高可靠性16×16 SOI热光开关阵列
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高可靠性16×16 SOI热光开关阵列
李运涛;余金中;李智勇;陈少武
【期刊名称】《半导体学报：英文版》
【年(卷),期】2007()z1
【摘要】在分析加热器对热光开关阵列可靠性影响的基础上,提出了一种新的热光开关阵列控制和驱动电路.分析表明,在假设加热器失效率为5%的情况下,新控制和驱动电路可以使16×16 SOI热光开关阵列的可靠性从34.99%提高到92.30%.同时,采用引入控制信号预处理模式,使封装后的热光开关阵列控制端口数从34个减少到10个.在采用新的控制和驱动电路基础上,研制出高可靠性的16X16 SOI热光开关阵列.
【总页数】3页(P513-515)
【关键词】热光开关阵列;控制和驱动电路;可靠性
【作者】李运涛;余金中;李智勇;陈少武
【作者单位】中国科学院半导体研究所,集成光电子学国家重点实验室,北
京,100083 中国科学院半导体研究所,集成光电子学国家重点实验室,北京,100083 中国科学院半导体研究所,集成光电子学国家重点实验室,北京,100083 中国科学院半导体研究所,集成光电子学国家重点实验室,北京,100083
【正文语种】中文
【中图分类】TN491
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