成都莱峰LF-400系列流量计-控制器(说明书)
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成都莱峰LF-400系列流量计-控制器(说明书)2.0概要
LF400系列质量流量计,气体质量流量控制器采用温度变化对应于质量流量的原理,可以对不同的气体进行流量量测及控制。
可应用在5SCCM到30SLM的气体流量范围,并且不会受到温度及压力变化的影响。
产品系列完整,可选择数字式,模拟式,普通,高精度,高压力型,性能且价格具有竞争力,应用领域广泛。
特点
o 模拟式热质式流量计/气体质量流量控制器:
- 环境温度补正
- 可应用的流率范围广:
- 0~5,10,20,30,50,100,200,500SCCM
- 0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM
o 高精度
±1%(≤15SLM)
±1.5%(>15SLM.)
o 可选用LF系列控制模块,具有数位显示、电源供应、流量设定等功能
o 国际兼容
应用
o 工业设施的气体供应监测/控制。
o 气体分析设备。
o 固定气体流量控制。
o 气体混合或分离设备
标准气体质量流量用氮气(N2)标定。
标准状态规定为:
流量范围是以mL/min,L/min 为单位例:
5mL/min 表示为005
500mL/min表示为500
50 L/min(nor) 表示为50L
.。