大倍数为100K以上时调整，按下右侧面板上的HT WOBBLER，观察光斑是否中心放大缩小，如果不是，则按下左侧面板上的BRIGHT TILT，调节DEF旋钮，使样品中心放大缩小。

调节结束后将HT WOBBLER和BRIGHT TILT按钮弹开。

7.调节完成后可以放入适当的物镜光阑，使用光阑调节旋钮将光阑位置调正（与荧光屏呈同心圆），此
时可以进行样品形貌的观测。

8.点击ITEM软件的动态采集按钮，观察样品，如果发现有物镜象散（时时FFT显示不是圆形）拍照
时按下2按钮，提示保存照片（注：有两张照片，格式有所不同，都需要保存，保存时统一保存在制定文件夹内，切忌乱存乱放!）
9.消物镜像散：尽量选择样品薄区的边缘处，调节到欠焦状态，在ITEM动态采集时，将实时FFT打
开，观察实时FFT的状态，如果为圆形，则没有物镜像散否则需要按下OBJ STIG 调节DEF旋钮直至FFT呈圆形，弹起OBJ STIG按钮。

10.选区电子衍射的拍摄：选取拍摄的区域，按下STAD FOCUS，按下SA MAG 选择适合的放大倍数，
在光路中放入选区光阑（此时光应均匀的投射在样品表面）切换到SA DIFF，用Brightness顺时针调到最大，将小荧光屏移出，利用显微镜观察小荧光屏，使用DIFF FOCUS将光斑聚焦，选择适合的相机长度，按下PLA，调节DEF将透射斑移至小荧光品中心位置，用BEAM SCOPPER 将中心透射斑挡住（注：这个步骤一定不能忽略，否则会造成CCD的损坏！），用CCD进行图像采集。

11.能谱: 选择要检测的区域，将模式转换到EDS（左控台），将光束聚焦到检测的点上，利用能谱软件
进行元素分析。

12.结束观测时，按下Beam按钮，关闭V1阀。

点击软件右上角的Stage Neutral按钮，使样品杆回到初
始位置。

13.取样品：拔出样品杆至预抽室（注：一定不要用蛮力，否则直接将样品拔出到大气的话，会造成镜筒
破真空!），拨动送气按钮，将N2其送入预抽室，稍等片刻，将样品杆取出。

14.所有样品观测结束时，按下软件左方的STAND BY按钮。

关闭电镜控制电脑的显示器。

使用DVD关
盘刻录数据（严禁使用U盘等移动存储设备！），关闭CCD电脑，关闭CCD冷却器开关。

操作过程中遇到问题及时与老师取得联系，不要擅自操作！。