表面工程期末复习
表面工程复习题答案(00002)
表面工程复习题答案表面工程技术:表面工程技术是赋予材料或零部件表面以特殊成分、结构和性能的化学、物理方法与工艺。
表面改性技术:即能提高零部件够表面的耐磨性、耐腐蚀性、抗高温氧性能或装饰零部件表面,或者使材料表面具有各种特殊功能的有关工程技术。
表面涂镀技术:利用外加涂层或镀层的性能使基材表面优化且基材不参与或很少参与涂层反应的技术洁净表面:表层原子结构的周期性不同于体内,但其化学成分与体内相同,这种表面就称为洁净表面莱宾杰尔效应:因环境介质的影响及表面自由能减少导致固体强度、塑性降低的现象,称为莱宾杰尔效应间或伴有化学作用而产生的不断损耗现象磨损:磨损是摩擦接触表面的材料在相对运动中由于机械作用,腐蚀预处理:材料与环境介质作用而引起的恶化在直流电的作用下,以被镀基体金属为阴极,以欲镀金属或其它惰性导体为阳极,通过电解作用,在基体表面上获得结合牢固的金属膜的表面技术化学镀:指在无外加电流的状态下,借助合适的还原剂,使镀液中的金属离子还原成金属,并沉积到零件表面的一种镀覆方法。
又称为无电解镀、无电源电镀等转化膜技术:通过化学或电化学方法,使金属表面形成稳定的化合物膜层而不改变其金属外观(形状及几何尺寸)的一类技术称为转化膜技术涂装技术:将涂料通过一定的方法涂覆于物体表面,经干燥或固化,形成均匀薄膜的工艺过程。
气相沉积:气相沉积技术是利用气相中发生的物理、化学过程,在工件表面形成功能性或装饰性的金属、非金属或化合物涂层的过程物理气相沉积:在真空下,以各种物理方法产生原子或分子沉积在基材上,形成薄膜的过程化学气相沉积:把一种或几种含有构成薄膜元素的化合物、单质气体通入放置有基片的反应室,借助气相作用或在基片上的化学反应生成所希望的薄膜的过程真空蒸发镀膜:在真空条件下,用蒸发器加热蒸发物使之汽化,蒸发粒子流直接射向基片并在基片上沉积形成固态薄膜的过程二、简答题1. 表面改性术分为哪几大类?(1)表面组织转化技术(2)表面涂镀技术(3)表面合金化和掺杂技术2. 基于固相宏观成分差异形成的界面有哪些?(1)冶金结合界面(2)扩散结合界面(3)外延生长界面(4)化学键结合界面(5)分子键结合界面(6)机械结合表面3. 简述莱宾杰尔效应的机理。
表面工程复习题(2014)
“材料表面工程”复习题一、名词解释表面工程技术:为满足特定的工程需求,使材料或零部件表面具有特殊的成分、结构和性能(或功能)的化学、物理方法与工艺。
表面扩散:表面上原子(分子)的迁移现象表面能增大液体表面积所需的功(表面物理中,表面能应该指材料表面的内能,它包括原子的动能、原子间的势能以及原子中原子核和电子的动能和势能)吸附作用物理表面上的原子或分子力场不饱和,有吸引周围其他物质(主要是气体、液体)分子的能力磨损相对运动的物质摩擦过程中不断产生损失或残余变形的现象。
腐蚀腐蚀就是材料与环境介质作用而引起的恶化变质或破坏。
极化腐蚀电池工作时,阴、阳极之间有电流通过,使阴、阳极之间的电位差(实际电极电位)比初始(开路时)电位差要小得多的现象。
钝化(定义)由于金属表面状态的改变引起金属表面活性的突然变化,使表面反应速度急剧降低的现象。
(阳极反应受阻的现象)表面淬火用特定热源将钢铁材料表面快速加热到Ac3(对亚共析钢)或者Ac1(对过共析钢)之上(奥氏体化),然后使其快速冷却并发生马氏体相变,形成表面强化层的工艺过程。
(Fe-Fe3C相图)喷丸强化利用高速喷射的细小弹丸在室温下撞击受喷工件的表面,使表层材料在再结晶温度之下产生弹、塑性变形,并呈现较大的残余压应力,从而提高工件表面强度、疲劳强度和抗应力腐蚀能力的表面工程技术。
(喷丸强化技术)热扩渗将工件放在特殊介质中加热,使介质中某一种或几种元素渗入工件表面,形成合金层(或掺杂层)的工艺。
(化学热处理技术)热喷涂采用各种热源使涂层材料加热熔化或半熔化,然后用高速气体使涂层材料分散细化并高速撞击到基体表面形成涂层的工艺过程。
热喷焊采用热源使涂层材料在基体表面重新熔化或部分熔化,实现涂层与基体之间、涂层内颗粒之间的冶金结合,消除孔隙的表面处理技术。
(喷焊)堆焊在零件表面熔敷上一层耐磨、耐蚀、耐热等具有特殊性能合金层的技术。
电镀在含有欲镀金属的盐类溶液中,在直流电的作用下,以被镀基体金属为阴极,以欲镀金属或其它惰性导体为阳极,通过电解作用,在基体表面上获得结合牢固的金属膜的表面工程技术。
材料表面工程复习题标准答案
1.什么是材料表面工程?表面工程是经表面预处理后,通过表面涂覆、表面改性或多种表面技术复合处理,改变固体金属表面或非金属表面的形态、化学成分、组织结构和应力状况,以获得所需要表面性能的系统工程2.表面工程的作用有哪些?(1)对于机械零件提高零件表面的耐磨性、耐蚀性、耐热性、抗疲劳强度等力学性能;保证现代机械在高速、高温、高压、重载以及强腐蚀介质工况下可靠而持续地运行(2)对于电子电器元件提高元器件表面的电、磁、声、光等特殊物理性能;保证现代电子产品容量大、传输快、体积小、高转换率、高可靠性;(3)对于机电产品的包装及工艺品提高表面的耐蚀性和美观性;实现机电产品优异性能、艺术造型与绚丽外表的完美结合(4)对生物医学材料提高人造骨骼等人体植入物的耐磨性、耐蚀性,尤其是生物相容性;保证患者的健康并提高生活质量3.表面工程技术包含哪些内容?内容:失效分析、表面技术、涂覆层性能、涂覆层材料、预处理和后加工、表面检测技术、表面质量控制、使用寿命评估、表面施工管理、技术经济分析、三废处理和重大工程实践4.表面工程技术发展经过了哪三个阶段?经历的三个阶段:第一阶段以单一表面工程技术的品种增加、工艺成熟为特征;第二阶段以复合表面工程技术的出现和协同创新为主要特征;第三阶段以微纳米材料和纳米技术与传统表面工程技术的结合与实用化为主要特征5.在材料表面工程中用于表面淬火的加热方式有哪几种?(1)感应加热(高频、中频、工频)表面淬火;(2)火焰加热表面淬火;(3)激光加热表面淬火;(4)等离子体加热表面淬火;6.简要说明热扩渗的原理。
(1)介质分解活性介质在一定温度下,进行化学分解,析出活性(初生态的)原子(或离子)的过程化学介质分解的速度,取决于化学介质性质、数量、分解的温度、压力以及有无催化剂(2)吸收活性原子在金属表面吸附与金属表面原子产生键合而进入金属表层的过程吸收的方式活性原子向钢的固溶体中溶解或形成化合物吸收的强弱与活性介质的分解速度、渗入元素的性质、扩散速度、钢件的成分及其表面状态有关(3)扩散被钢件表面吸收的活性原子(或离子)向钢件深处迁移,以形成一定厚度的扩散层(即渗层)7.激光加热表面淬火有哪些特点?(1)淬硬层组织细化,硬度比常规淬火提高15-20%,铸铁经淬火后耐磨性可提高3-4倍(2)加工速度极快,工艺周期短,生产效率高,成本低,工艺过程易实现数控(3)可进行大型零件局部表面硬化及形状复杂工件的硬化处理(4)淬硬层深度可精确控制(5)可以实现自冷淬火,不需要油或水等淬火介质8.感应加热表面淬火的优点。
2010.12表面工程复习题
现代表面处理技术复习题一、填空题1、按形成途径材料的表面大致可划分为、、、、、、、几种。
2、固体的表面特性主要表现在、、、、。
3、零件脱脂的方法主要有、、、几种。
4、由摩擦副的运动形式,摩擦主要有、、、。
5、按磨损机理分通常磨损主要分、、、、。
6、铝合金阳极氧化膜的封闭处理方法主要有、、、。
1、固体的表面特性主要表现在、、、、。
2、零件脱脂的方法主要有、、、几种。
3、由摩擦副的运动形式,摩擦主要有、、、。
4、按磨损机理分通常磨损主要分、、、、。
5、应力腐蚀发生的3个条件是、、。
6、由涂料的3种固化成膜类型有、、。
7、铝合金阳极氧化膜的封闭处理方法主要有、、、。
8、固体的表面特性主要表现在、、、、。
9、零件脱脂的方法主要有、、、几种。
10、由摩擦副的运动形式,摩擦主要有、、、。
11、按磨损机理分通常磨损主要分、、、、。
12、应力腐蚀发生的3个条件是、、。
13、由涂料的3种固化成膜类型有、、。
14、铝合金阳极氧化膜的封闭处理方法主要有、、、。
二、不定项选择题1、对涂装设备安全要求最高的一种为。
(2分)A、空气喷法B、高压无空气喷法C、静电喷法 D电泳法2、在讨论腐蚀问题时,通常规定电位较低的电极称为。
(2分)A、阳极B、阴极C、正极D、负极3、大批量电镀小螺钉可选。
(2分)A、挂镀B、刷镀C、滚镀D、连续电镀4、为达到心部强韧抗冲击、表层硬而耐磨,可选。
(4分)A、中碳钢调质加表层淬火B、20Cr等低碳钢渗碳、淬火加低温回火C、38CrMoAl等调质加表层渗氮 D、45钢调质加表层镀铬5、机床主轴可由:A、45#钢(调质+表面淬火+低温回火);B、40Cr(调质+表面淬火+低温回火);C、20CrMnTi(渗碳+淬火+低温回火);D、38CrMoAl(调质+氮化)等材料及工艺制造,上述其中成本最高的是(1分),最不抗冲击及抗重载的为(1分),精度高且变形最小的为(1分);(单选)淬透性最低的为(1分),淬透性最高的为(1分),最耐热耐蚀的为;(1分);(单选)轴心部可能为低碳马氏体,表层为高碳马氏体的为;(2分)表面、心部成分相同的为;(2分)(多选)表面处理应安排在半精加工之(前、后)(2分)。
表面工程学复习资料
表面工程学复习资料第一章绪论1.表面工程技术:为满足特定的工程需求,使材料或零部件表面具有特殊的成分、结构和性能的化学、物理方法与工艺。
2.表面工程技术内涵:(1)表面改性技术。
能够提高零部件表面的耐磨性、耐蚀性、抗高温氧化性能,或使材料表面具有特殊功能(磁性能、光电性能)的有关技术。
(2)表面加工技术。
能在单晶硅表面制作大规模集成电路的光刻技术、离子刻蚀技术。
(3)表面合成技术。
借助各种手段在材料表面合成新材料的技术,离子注入制备或合成新材料。
(4)表面加工三维合成技术将二维表面加工累积成三维零件的快速原型制造技术。
(5)上述几个要点的组合或综合3.表面工程技术的分类:(1)表面改性技术:表面组织转换技术、表面涂镀技术、表面合金化和掺杂技术(2)表面微细加工技术(3)表面加工三维成型技术——快速原型制造⑷表面合成新材料技术4.表面工程技术功能:①提高耐腐蚀、耐磨性、耐疲劳、耐辐射性能,表面自润滑性;②实现表面自修复性(自适应、自补偿、自愈合),生物相容性。
第二章表面工程技术的物理化学基础1.理想表面:无限晶体中插进一个平面,将其分成两部分后所形成的表面,并认为半无限晶体中的原子位置和电子密度都和原来的无限晶体一样。
2.洁净表面:尽管材料表层原子结构的周期性不同于体内,但如果其化学成分仍与体内相同,这种表面就成为洁净表面。
3.清洁表面:指零件经过清洗(脱脂、浸蚀等)以后的表面,与洁净表面必须用特殊的方法才能得到不同。
4.典型固体界面分类:(1)基于固相晶粒尺寸和微观结构差异形成的界面(2)基于固相组织或晶体结构差异形成的界面(3)基于固相宏观差异形成的界面:冶金结合界面、扩散结合界面、外延生长界面、化学键结合界面、分子键结合界面、机械结合界面5.物理吸附和化学吸附的区别:P12 表2-16.摩擦分类(实际工作条件差别)干摩擦,边界润滑摩擦、流体润滑摩擦、滚动摩擦7.固体润滑覆膜分类:(1)粘结固体润滑膜(2)化学反应法固体润滑膜(3)电镀和气相沉积方法形成固体润滑膜8.影响固体材料粘着磨损性能的因素:(1)润滑条件或环境。
《表面工程学》复习资料
《表面工程学》复习资料1.表面工程技术:指为了满足特定的工程需求,是材料或零部件表面具有特殊的成分,结构和性能的化学,物理方法。
2.表面工程技术分类:(1)表面改性技术(2)表面微细加工技术(3)表面加工三维成型技术(4)表面合成新材料技术。
表面:一般将固相和气相之间的分界面称为表面。
界面:把固相之间的分界面称为界面3.典型的固相表面:(1)理想表面,(2)洁净表面与清洁表面(3)机械加工表面(4)一般表面。
4.典型固体界面:界面指两个块体相之间的过渡区①空间尺度——原子间力作用影响范围大小②状态——材料和环境条件特征。
(1)基于固相晶粒尺寸和微观结构差异形成的界面(比尔比层:离表面约5nm的区域内,点阵发生强烈畸变,形成的厚度约1~100nm的晶粒极微小的微晶层。
它具有粘性液体膜似的非晶态外观,不仅能将表面覆盖的很平滑,而且能流入裂缝或划痕等表面不规则处;下面为塑性流变层)(2)基于固相组织或晶体结构差异形成的界面(3)基于固相宏观或成分差异的界面。
宏观成分差异形成的界面:冶金结合界面、扩散结合界面、外延生长界面、化学键结合界面、分子键结合界面、机械结合界面。
5.吸附对材料力学性能的影响——莱宾杰效应:许多情况下,由于环境介质的作用,材料的强度,塑性,耐性,耐磨性等力学性能大大降低,产程原因:(1)不可逆转物理过程与物理化学过程引起的效应(2)可逆物理过程和可逆物理化学过程引起的效应,这些过程下降,固体表面自由能,并不同程度地改变材料本身的力学性能。
这种因环境介质的影响及表面自由能减少导致固体强度,塑性降低的现象,称为莱宾杰尔效应。
特征:(1)环境介质的影响有很明显的化学特征。
(2)只要很少的表面活性物质就可以产生莱宾杰尔效应。
(3)表面活性熔融物的作用十分迅速(4)表面活性物质的影响可逆(5)莱宾杰尔效应的产生需要拉应力和表面活性物质同时起作用。
本质:是金属原子对活性介质的吸附,使表面原子的不饱和键得到补偿,使表面能降低,改变表面原子间的相互作用,使金属表面的强度降低。
现代PVD表面工程技术期末复习内容及答案
PVD1810.221.PVD:真空蒸镀、溅射镀膜、离子镀。
2.真空泵的分类:气体传输泵、气体捕集器。
3.弧源、磁过滤器、真空靶室和其他附属部分4.PVD的前处理:清洗、去毛刺、喷砂抛光等。
5.分析膜层组织形貌可以采用:金相显微镜、扫描电子显微镜、透射电子显微镜。
6.涂层的微观结构和形状最终决定了其性质。
7.衍射峰位角2θ是反映衍射方向的问题,主要与辐射波长,晶胞类型,晶胞大小及形状有关。
遵循布拉格方程。
8.涂层结合力的检测方法:划痕、压痕、球痕测试法。
9.常见的应力测试方法:X射线和电子衍射法,试样变形分析法和光干涉法。
10.靶材按成分分为:单质金属、合金、陶瓷靶材。
11.PVD涂层的研究方向:设备、涂层组元、涂层膜结构、涂层纳米化。
12.真空泵主要分为:气体传输泵、气体捕集泵。
13.靶材形状分为:矩形平面靶材,圆形平面靶材和圆柱靶材。
14.传统靶材制造方法包括:铸造,粉末冶金和非金属粉末。
15.零件的主要失效形式:腐蚀、磨损、疲劳、断裂。
16.涂层内应力主要分为热应力和涂层生长应力。
17.涂层厚度的检测方法:断面法、球痕法、无损检测法。
判断题1.与化学气相沉积相比,物理气相沉积温度高、无污染。
(错,温度低)2.真空度即是气体的稀薄程度。
(错,真空度是指处于真空状态下的气体稀薄程度。
)3.与溅射镀和离子镀相比,蒸镀结合性能最好。
(错,最差)4.对刀具喷砂处理可起到刃口细化作用。
(对)5.氮铝化钛涂层是紫黑色,附着力比氮化钛涂层大,耐热性能优越(对)6.清洗是PVD涂层前必不可少的一道工序。
(对)7.刀具涂层要求周边厚度一致,因此涂层过程中必须有三个转动惯量。
(对,自转,公转,大工件台转动)8.在工业领域内,通常用自来水进行漂洗。
(错,杂质多)9.在刀具刃尖涂层沉积最厚,涂层内应力更高。
(对)10.一般情况下,涂层与基体的界限越明显,则涂层结合力越好。
(错,越明显越差)11.相比于平面靶材,旋转管靶材利用率较大。
表面工程学复习
表面工程学复习名词解释表面能:材料表面的内能,包括原子的动能,原子间的势能以及原子中原子核和电子的动能和势能。
表面扩散:是指原子、离子、分子以及原子团在固体表面沿表面方向的运动。
当固体表面存在化学势梯度场,扩散物质的浓度变化或样品表面的形貌变化时,就会发生表面扩散。
洁净表面:尽管材料表面原子结构的周期性不同于体内,但其化学成分仍与体内相同的表面。
清洁表面:一般之零件经过清洗(脱脂、侵蚀)以后的表面。
滚光:将零件放入盛有磨料和化学溶液的滚筒中,借滚筒的旋转使零件与磨料、零件与零件表面相互摩擦,以达到清理零件表面的过程。
电化学抛光:电解抛光是以被抛工件为阳极,不溶性金属为阴极,两极同时浸入到电解槽中,通以直流电而产生有选择性的阳极溶解,从而达到工件表面光亮度增大的效果。
表面淬火:采用特定热源将钢铁材料表面快速加热到AC3或AC1之上,然后使其快速冷却,形成表面强化层的工艺过程。
表面形变强化:在金属的表面形变过程中当外力超过屈服强度后,要塑性变形继续进行必须不断增加外力,从而在真实的应力-应变曲线上表现为应力不断上升。
等离子体热扩渗: 利用低真空中气体辉光放电产生的离子轰击工件表面,形成热扩渗层的工艺过程。
液体热扩渗:将工件浸渍在熔融的液体中,使表面渗入一种或几种元素的热扩渗工艺方法。
化学镀::在无外加电流的状态下,借助合适的还原剂,使镀液中的金属离子还原成金属,并沉积到零件表面的一种镀覆方法。
复合镀:在电镀或化学镀溶液中加入非溶性的固体微粒,并使其与主体金属共沉积在基体表面,或把长纤维迈入或卷缠于基体表面后沉积金属,形成一层金属基的表面复合材料的过程。
合金镀:在一种溶液中,两种或两种以上金属离子在阴极上共沉积,形成均匀细致镀层的过程。
堆焊:在零件表面熔覆一层耐磨、耐蚀、耐热等具有特殊性能合金属的技术。
热喷焊:采用热源使涂层料在机基体表面重新融化或部分熔化,实现涂层与基体之间,涂层内颗粒之间的冶金结合,消除孔隙。
表面科学与工程复习资料2023年修改整理
表面科学与工程复习资料1、什么是清洁表面,清洁表面包括哪些?(P10)清洁表面指不存在任何污染的化学纯表面,即不存在吸附、催化反应或杂质扩散等物理、化学效应的表面。
包括弛豫、重构、台阶化、吸附、偏析。
2、固体表面有哪些特性?其中物理吸附与化学吸附有哪些区别?(P17-19)(1)、固体表面特性表现在以下几个方面:①固体表面分子(原子)的运动受缚性;②固体表面的不均一性;③固体表面的吸附性;(2)、物理吸附与化学吸附的区别:吸附性质物理吸附化学吸附吸附力范德华力化学键力吸附热小,接近液化热大,接近反应热抉择性无有吸附层单或多分子层单分子层吸附速度快,不需活化能慢,需活化能可逆性可逆不可逆发生吸附的温度低于吸附质临界温度远高于吸附热沸点3、什么是贝尔比层?(P22 倒数第三段)晶格畸变随深度变化,在最外的约5—10nm厚度大概会形成一种非晶态层,称为贝尔比层。
4、金属的真实表面层有几层?(P24 图)有3层:加工应变层、氧化层、吸附层。
5、金属的表面处理的目的是什么?有哪些方法?(P28-P30)目的:①去除表面氧化层、、吸附层、锈、焊渣、毛刺等;②获得表面粗糙度;③获得清洁表面。
方法:①机械性清理包括机械磨光和抛光、滚光和刷光、喷砂获喷丸;②脱脂包括化学脱脂、有机溶剂脱脂、水剂脱脂、电化学脱脂;③除锈包括化学侵蚀、抛光和电化学抛光。
6、磨损的分类?(P39)分类法类型说明举例以磨料固定形式分类自由磨料磨损磨粒自动松散与零件表面接触,磨粒能够在表面滑动或滚动,磨料之间也有相对运动犁铧、刮板输送机溜槽固定磨料磨损磨料固定,并和零件表面作相对滑动采煤机截齿、挖掘机斗齿以磨料接触物体表面来分类两体磨料磨损磨料与一个零件表面接触,磨粒为一物体,零件表面为另一物体犁铧、水轮机轮叶三体磨料磨损磨料介于两滑动表面之间滚动轴承间落入磨料磨粒介于两滚动表面之间齿轮、车轮间落入磨料以力的作用特点分类低应力划伤式磨料磨损磨粒作用于零件表面的应力不超过磨料的压溃强度,材料表面被轻微划伤犁铧、刮板输送机溜槽高应力划伤式磨料磨损磨料与零件表面接触处的最大应力大于磨料的压溃强度破裂式滚筒、球磨机衬板及磨球凿削式磨料磨损磨料对材料表面有高应力冲击式运动,能从材料表面凿下较大颗粒的磨削挖掘机斗齿、鄂式破裂机齿板以相对硬度分类硬磨料磨损当磨料的硬度大于材料表面的硬度时,磨损量较大一般钢材受石英砂的磨损软磨料磨损当磨料的硬度比材料表面的硬度低时,磨损量急剧下降,耐磨性迅速提高如煤或其他软矿石对钢零件的磨损以磨料的干湿状态分类干磨料磨损磨料是干的球磨机磨干料湿磨料磨损磨料中含有水分,有加速磨损作用球磨机磨湿料流体磨料磨损气体或液体带着磨料冲刷零件表面水轮机、泥浆机、风扇式磨煤机以工作环境分类一般磨料磨损一般正常条件下的磨料磨损上述各机器及零件腐蚀磨料磨损在腐蚀介质中的磨料磨损,腐蚀加速了磨料磨损的速度如含硫或有水介质中工作的煤矿、选矿及化工机械等热磨料磨损在高温下的磨料磨损,高和气氧化加速了磨损燃烧炉中的、沸腾炉及粉煤锅炉中的管道及零件7、用犁沟变形机制、微观切削模型解释磨料磨损过程?(P40-41)(1) 犁沟变形机制模型如图所示,当磨粒的形状与位向不利于切削时,磨粒将使材料产生犁沟变形,马上材料推向前方或两侧并使沟底及沟槽附近的材料产生塑性变形。
表面工程复习题答案
1.洁净表面:表面化学成份和体内相同。
表面吸附物的覆盖几率很低。
2.TLK 模型:平台(Terrace) - 台阶(Ledge) -扭折(Kink)模型。
基本思想是:在温度相当于0K 时,表面原子呈静态。
表面原子层可认为是理想平面,其中原子作二维周期罗列,并且不存在缺陷和杂质。
当温度从0K 升到T 时,由于原子的热运动,晶体表面将产生低晶面指数的平台、一定密度的单份子或者原子高度的台阶、单份子或者原子尺度的扭折以及表面吸附的单原子及表面空位等。
3.界面:固相之间分界面。
4.外延生长界面:在单晶体表面沿原来的结晶轴向生长成的新的单晶层的工艺过程,就称为外延生长。
形成的界面称为外延生长界面。
5.机械结合界面:指涂层和基体间的结合靠两种材料相互镶嵌在一起的机械连接形成6. 润湿:液体在固体表面上铺展的现象。
7. 边界润滑磨擦:对偶件的表面被一薄层油膜隔开,可使磨擦力减小2-10 倍,并使表面磨损减少。
但是在载荷一大的情况下,油膜就会被偶件上的微凸体穿破,磨擦系数通常在0.1 摆布。
8.喷焊层的稀释率:普通将基材熔入喷焊层中的质量分数称为喷焊层的稀释率,用公式表示为η=B/(A+B) ,η为喷焊层的稀释率,A 为喷焊的金属质量,B 为基体熔化的金属质量。
9.自熔合金:就是在常规合金成份基础上加入一定含量的硼、硅元素使材料的熔点大幅度降低,流动性增强,同时提高喷涂材料在高温液态下对基材的润湿能力而设计的。
10.激光熔凝:就是用激光把基材表面加热到熔化温度以上,然后靠基材本身的导热使熔化层表面快速冷却并结晶的热处理工艺。
11.化学转化膜:如果介质是人为选定的,而且表面金属的这种自身转化能够导致生成附着坚固、在水和给定介质中难溶的稳定化合物,金属表面上这样得到的化合物膜层称为化学转化膜。
12.老化处理:钝化膜形成以后要烘干,称为老化处理。
13.发蓝处理:是使钢铁表面生成稳定的氧化物Fe O ,可获得蓝黑色和黑色的氧化膜。
表面工程复习题
表面工程作业第一章作业1,何谓表面工程,简述它在国民经济中重要性。
从广义上讲,表面技术是直接与各种表面现象或过程有关的,能为人类造福或被人们利用的技术表面技术主要包括:表面覆盖(在材料的表面施加各种覆盖层)、表面改性、表面加工以及表面湿润、表面催化、膜技术等。
表面工程技术既可对材料表面改性,制备多功能(防腐、耐磨、耐热、耐高温、耐疲劳、耐辐射、抗氧化以及光、热、磁、电等特殊功能)的涂、镀、渗、覆层,成倍延长机件的寿命;又可对产品进行装饰;还可对废旧机件进行修复。
采用表面工程措施的费用,一般虽然占产品价格的5%~10%,却可以大幅度地提高产品的性能及附加值,从而获得更高的利润,采用表面工程措施的平均效益高达5~20倍以上。
2,表面工程技术的发展趋势及其原因是什么一、研究复合表面技术二、完善表面工程技术设计体系三、开发多种功能涂层四、研究开发新型涂层材料五、深化表面工程基础理论和测试方法的研究六、扩展表面工程的应用领域七、积极为国家重大工程建设服务八、向自动化、智能化的方向迈进九、降低对环保的负面效应第二章作业1,洁净的表面结构有哪几种各有什么特点3,贝尔比层是怎样形成的具有什么特点固体材料经过切削加工后,在几个微米或者十几个微米的表层中可能发生组织结构的剧烈变化,既造成一定程度的晶格畸变。
这种晶格的畸变随深度变化,而在最外的,约5nm-10nm 厚度可能会形成一种非晶态层。
这层非晶态称为贝尔比层。
其成分为金属和它的氧化物,而性质与体内明显不同。
4,大气环境下,金属和陶瓷粉体的表面通常是什么结构含有什么成分金属:结构:形成贝尔比层成分:一般为金属/过渡层/空气。
金属/空气极为少见。
过渡层中常由氧化物、氮化物、硫化物、尘埃、油脂、吸附气体(氧、氮、二氧化碳和水汽等)所组成。
过渡层为氧化物最常见,由于一些金属元素的氧化态可变,因此在氧化层中也包含不同氧化态的氧化物。
陶瓷粉体:纳米粉能够从空气中吸附大量的水,在表面形成羟基层和多层物理吸附水。
《表面工程学》复习题总结
1,摩擦磨损与腐蚀摩擦:相互接触的物体相对运动时产生的阻力,称为摩擦。
按实际工作的条件的差别,可以将摩擦分为四类,即干摩擦,边界润滑摩擦,流体润滑摩擦和滚动摩擦。
磨损:指相对运动的物质摩擦过程中不断产生损失或残余变形的现象。
按照磨损机理的不同,可将磨损分为粘着磨损,磨粒磨损,疲劳磨损,腐蚀磨损,微动磨损,冲蚀磨损和高温磨损。
最基本的是粘着磨损,磨粒磨损,疲劳磨损和腐蚀磨损。
腐蚀:就是材料与环境介质作用而硬气的恶化变质或破坏。
按照材料腐蚀原理的不同,可分为化学腐蚀和电化学腐蚀。
化学腐蚀是金属在干燥的气体介质中或不导电的液体介质中发生的腐蚀,腐蚀过程无电流产生。
电化学腐蚀是指金属在导电的液态介质中因电化学作用导致的腐蚀,在腐蚀过程中有电流产生。
金属腐蚀的主要形式有三种,即局部腐蚀,全面腐蚀和机械力作用下的腐蚀。
局部腐蚀主要分为:点蚀,缝隙腐蚀,晶间腐蚀,电偶腐蚀。
2,热扩渗形成热扩渗的基本条件有三个:1,渗入元素必须能够与基体金属形成固溶体或金属件化合物。
2,欲渗元素与基材之间必须有直接接触。
3,被渗元素在基体金属中要有一定的渗入速度。
渗层形成机理:1,产生渗剂元素的活性原子并提供给基体金属表面。
2,渗剂元素的活性原子吸附在基体金属表面上随后被基体金属所吸收,形成最初的表面固溶体或金属间化合物,建立热扩渗所必须的浓度梯度。
3,渗剂元素原子向基体金属内部扩散,基体金属原子也同时向渗层中扩散,使扩散层增厚,即扩散层成长过程,简称扩散过程。
3,热喷涂热喷涂是采用各种热源使涂层材料加热熔化或半熔化,然后用高速气体使涂层材料分散细化并高速撞击到基体表面形成涂层的工艺过程。
涂层形成的大致过程是:涂层材料经加热熔化和加速撞击基体冷却凝固形成涂层涂层材料的喷涂速度主要由焰流速度决定,同时也与材料的粒径有关。
调整喷嘴与工件的距离到最佳位置非常重要。
热喷涂工艺流程包括基体表面预处理,热喷涂,后处理,精加工等过程。
涂层的结合质量直接与基体表面的清洁度和粗糙度有关。
《表面工程》期末复习题及答案
一.填空题1.固体表面吸附分为物理吸附、化学吸附两类。
物理吸附中表面与被吸附质间的力是范德华力。
在化学吸附中,吸附质与固体表面形成了化学键,强度比范德华力大得多。
2.液体在固体表面上铺展的现象,称为润湿现象,通常用润湿角θ来描述润湿程度,θ 减小,润湿性增加。
3.电镀是利用电解(原理或方式)使金属或合金沉积在工件表面,形成均匀、致密、结合力良好的金属层的过程,电镀时被镀工件作为阴极。
4.电解液使阴极工作镀层厚度均匀分布的能力叫做分散能力,影响分散能力的因素包括电化学因素和几何因素。
5.形成化学转换膜的方法有两类。
电化学方法为阳极氧化,化学方法为化学氧化,磷盐酸盐处理,铬酸盐处理,草酸盐处理。
6.热喷涂采用各种热源使涂层材料加热熔化或半熔化,然后用高速气体使涂层材料分散细化并以很高的速度喷射到事先准备好的工件表面上形成覆层的过程。
7.化学镀是一个在催化条件下发生的氧化还原反应过程。
化学镀溶液有金属离子、络合剂、还原剂、稳定剂和缓冲剂等组成。
8.高能量密度的粒子束简称高能束是指高密度光子,电子,离子组成的激光束,电子束,离子束。
9.气相沉积技术可分为物理气相沉积、化学气相沉积,其中物理气相沉积包括蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀膜。
二.判断题1.相互接触的物体相对运动时产生的阻力,称为摩擦。
两接触体之间的表现接触面积越大,摩擦力越大。
(N)2.材料硬度提高,耐磨性增强。
(Y)3.电子转移步骤的阻力所造成的极化称为浓差极化。
(N)4.电镀时的阳极副反应主要是析氢反应。
(N)5.两种金属的标准电位相近,电镀合金时它们就能金属共沉积。
(N)6.阴极和电解液的相对运动可以采用阴极移动,通入压缩空气搅拌,电解液循环流动等方式,得到较小的沉积速度。
(N)7.镀光亮镍不需要在电解液中加入光亮剂。
(N)8.用周期换向电源电镀每个周期中工件作为阳极的时间比作为阴极的时间长得多。
(N)9.铝及其合金的阳极氧化条件要求膜的生成速度等于膜的溶解速度。
表面工程期末复习及实验幻灯片PPT
I主语人称代词如同英语中人称代词主格,用作主语。
1)1)1)tu 用作家人、好友间;vous(您)礼貌、尊重。
2)2)2)第三人称也可用作(它,它们)*抽象名词前,一般用定冠词Je n’aime pas le café。
*名词作表语,表身份、职业、国籍时,可省冠词Je suis étudiant.*定冠词le les前有介词à,de 时,要缩合au(à + le) ,aux (à + les) , du (de + le ) , des ( de + les )。
Nous allons au magasin。
III名词1.1.1.阴阳性人与动物的自然性别或固定用法un étudiant/ une étudiante le frère/ la so e ur une valise mon bureau 某些行业无阴性,但可用于女性un professeur 2.2.2.复数词尾加s 但不发音;un stylo/des stylos,une chaise / des chaises;-s –x –z 单复数相同un cours / des cours;—eau, —au, -eu结尾复数加x 但不发音un tableau / des tableaux;—al结尾复数改为—aux un journal/ des journaux3.3.3.种类月份、星期、语种在法语中不属于专用名词,词首不用大写décembre, françaisIV动词变位法语按动词变位分为三组:第一组-er结尾;第二组-ir结尾;第三组-re, —oir, -ir结尾直陈式现在时(英语中的现在进行时和一般现在时)中,第一组动词变位如下:parlerje parle vous parleztu parles nous parlonsil parle ils parlentV一般疑问句1.陈述句型,语调上升V ous parlez anglais ?2.主谓倒置,中加—Etes—vous médecins ?第三人称单数不以t,d结尾时 A-t—il un manuel de français ?3.疑问词放前Est-ce qu’elle a un manuel de français ? GRAMMAIREI主有形容词mon amie。
表面工程复习题1
表面工程复习题一、名词解释1.表面重构:在平行基底的表面上,原子的平移对称性与体内显著不同,原子位置作了较大幅度的调整,这种表面结构的变化称为重构。
2.集肤效应:集肤效应也称为趋肤效应或表面效应。
当直流电流流过导体时,导体截面上任意一点的电流密度是均匀的。
但是,当交流电通过导体时,导体截面上电流密度分布是不均匀的,愈接近表面电流密度愈大,愈接近心部电流密度愈小,这种电流密度倾向于表面增大的现象称之为集肤效应。
3.表面张力:是表面能的一种表现,是由于原子间的作用力以及在表面和内部的排列状态的差别所引起的。
4.邻近效应:当两个相互平行且互相靠近的导体分别通入交流电时,由于电磁感应的作用,两个导体中的电流密度要重新分配。
如果在任何瞬间两平行导体中的电流方向都相同,则电流密度聚集在两导体的外侧面,这种现象称为邻近效应。
5.冷喷涂:指在常温下或较低的温度下,由超音速气、固两相气流将涂层粉未射击到基板形成致密涂层。
6. 稀释率:在覆层中局部熔化的基材所占的比例称为稀释率,其表达式为d = B/( B+f )式中d为稀释率;B为基材在覆层截面中所占面积;f为堆焊填充金属在覆层截面中所占面积。
7. 热喷焊:采用热源使涂层材料在基体表面重新熔化或部分熔化,实现涂层与基体之间、涂层内颗粒之间的冶金结合、消除孔隙,这就是热喷焊技术。
8.复合电镀:通过金属电沉积的方法,将一种或数种不溶性的固体颗粒,均匀地夹杂到金属层中所形成的特殊镀层叫复合镀层,这种利用金属电沉积制备复合镀层的方法叫复合电镀。
9.物理气相沉积:在真空条件下,利用各种物理方法,将镀料气化成原子、分子或使其离子化为离子,直接沉积到基体表面上的方法。
物理气相沉积法主要包括真空蒸镀、溅射镀膜、离子镀膜等。
10.激光:20世纪60年代出现的人造光源,其全称为light amplification by stimulation emission of Radiation ——辐射的受激发射光放大,简称laser。
中南大学粉冶院表面工程复习题
中南⼤学粉冶院表⾯⼯程复习题表⾯⼯程作业第⼀章作业1,何谓表⾯⼯程,简述它在国民经济中重要性。
从⼴义上讲,表⾯技术是直接与各种表⾯现象或过程有关的,能为⼈类造福或被⼈们利⽤的技术表⾯技术主要包括:表⾯覆盖(在材料的表⾯施加各种覆盖层)、表⾯改性、表⾯加⼯以及表⾯湿润、表⾯催化、膜技术等。
表⾯⼯程技术既可对材料表⾯改性,制备多功能(防腐、耐磨、耐热、耐⾼温、耐疲劳、耐辐射、抗氧化以及光、热、磁、电等特殊功能)的涂、镀、渗、覆层,成倍延长机件的寿命;⼜可对产品进⾏装饰;还可对废旧机件进⾏修复。
采⽤表⾯⼯程措施的费⽤,⼀般虽然占产品价格的5%~10%,却可以⼤幅度地提⾼产品的性能及附加值,从⽽获得更⾼的利润,采⽤表⾯⼯程措施的平均效益⾼达5~20倍以上。
2,表⾯⼯程技术的发展趋势及其原因是什么?⼀、研究复合表⾯技术⼆、完善表⾯⼯程技术设计体系三、开发多种功能涂层四、研究开发新型涂层材料五、深化表⾯⼯程基础理论和测试⽅法的研究六、扩展表⾯⼯程的应⽤领域七、积极为国家重⼤⼯程建设服务⼋、向⾃动化、智能化的⽅向迈进九、降低对环保的负⾯效应第⼆章作业1,洁净的表⾯结构有哪⼏种?各有什么特点?2,材料的实际表⾯结构通常具有什么特点?3,贝尔⽐层是怎样形成的?具有什么特点?固体材料经过切削加⼯后,在⼏个微⽶或者⼗⼏个微⽶的表层中可能发⽣组织结构的剧烈变化,既造成⼀定程度的晶格畸变。
这种晶格的畸变随深度变化,⽽在最外的,约5nm-10nm厚度可能会形成⼀种⾮晶态层。
这层⾮晶态称为贝尔⽐层。
其成分为⾦属和它的氧化物,⽽性质与体内明显不同。
4,⼤⽓环境下,⾦属和陶瓷粉体的表⾯通常是什么结构?含有什么成分?:结构:形成贝尔⽐层成分:⼀般为⾦属/过渡层/空⽓。
⾦属/空⽓极为少见。
过渡层中常由氧化物、氮化物、硫化物、尘埃、油脂、吸附⽓体(氧、氮、⼆氧化碳和⽔汽等)所组成。
过渡层为氧化物最常见,由于⼀些⾦属元素的氧化态可变,因此在氧化层中也包含不同氧化态的氧化物。
表面工程复习题(2010)
“材料表面工程”复习题一、名词解释表面工程技术表面能洁净表面清洁表面吸附作用磨损腐蚀极化钝化表面淬火喷丸强化热扩渗热喷涂热喷焊堆焊电镀化学镀复合电镀转化膜技术真空蒸发镀膜溅射镀膜离子镀膜二、简答题1、表面工程技术的内涵(分类);2、表面工程技术的特点与意义;3、表面工程技术中结合界面的类型及其结合强度的特点;4、固体表面的吸咐的种类及特点;5、写出Young方程并说明“润湿”与“不润湿”;6、表面粗糙度的两种常用表达方式;7、最常见的磨损种类;如何通过表面技术提高耐磨性?8、腐蚀按材料腐蚀原理可分为哪两类?9、金属腐蚀的主要形式;金属材料腐蚀控制及防护方法;10、表面预处理的作用及主要工序;11、形成热扩渗层的基本条件;12、热扩渗层的形成机理;13、常用的热浸渗方法及其应用;14、等离子体热扩渗的基本特点;15、常用的热喷涂工艺方法及其基本特点;16、电镀层的基本条件;17、镀层按其性能特点可分为哪三类?18、常见的电镀方式及其特点;19、电镀的工艺过程;20、常用单金属电镀层的基本特点及主要用途;21、化学镀的原理与特点;22、复合镀层的种类及应用;23、非金属电镀的基本工艺(前处理)流程;24、转化膜的主要用途;25、阳极氧化的工艺流程;26、真空在薄膜技术中的作用;27、在蒸发镀膜中,为什么必须精确控制蒸发源的温度?28、对比PVD和CVD法中的薄膜生成过程(阶段);29、简述CVD的沉积条件;30、简述CVD法的特点。
三、阐述题及论述题1、对比分析感应加热淬火、火焰加热淬火、激光淬火的基本工作原理及特点;2、对比分析热喷涂、热喷焊、堆焊在基本工作原理、结合强度、稀释率、主要应用等方面的不同;3、以铝合金阳极氧化为例,结合其氧化膜的形成过程,说明氧化膜的结构特点及性能特点;4、从产生气相镀料粒子的原理出发,分析离子镀膜与蒸发镀膜、溅射镀膜在粒子能量、沉积速率、膜层密度、膜基结合强度的区别;5、结合表面性能要求(耐磨、耐蚀等),举例说明某一具体表面工程技术的作用(工作原理、工艺实施过程、表层特点等)。
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一、名词解释
表面改性:用各种物理、化学等方法处理表面,使之组成、结构发生变化,从而改变性能。
沟道效应:当高能离子沿晶体的主晶轴方向注入时,可能与晶格原子发生随机碰撞,若离子穿过晶格同一排原子附近而偏转很小并进入表层深处,这种现象称为沟道效应。
理想固体表面:一种理论的结构完整的二维点阵平面。
忽略了晶体内部周期性势场在晶体表面中断的影响,也忽略表面上原子的热运动以及出现的缺陷和扩散现象,又忽略表面外界环境的作用等。
离子镀:在真空条件下,利用气体放电使气体或被蒸发物质部分离化,在气体离子或被蒸发物质离子轰击作用的同时把蒸发物或其反应物沉积在基体上。
阳极氧化:在适当的电解液中,以金属作为阳极,在外加电流作用下,使其表面生成氧化膜的方法。
二、填空题
1.堆焊材料可归纳为铁基、镍基、钴基、碳化钨基、铜基五种类型
2.化学气相沉积(CVD)技术分为热激发CVD、低压CVD、等离子体CVD、激光(诱导)CVD、金属有机化合物CVD
3.清洁表面结构的主要缺陷形式为弛豫、重构、偏析、化学吸附、化合物、台阶六种形式
4.按磨损机理划分,磨损分为磨粒磨损、粘着磨损、冲蚀磨损、疲劳磨损、腐蚀磨损、微动磨损、高温磨损七种
5.电镀时合金共沉积的类型为正则共沉积、非正则共沉积、平衡共沉积、异常共沉积、诱导共沉积
6.铝及铝合金的阳极氧化方法硫酸阳极氧化、铬酸阳极氧化、草酸阳极氧化、硬质阳极氧化、瓷质阳极氧化
7.钢铁高温氧化得到以磁性氧化铁(Fe3O4)为主的氧化膜;钢铁常温氧化得到以CuSe 为主的氧化膜
三、简答题
1.简述自熔性合金的特点
(1)绝大多数的自熔性合金是在镍基、铬基、铁基合金中添加适量的硼、硅元素而制得,并且通常为粉末状。
(2)加热熔化时,B、Si扩散到粉末表面,与氧反应生成硼、硅的氧化物,并与基体表面的金属氧化物结合生成硼硅酸盐,上浮后形成玻璃状熔渣,因而具有自行脱氧造渣的能力。
(3)B、Si与其它元素形成共晶组织,使合金熔点大幅度降低,通常在900℃~1200℃之间,低于钢铁等基体金属的熔点。
(4)B、Si的加入,使液相线与固相线之间的温度区域展宽,一般为100℃~150℃,提高了熔融合金的流动性。
2.电镀液的组成及各组分的作用
1)主盐:主盐是指镀液中能在阴极上沉积出所要求镀层金属的盐,用于提供金属离子;2)络合剂:细化镀层晶粒,改善镀层分散能力和覆盖能力,同时影响镀层的沉积速度;3)附加盐:提高电镀液的导电性,对主盐中的金属离子不起络合作用;
4)缓冲剂:稳定溶液的酸碱度;
5)阳极活化剂:促进阳极活化,提高阳极开始钝化的电流密度,从而保证阳极处于活化状态而能正常地溶解;
6)添加剂:不会明显改变镀层导电性,而能显著改善镀层性能。
3.电镀的概念,电镀二元合金时实现共沉积的条件
电镀是指在含有欲镀金属金属的盐类溶液中,以被镀基体金属为阴极,通过电解作用,使
镀液中欲镀金属的阳离子在基体金属表面沉积出来,形成镀层的一种表面加工方法。
电镀二元合金时实现共沉积的条件:第一,两种金属中至少有一种金属能从其盐类的水溶液中沉积出来。
第二,两种金属的析出电位要十分接近,如果相差太大的话,电位较正的金属将优先沉积,基本完全排斥电位较负金属析出。
4.金属表面化学热处理的概念,金属表面化学热处理实现渗金属的条件
金属表面化学热处理是利用元素扩散性能,使合金元素渗入金属表层的一种热处理工艺。
金属表面化学热处理实现渗金属的条件:
1)渗入金属必须是碳化物形成元素,即渗入元素与工件表层中的碳结合形成金属碳化物2)为了获得碳化物层,基材的碳的质量分数必须超过0.45%
5.等离子体的特点及实现离子镀的必要条件
等离子体是一种电离度超过0.1%的气体,是由离子、电子和中性粒子(原子和分子)所组成的集合体。
等离子体整体呈中性,但含有相当数量的电子和离子,表现出相应的电磁学等性能,如等离子体中有带电粒子的热运动和扩散,也有电场作用下的迁移。
实现离子镀的必要条件:①造成一个气体放电的空间;②将镀料原子(金属原子或非金属原子)引进放电空间,使其部分离化。
四、论述题
1.用溅射和沉积理论说明离子渗氮的机理
离子渗氮时,渗氮层是通过反应阴极溅射形成的。
在真空炉内,稀薄气体在阴极、阳极间的直流高压下形成等离子体,N+、H+、NH3+等正离子轰击阴极工件表面,轰击的能量可加热阴极,使工件产生二次电子发射,同时产生阴极溅射,从工件打出C、N、O、Fe等。
Fe 能与阴极附近的活性氮原子形成FeN,由于背散射又沉积到阴极表面,FeN分解,FeN→Fe2N →Fe3N→Fe4N,分解出的氮原子大部分渗入工件表面内,一部分返回等离子体区。
2.比较物理气相沉积三种方法的原理与特点
物理气相沉积法主要有真空蒸镀、溅射和离子镀。
真空蒸镀:在真空中加热使金属、合金或化合物蒸发,然后凝结在基体表面上的方法叫真空蒸镀。
溅射:溅射是利用高速正离子轰击某一靶材(阴极),使靶材表面原子以一定能量逸出,后在工件表面沉积的过程。
离子镀:离子镀借助于一种惰性气体的辉光放电使欲镀金属或合金蒸发离子化,并在这些荷能离子轰击基体(工件)表面并同时沉积在其上形成镀膜。
三种方法的比较如下:
1)、从沉积粒子能量(中性原子)来看,真空蒸镀为0.1-1eV,溅射为1-10eV,离子镀为0.1-1eV(此外还有高能中性原子)。
2)、从沉积速率来看,真空蒸镀为0.1-70μm/m i n,溅射为0.01-0.05μm/m i n(磁控溅射接近于真空蒸镀),离子镀为0.1-50μm/m i n。
3)、从膜层特点看,真空蒸镀低温时密度小但表面光滑、气孔低温多、附着性不太好、内应力为拉应力绕射性差;溅射密度大、气孔少但混入溅射气体较多、附着性较好、内应力为压应力、绕射性差;离子镀密度大,无气孔但膜层缺陷较多,附着性很好,内应力视工艺条件而定,绕射性较好。
4)、从被沉积物质的气化方式看,真空蒸镀为电阻加热、电子束加热感应加热、激光加热等;溅射的镀料原子不是靠加热方式蒸发,而是靠阴极溅射由靶材获得沉积原子;离子镀可以分为蒸发式或者溅射式,蒸发式为电阻加热、电子束加热、感应加热、激光加热等,溅射式由进入辉光放电空间的原子由气体提供,反应
物沉积在基片上。
5)、从镀膜的原理及特点看,真空蒸镀工件不带电,真空条件下金属加热蒸发沉积到工件表面,沉积粒子的能量与蒸发时的温度对应。
溅射的工件为阳极,靶为阴极,利用氩原子的溅射作用把靶材原子击出而沉积在工件表面上,沉积原子的能量由被溅射原子的能量分布决定。
离子镀的工件为阴极,蒸发源为阳极,进入辉光放电空间的金属原子离子化后奔向工件,并在工件表面沉积成膜,沉积过程中离子对基片表面、膜层与基片的界面以及膜层本身都发生轰击作用,粒子
的能量决定于阴极上所加的电压。