一种简单的喷雾热分解制膜方法

一种简单的喷雾热分解制膜方法
武光明;朱江
【期刊名称】《北京石油化工学院学报》
【年(卷),期】2000(008)002
【摘要】喷雾热分解制膜是以液体物质为制膜基料，雾化后喷射到高温衬底上晶化成膜。

对液体要求较低，掺杂准确容易，对成膜环境要求不高，装置和成膜工艺简单，成膜结晶温度低，面积大，均匀。

还可以制备超微颗粒粉体。

同时分析了成膜机理。

利用本方法已成功的制备出ＰＺＴ铁电薄膜、ＭｇＯ薄膜、ＺｎＯ系压薄膜、ＳｎＯ多晶膜等，并给出制膜条件和ＸＲＤ图。

【总页数】2页(P9-10)
【作者】武光明;朱江
【作者单位】北京石油化工学院图书馆,北京;北京石油化工学院图书馆,北京
【正文语种】中文
【中图分类】O484.1
【相关文献】
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