扩散导片机作业指导书

机加工工艺文件和作业指导书的案例

机加工工艺文件和作业指导书的案例在机械制造过程中，机加工工艺文件和作业指导书是非常重要的文件，它们为企业的生产操作提供了具体指导，确保产品能够按照规定的标准和质量要求进行加工。

本文将以某企业的机加工工艺文件和作业指导书为案例，详细介绍其编写过程、内容要点以及应用情况。

一、机加工工艺文件的编写1.明确目标：机加工工艺文件是针对具体产品进行编写的，因而初步需要明确产品的名称、规格要求以及加工工艺中的关键环节。

2.收集相关信息：根据产品的设计图纸和技术要求，收集所需的技术资料和工艺参数，如加工工序、工装夹具、刀具选择、切削速度、进给速度等。

3.制定加工工艺步骤：根据产品的具体特点和工艺要求，制订对应的加工工艺步骤。

此步骤应基于先进的机加工知识和经验，确保在加工过程中能够最大限度地提高生产效率和产品质量。

4.规范工艺参数和工装夹具选用：根据加工工序的技术要求，选择适当的工装夹具和刀具，并设定合理的切削速度、进给速度和冷却液的使用。

5.指定质量检验方法：确定合适的检测标准和环节，确保产品在各个工艺步骤中的质量得到有效控制和检验。

二、作业指导书的编写1.明确目标：作业指导书是机加工工艺文件的核心内容，其目的是为了使操作工人能够按照指导书的要求完成工作。

2.详细描述每个工序：对每个工序进行具体的描述，包括工装夹具的安装方法、刀具选择和调整方法、切削速度和进给速度的设定等。

同时，应注明安全操作注意事项、工艺控制要点和常见问题解决方法。

3.配图说明：在作业指导书中，适当添加一些配图和示意图，以便操作工人更好地理解每个工序的操作方法。

但在此案例中，为了遵守规定，无法提供具体配图。

4.编写详细的检验记录表：为确保工作质量的可控性，作业指导书应包含详细的检验记录表，记录每个工序的关键质量要求和检测方法。

这有助于检验人员进行质量控制和后期溯源。

三、工艺文件和作业指导书的应用情况1.工艺文件的应用：机加工工艺文件被广泛用于工艺工程师、操作人员和质检人员之间的沟通和信息交流。

返工作业指导书

承认确认作成3、 4、劳动防护用品：改定履历年月日改定内容123452).将硅片及时甩干后，重新制绒;注意事项:a.严禁用手碰片(只能用镊子取).b.甩干后片子不要暴露制绒间很长时间（小于1h）扩散返工:1).方块电阻偏大，偏大区域不卸片，立即通知当班工艺进行处理。

2).方阻偏小，偏小区域不卸片，第一时间通知工艺确认处理。

3).将扩散挑出来的不良片进行重新酸洗（6瓶24 L HF /120 L水）注意事项:a.扩散后卸片包装好。

b.制绒间插片不分方向，但是一定要以制绒前的插片标准进行插片。

耐酸碱皮鞋,手套（PVC),耐酸碱手套（长袖）,防护镜工序目的：使用部品材料：1.标准着装2.返工片分类放置3.插片4.开始返工5.观察返工效果6.冲洗7.返工完成8.填写返工流程单附实际操作:2、使用夹具、工具：1、 1.各工序返工片集中放置到指定位置并注明返工类型.规范生产返工生产流程5.返工片应单独开具返工流程单跟随工艺流程.和灼伤皮肤！文书编号版本第 1 页格式编号：HCZY 017.应遵守的要点及注意事项设备名/设备编号：9.作成日期修改日期页码信息：HCBZZZ014 总 3 页01返工作业指导书测定法制绒返工:1).绒面发白，表面水痕印比较严重的花片; 2.根据返工类型分类插片做好标识.3.工艺人员确认返工参数开始返工.4.按返工提示一步步操作.6. 如果不穿戴防护服、防毒面具、鞋和手套，则有可能会出现呼吸困难360s 酸洗后立即进行甩干制绒间插片不分方向，但是一定要以制绒前的插片标准进行插片备考3.11.8.10. 年月日1.规定资料及判定标准管理要点管理項目频度样品数年月日定位置管理说明改定确认承认2.作业手顺·遵守事项●作业手顺样式编号：AAAE02。

叠片作业指导书

生效日期适用范围：适用于叠片工序操作。

1作业准备1.1操作员戴好劳保用品；1.2检查环境温湿度，15℃≤温度≤30℃，湿度≤10%；2.3工具准备齐全，设备准备就绪。

2操作流程图3操作步骤3.1准备3.1.1依次开启叠片机气源，电源，点击显示屏右上角 “ENTER ”输入密码进入主控画面，见图1和图2； 3.1.2按照配片标准，将待叠片的正负极片安装到叠片机上。

3.2安装隔膜3.2.1点击“原点画面”，点击“总回原点”（如图3），“返回”；材料设备工具劳保名称规格正极片叠片机托盘专用口罩负极片钢直尺30cm 一次性手套隔膜棉布普通手指套终止胶带剪刀普通酒精刀片美工周转正式叠片Y上料试叠片开机 N是否符合标准调整参数收尾工作准备工作图1 图2生效日期3.2.2将隔膜放在隔膜放卷轴上，顺时针转动固定螺母至隔膜完全固定；3.2.3点击进入手动画面，抬起隔膜摆辊到上限位置，然后点击画面右侧“卷绕”，点击“隔膜放卷”，直至放出合适长度，再次点击“隔膜放卷”，穿带示意图见右图；3.2.4穿带后，点击“大叠片台上”，叠片台降下，然后将隔膜从正负极压爪下穿过，隔膜边对应在标记刻度上，再点击“大叠片台下”固定住隔膜；3.2.5调整隔膜位置和纠偏，使隔膜边对应在标记刻度上，隔膜长度和张力适中，见图4； 3.2.6点“返回”，进入主控画面。

3.3安装终止胶带3.3.1松开固定螺母，将终止胶带安装到胶带放卷装置上，放卷方向为逆时针放卷；3.3.2如右图所示穿带示意图进行穿带，放卷长度适中； 3.3.3点击手动画面的“贴胶”，点击“贴胶连动”，待贴胶动作正常后停止。

3.3试叠片3.3.1点击“参数设置”，设置叠片数（为正负极叠片数之和）3.3.2点击主控画面的“自动画面”（见图5），点击总产量“清零”，点击“启动”（见图6），叠一个电芯后停止（点停止时第一个电芯未叠完），首检尺寸和外观，若合格正式生产，否，调整参数，重新执行3.3操作，调整完不合格电芯分开放置，避免混淆。

CETC48扩散工序作业指导书

流至刻蚀：
1. 填写流程卡和汇总表，进行相关登记。 2. 打开通往刻蚀的传递窗，将盛满硅片的花篮以及流程卡放于传递窗中，等待刻蚀。版本日期 A/0 2013-3-19 A/1 2015-10-24 更改内容增加自动上下料设备
第 7 页共 8 页
版本
日期
更改内容制订签名日期审核批准
1、头发不得外露； 2、戴活性炭口罩； 3、衣领需粘紧； 4、衣服拉链拉到最上端； 5、佩戴工作手套； 6、穿专用无尘鞋。
1、风淋门为单向门不得同时打开，风淋时将门关紧； 2、进扩散车间必须风淋 15 秒，严禁擅自修改时间； 3、工作鞋必须踏在粘尘垫上粘尘。粘尘垫须及时更换。
炉口位置
3. 注意舟的放置方向
窄边
第 4 页共 8 页
CETC48 扩散工序作业指导书
工位名称
工艺运行
文件编号版本/版次型号
DT/TEC W-003 12 A/1 CETC48 扩散炉
运行工艺
工时（秒）
N/A
运行工艺：
是运行
1. 2. 3.
将石英舟全部放满就可以进行工艺（选择运行工艺文件）；系统界面：按“是”进入下一步骤；在点击运行按钮，即可进入自动工艺；
工装穿戴：
1. 穿好无尘服、无尘鞋，一次性橡胶手套。 2. 禁止不配戴手套或配戴脏污手套接触硅片表面、石英制品、镊子、承载盒及真空垫板。严禁使用脏污的石英制品、镊子、承载盒及真空垫板接触硅片。
风淋要求：
风淋要求 1. 进入扩散间必须按照规定吹风淋，严禁不吹风淋直接进入扩散间。 2. 每天上班前应对车间进行清扫，包括地面、风淋室、传递窗、插片台、暗房、卸片台等。其中石英吸笔及钢化玻璃台面要用酒精擦洗。

真空甩带机作业指导书

一、目的
为了确保真空甩带机正确规范的操作，以保证该设备正常运转特制内所有使用本设备的人员。
三、作业步骤
1、开机：1）开总电源：将对面墙壁上左边的电源闸刀向上拨至“on”；2）开冷却水：将设备后水管总开关扭至与水管平行，并将两个水阀逆时针旋转45°；3）开机械泵：按下机械泵开机电源按钮，等待2分钟，待系统内空气抽净；4）开扩散泵：按下扩散泵开机电源按钮，等待50分钟，待扩散泵预热完全；5）开铜辊电机：按下电机“调速”电源按钮，并按变频器上的“run”一次，运行变频器。（注意：预热时务必确保机械泵和扩散泵阀门处于关闭状态）
7、甩带：腔内真空度达到要求后，1）按右表头绿色按扭1次关闭高真空表；2）按左表头红色按钮1次关闭低真空计；3）顺时针转动扩散泵阀门开关手柄至“关”；4）打开氩气充气阀给腔内充气至气压表指示为“-0.05”并关上阀门；5）按下前面板上“充气І”至面板上气压表指示为“0.08”并关上按钮；6）调节变频器变频旋钮，使铜辊的转速达到要求；7）打开左侧电感应加热机电源开关；8）左手按住电感应加热机遥控开关不放，观察腔内石英管内样品待样品熔化后，右手迅速按下甩带开关至甩带完成；9）甩带完成后，松开两个开关并放回原处；10）关闭加热机电源开关；11）逆时针调节变频器旋钮至铜辊停止。（注意：务必先关高真空表后关低真空表）
6、抽真空：1）抽低真空：a)将机械泵拉杆逆时针旋转一下轻轻外拉至不能拉动再顺时针旋转一下锁定；b)等待真空表指针为“-0.1”后按下ZDF-2F复合真空计左表头的红色按钮，等待将腔内真空抽至低于中间档3Pa，同时继续紧固腔门上的螺丝。（注意：若超过5分钟未能将真空抽至低于3Pa，请将拉杆按a）步骤所示手法推进2分钟后再拉出）
11、清理现场，做好“5S”工作，保持现场整洁。

肉片机作业指导书

肉片机作业指导书一、任务概述本文档旨在为操作人员提供关于肉片机的作业指导，包括操作流程、安全注意事项和常见故障处理方法等内容。

二、操作流程1. 准备工作a. 确保肉片机处于停机状态，并断开电源。

b. 检查刀片的锋利度和安装情况，确保刀片完好无损。

c. 清洁工作台，并准备好所需的肉块。

2. 打开肉片机a. 将电源插头插入电源插座，并打开电源开关。

b. 按下启动按钮，使肉片机开始运转。

3. 加工肉块a. 将准备好的肉块放置在进料口处，并用手按住肉块。

b. 将肉块缓慢推入肉片机，注意保持手的安全距离，避免受伤。

c. 肉片机会自动将肉块切割成薄片，薄片会从出料口处排出。

4. 关闭肉片机a. 住手向肉片机推入肉块。

b. 按下住手按钮，使肉片机住手运转。

c. 断开电源，将电源插头拔出电源插座。

三、安全注意事项1. 操作人员应穿戴好工作服，戴上安全帽和手套，避免发生意外伤害。

2. 在操作肉片机之前，务必熟悉肉片机的使用说明书，并按照要求操作。

3. 在操作肉片机时，应保持专注，避免分心或者与他人交谈，以免发生危（wei）险。

4. 在加工肉块时，要注意手的位置，避免手部接触到刀片，以免受伤。

5. 不得将湿手或者带有水分的物体接近肉片机，以防止发生触电事故。

6. 维护人员应定期对肉片机进行检查和维护，确保其正常运行和安全性能。

四、常见故障处理方法1. 故障：肉片机无法启动。

处理方法：检查电源插座是否通电，确认电源线是否连接良好，如有问题及时修复或者更换。

2. 故障：肉片机运转时发出异常噪音。

处理方法：住手肉片机运转，检查刀片和传动部件是否松动或者磨损，如有问题及时修复或者更换。

3. 故障：切割效果不理想，肉块切割不均匀。

处理方法：检查刀片的锋利度，如刀片已钝，应及时更换新刀片。

同时，检查切割参数是否正确设置，根据需要进行调整。

4. 故障：肉片机运行时发生阻塞。

处理方法：住手肉片机运转，断开电源，用专用工具清除阻塞物，确保通道畅通后方可重新启动。

打片机操作作业指导书-精选

品名压片机操作
湖北华源生物科技有限公司
作业指导书文件编号HBHY-III-10制定
工序版次A0 审查
生效日期2008/06/10 页次共1 页批准图示作业步骤材料工具注意事项品质重点
1.工作间的准备：温度、湿度、紫外灯照射时间、酒精喷雾达到
HACCP的要求。

2.操作程序
2.1确认机器安装完好后,启动电源开关。

2.2将所要冲片的粉末物倒入冲片机上部的圆锥形的漏斗里。

2.3打开机器内开关,打开调速器开关,根据需要调到一定转速。

2.4将经过冲片机转到出口处出来的片剂用塑料盒接着。

2.5确认所要冲片的物质全部结束后,关闭电源开关。

2.6将所冲片好的片剂从出口处移开。

聆听机器内有无异常的响声,如有，立即停机,检查原因.
嘿嘿哈哈。

数通产品(路由器、交换机)勘测作业指导书-20060601-B-5.0

数通产品（路由器、交换机）勘测作业指导书密级：内部公开数通产品（路由器、交换机）勘测作业指导书华为技术有限公司版权所有侵权必究数通产品（路由器、交换机）勘测作业指导书密级：内部公开修订记录数通产品（路由器、交换机）勘测作业指导书密级：内部公开目录第一章概述.............................................................................................................................. - 4 -1.1 版本说明............................................................................................................................ - 4 -1.2 产品简介 .......................................................................................................................... - 4 -第二章勘测过程介绍 ............................................................................................................... - 5 -2.1 勘测准备............................................................................................................................ - 5 -2.1.1 设备配置清单和《技术建议书》 ......................................................................... - 5 -2.1.2 准备资料 ............................................................................................................... - 5 -2.1.3 准备工具 ............................................................................................................... - 5 -2.2 工程现场准备协调会 ........................................................................................................ - 6 -2.3 现场勘测 .......................................................................................................................... - 6 -2.4 第一次安装环境检查 ........................................................................................................ - 6 -2.5 勘测报告制作 ................................................................................................................... - 6 -第三章报告填写说明 .............................................................................................................. - 7 -3.1 封面................................................................................................................................ - 7 -3.2 组网图 ............................................................................................................................ - 7 -3.3 机房设备布放图和走线图 ............................................................................................... - 7 -3.4 勘测数据表....................................................................................................................... - 8 -3.4.1 机房环境 ............................................................................................................... - 8 -3.4.2 尾纤的勘测............................................................................................................ - 9 -3.4.3 电源电缆的勘测 .................................................................................................. - 11 -3.4.4 中继电缆的勘测 .................................................................................................. - 19 -3.4.6 杂项电缆的勘测 .................................................................................................. - 24 -3.5 走线方式和走线架.......................................................................................................... - 24 -3.6 勘测备忘录..................................................................................................................... - 25 -3.7 安装环境检查 ................................................................................................................. - 25 -3.7.1 机房条件 ............................................................................................................. - 25 -3.7.2 《工程安装准备指导书》.................................................................................... - 26 -3.8 工程材料及施工界面 ...................................................................................................... - 26 -3.9 扩容改造工程 ................................................................................................................. - 27 -第四章华为数通产品介绍..................................................................................................... - 27 -4.1 数通产品介绍 ................................................................................................................. - 27 -第五章数通系列相关参数介绍.............................................................................................. - 33 -5.1 物理特征及工作参数 ....................................................................................................... - 33 -数通产品（路由器、交换机）勘测作业指导书密级：内部公开第一章概述1.1 版本说明《数通产品勘测作业指导书V5.0》适用于华为公司数通产品的新建和扩容工程的工程勘测，本指导书可与NetStar工勘模块结合使用，指导勘测设计工程师进行数通产品的现场勘测、工程设计。

冲片机作业指导书

冲片机
作业指导书
控制状态：
发放编号：
版次：第一版第0次修订
编制：
审核：
批准：
持有人：
2015年10月10日发布 2015年10月15日实施
冲片机作业指导书
1.目的
为了满足检测工作的需要，对配器设备和标准物质进行管理，确保检测结果
准确可靠，编制了本作业指导书。

2.适用范围
适用于本中心对仪器设备的采购、验收、维护、保管、使用、更新改造、报废处理等管理。

3.职责
主任负责对仪器设备和标准物质的申购、停用、降级、封存、报废等报告进行批准。

技术负责人负责对仪器设备和标准物质的申购、停用、降级、封存、报废等报告进行审核，批准操作规程等。

负责批准仪器设备维护、保养计划。

综合管理员负责检测中心仪器设备的统一管理。

检测员负责提出仪器设备的申购计划，参加验收，编写操作规程，负责日常使用维护，提出停用、调出或报废申请。

4.工作程序
4.1把塑板平放在机座工作台上。

4.2将试样放置于塑板平面上。

4.3将切刀放在工作台上的试样上，使切刃平面与机座平台平行。

4.4旋动手轮压下裁刀冲裁试样。

4.5将切刀归位放置好。

5.相关文件
冲片机使用说明书
6.相关记录
仪器设备使用记录表
仪器设备维护保养记录。

安全作业指导书

目录安全作业指导书 (3)第一章电工安全操作规程 (3)第二章电焊工安全操作规程 (4)第三章钢筋工安全操作规程 (5)第四章高空作业安全操作规程 (7)第五章机械维修工安全操作规程 (8)第六章木工安全操作规程 (9)第七章圆盘锯安全操作规程 (10)第八章普通工（杂工）安全操作规程 (10)第九章气焊（割）工安全操作规程 (11)第十章装吊工安全操作规程 (12)第十一章起重机司机安全操作规程 (17)第十二章运输车辆司机安全操作规程 (19)第十三章机动翻斗车安全操作规程 (20)第十四章挖掘机安全操作规程 (21)第十五章推土机安全操作规程 (24)第十六章装载机安全操作规程 (26)第十七章汽车式和轮胎式起重机安全操作规程 (26)第十八章卷扬机安全操作规程 (28)第十九章载重汽车安全操作规程 (28)第二十章混凝土搅拌输送车安全操作规程 (29)第二十一章空气压缩机安全操作规程 (30)第二十二章发电机安全操作规程 (32)第二十三章钢筋调直切断机安全操作规程 (33)第二十四章钢筋切断机安全操作规程 (34)第二十五章钢筋弯曲机安全操作规程 (35)第二十六章点焊机安全操作规程 (36)第二十七章对焊机安全操作规程 (37)第二十八章焊、割设备一般安全规定 (38)第二十九章气焊设备安全操作规程 (39)第三十章打桩工安全操作规程 (42)第三十一章土方机械司机安全操作规程 (43)第三十二章管道施工安全操作规程 (44)第三十三章冲击式钻机安全操作规程 (45)第三十四章地质钻安全操作规程 (47)第三十五章爆破工安全操作规程 (48)第三十六章移动模架安全操作规程 (50)第三十七章喷射砼施工安全操作规程 (56)第三十八章风钻安全操作规程 (58)第三十九章预应力施工操作规程 (59)第四十章衬砌台车安全操作规程 (60)安全作业指导书第一章电工安全操作规程一、所有绝缘、检查工具应妥善保管，严禁它用，并定期检查、校验。

作业指导书-K-B纸片琼脂扩散法药敏试验操作

照片或图示
操作顺序
检查要点
使用材料
1、试验操作前，提前把单人净化工作台的紫外灯打开，杀菌一个小时；
2、配制MH（A）培养基，121℃高压灭菌15min，取出后在净化工作台中倒入无菌平皿中，每个平皿倒入20ml左右，使培养基厚度约4mm左右；晾干后备用；
3、在净化工作台中进行试验操作，用移液枪取校正好的菌液100μl注入已制备好的MH培养基上，用玻璃涂棒涂抹均匀；
检查要点
使用材料
1）取定性滤纸，用打孔器打成直径为6mm的圆形纸片，放入清洁干燥的青霉素空瓶中，瓶口以单层牛皮纸包扎，经121℃高压灭菌30min后，放在60℃的烘箱中烘干备用；
2）试验操作前，提前把单人净化工作台的紫外灯打开，杀菌一个小时；药液配制方法参照CLSI抗微生物药物敏感性试验执行标准（2010版）中规定的配制；药液配制在净化工作台中进行；
操作安全
1.高压锅使用时禁止脱水操作、排气未尽时不要打开高压锅；2.所有带菌实验用品，须经有效的消毒灭菌处理后再洗刷。严禁污染下水道。
环境要求
外围：一般பைடு நூலகம்境
无菌操作：万级局部百级洁净
异常处理
1.操作过程中断电，已打开的物品应重新灭菌，以防污染；2.发现污染及时处理；3.操作仪器有异常，及时汇报并报修。
3.纸片在使用前1～2h从冰箱取出，暖至室温再打开，以避免出现冷凝水。纸片启封后应放入可密封的有干燥剂的容器中，纸片只能在有效期内使用，过期应弃去。
1.打孔机、手提式高压蒸汽灭菌锅、恒温干燥箱、电子天平；
2.无菌水、磷酸缓冲盐溶液等溶剂
3.新华定性滤纸
材料处理
1.将材料2及圆纸片放入高压锅，按高压蒸汽灭菌锅操作规程操作，灭菌121℃、30分钟；

镀膜机作业指导书

晶控自动镀膜系统作业指导书1．镀膜机开、关机操作开机1．打开主电源。

2．将“运行/待机”开关打道“待机”位置。

3．打开显示器和计算机电源，待计算机启动完成。

4．开机械泵。

5．开扩散泵。

6．将“运行/待机”开关打道“运行”位置。

7．扩散泵预热30分钟后可以工作了。

关机1．关闭扩散泵冷却30分钟2．将“运行/待机”开关打道“待机”位置。

3．关闭计算机4．关闭机械泵5．关闭主电源2.运行参数设置晶片初始频率：输入被镀晶片的中心频率，例如：12160－－12170KHZ应输入12165KHZ；如果要加镀高频片，先进行频率修正，然后在晶片初始频率中输入加镀高频片的中心频率。

注意加镀完毕后要及时把晶片初始频率修正回原始值。

晶片目标频率：输入镀到的目标频率，例如：12M晶体镀到1000PPM，晶片目标频率应输入12012KHZ；3.579M晶体镀到700PPM，晶片目标频率应输入3581.5KHZ单面镀膜时间：用于时间镀膜时钼舟打开的时间，时间长短以能将所有的银全部蒸发完为标准。

机台修正系数：用来调整计算的理论膜厚值与实际膜厚值的差异的。

在第一次镀某个系列晶片的时候，第一锅可以设为1，当前标晶频率：程序实测的标晶当前的频率。

标晶目标频率表示标晶应该达到的频率，达到这一频率后，被镀晶片也会达到目标频率了，以KHz为单位。

镀膜速率：标晶当前的变化速度，以Hz/S为单位。

数值大小与电流有关。

延时倒计时表示在所有延时程序中动态显示延时时间和剩余的延时时间。

当剩余时间变为0时，本次延时结束，以KHz为单位。

镀膜总时间为自动镀膜或取消自动镀膜的总的时间。

当前实测高真空度值和当前实测低真空度值为实测的高真空和低真空值。

串口通讯的真空计显示测量真空度值；指针表不显示。

3静态参数设置。

太阳能电池扩散工艺-Tempress工艺指导书

Tempress扩散工艺操作规程为更好地保证tempress扩散炉的生产正常进行，稳定生产工艺，提高扩散工序产品质量，进一步保证电池产品性能，特制定本作业指导书，以使操作人员的工艺操作有章可循，规范统一，同时，还为新员工的上岗培训提供教材参考。

一、工艺目的二、使用范围三、责任四、设备及工具五、材料与工艺气体六、工艺描述1、工艺原理2、工艺方案七、工艺准备1、工艺洁净准备2、设备准备八、工艺操作1、手工装片2、机械手装片3、工艺循环4.源瓶更换检查九、注意事项十、测试及检查十一、扩散工序不和格硅片产生原因及相应预防措施附1、四探针测试仪操作规程附2、WT-2000（少子寿命测试）操作规程扩散工序工艺操作规程一、工艺目的：在制绒后合格的P型硅片表面扩散一定量的磷（P）原子，从而在硅片表面形成结深为0.3-0.5µm的P－N结。

二、适用范围：适用于电池车间Tempress扩散炉。

三、责任本工艺作业指导书由工艺工程师负责制订、修改、解释。

四、设备及工具：Tenpress扩散炉、四探针测试仪、石英舟、防热手套、橡胶手套、口罩、少子寿命测试仪、R2D机械手。

五、材料与工艺气体：制绒后的多晶硅片，三氯氧磷，氮气（40psi），氧气（40psi），压缩空气（5kg/cm2），冷却水（0.4MPa），源温控制器温度20±0.2℃。

( psi为磅/平方英寸)。

六、工艺描述：1、工艺原理：三氯氧磷 (POCL3)在高温下（约860℃）与氧气（O2）反应生成五氧化二磷（P2O5），五氧化二磷（P2O5）进一步与硅 (Si)反应生成二氧化硅（SiO2）和磷。

磷原子(P)在高温下逐步向硅片内部扩散，在硅片表层形成一定的浓度梯度，最终形成一定结深的P-N结。

其反应方程为：4POCL3 +3O2 =2P2O5 +6CL22P2O5+5Si= 5SiO2+4P2、工艺方案：（1）、进舟：将硅片用桨送进扩散炉炉管内（2）、出桨：将硅片送到炉管内后桨退出炉管（3）、升温：将炉管温度升到设定温度（4）、稳定：将炉管温度稳定在一个稳定值（5）、氧化：在硅片表面生成一层二氧化硅，起到净化表面的作用（6）、淀积：在硅片表面淀积一定量的P原子（7）、推进：通过控制温度将淀积在硅片表面的P原子推进到硅片内部，形成预定深度的结深。

四十八所扩散作业指导书现场版本

规范四十八所扩散炉常规维护项目的操作二、适用范围适用于佳诚太阳能有限公司电池车间扩散一到四线工序三、规范性引用文件四十八所扩散炉操作说明书四、职责设备人员：1、检查温控仪表及热电偶是否正常2、检查触摸屏是否偏移，矫正3、检查电气线路按钮开关及指示灯是否正常4、检查插片房风机是否正常5、检查变压器及炉体接线端子是否老化、发黑等现象6、保养完后，确认每台炉管加热、流量正常工艺人员：1、负责协助生产拆装废液瓶夹子2、检查有毒气体管道密封性和老化程度，是否需要更换生产员工：1、检查传动是否平滑，有无震动和异响，加润滑油2、清理净化滤网，必要时更换3、清理废气室及废气管滴下的偏磷酸4、检查恒温水槽不锈钢源瓶座是否有积水，清理5、检查恒温水槽液位是否过低；控温等是否正常6、检查气路是否有漏气现象，更换卡套和四通阀7、检查废液瓶内废液，是否需要清理五、设备主要技术参数:六、设备介绍与操作1.1总体结构总体结构分为四大部分，见平面安装图1，从右到左为：控制部分、推舟净化部分、电阻加热炉部分、气源部分。

图1 软着陆扩散炉平面安装图1.2分部件结构1.2.1工控机控制框图见图2。

图2在控制柜的底层，安装有四管控制系统的推舟控制装置、保护电路、电路转接控制板及各层的开关、保险等, 前盖板上装有三相电源指示灯及照明、净化、抽风开关等。

该柜内有220V 的交流电，也有15V 、5V 直流电和控制信号线，检修时请注意区分及安全，谨防接错和短路。

1.2.2推舟净化部分推舟净化柜的顶部装有照明灯；正面是悬臂桨推拉舟机构，推舟水平运动采用步进电机+减速机+同步带+同步带轮的传动机构，推动悬臂桨水平移动；推舟垂直运动采用步进电机+减速机+升降机的驱动机构，推动推舟底板整体上下移动。

导轨的两端和上下运动的两端都装有限位开关和极限保护开关。

靠近炉口的净化柜顶部设有漏斗状的抽气罩，与外接抽风系统连接后，用来排掉出舟时散发的大量高温有毒气体。

发电厂辅机设备扩散体制作工艺

２１碳钢的制作．本工程选用的主要材料有热轧Ｈ型钢、钢、槽Ｔ型钢、板。主要设备有多嘴式火焰自动切割机、钢半
自动埋弧焊机、卷板机、臂式钻床、摇数控三维钻床、数控带锯床、砂机、Ｏ喷Ｃ气体保护焊机等。为保证构件的加工精度，是采用自制高精度一模具，所有弧形板必须卡在模具内制作；是针对不二同的部位，同的材料，定焊接作业指导书，行不制进焊接工艺评定，编制焊接工艺；是根据工艺，制三编产品检验计划，定关键过程和质量控制点，确并严格
的损耗，将一个片体分为四块钢板分别下料。图２为两片标准片体的钢板拼接图解，中，ａｌ，ｅ其１，ｂ１，
１构成第一片，ａ２，ｃ２ｄ２，ｂ２，ｄ构成第二片。１，ｅａｌ，
２，ｃ分别用市场标准板宽１５０ｍ或者１８０ａ２０ｍ０ｍ钢板排版，ｂ和２ｍ１ｄ拼板排版，１ｄ和２ｂ拼板排
为碳钢结构层，中间层为岩棉隔热层，内层为不锈钢衬板层，衬板与外层结构采用扇贝形不锈钢板连接，底座分为前后两个，个底座由一根底座梁和两个每
支座组成。
侧立面
图１扩散体构造
２加工工艺要点
正立面
执行首件检查、序控制和出厂检查制度，工实现制作设备先进化、工艺制度化、品检验程序化。产２１１弧形片体的制作工艺．．本工程的单个弧形壳体材料为１ｍ厚钢板，０ｍ

湿法刻蚀作业指导书

承认确认作成3、 4、4.放片须对正，待稳定方可松开吸笔。

1.打开传递窗2.取片3.放片于上料台4.卸片盒放于指定位置5.不可用手直接放片，否则会引起产品隐性品质问题。

6.规格125的间距约5cm，规格156的间距约7cm。

7.吸住硅片的中间垂直往上提,沿着花篮卡槽平行推进约3/5。

8.装满片的花篮应往倾斜45°角，让硅片轻轻滑落到花篮底部。

9.如有不平行的用两母指摆平行。

5.检查硅片6.抽检测试片7.测方块电阻8.测刻蚀前重量10.硅片检查要挑不良品出来（缺角裂纹片）。

9.数据记录10.确认设备状态11.投放测试片12.测刻蚀后重量劳动防护用品：13.冷热探针测电压14.数据比对15.吸笔擦拭16.上料放片改定履历年月日改定内容12345定位置管理说明1.格式编号：HCZY 011.接扩散后硅片,注意扩散正面朝上,背面作为腐蚀面。

3.吸片应在前后1/3处离左右相等的位置。

工序目的：使用部品材料：应遵守的要点及注意事项设备名/设备编号： 2、使用夹具、工具： 1、刻蚀机11.12.2.穿好劳保用品。

去除磷硅玻璃及边缘刻蚀页码信息：HCBZZZ030 总 2 页01湿法机操作作业指导书文书编号版本修改日期第 1 页年月日年月日作成日期频度样品数参考规则管理項目3.电阻5pcs/30min 规定资料及判定标准管理要点测定法△2-5改定确认承认≧30mv5pcs/30min 备考冷热探针2.5pcs/30min减薄量电压测试仪天平作业手顺·遵守事项●作业手顺扩散硅片石英吸笔,花篮,片盒,天平,四探针测试仪,物料箱，冷热探针。

口罩,丁腈手套。

样式编号：AAAE02。

2.捷佳伟创扩散工序操作作业指导书

文件修订记录目录1.目的 (3)2.范围 (3)3.定义 (3)4.规范性引用文件 (3)5.职责 (3)6.内容 (3)一、目的制定标准的扩散工序操作规程，规范电池片生产中的各项操作。

二、范围用于电池片生产车间内扩散工序的作业指导。

三、定义洁净室：是指空气洁净度达到规定级别的可供人活动以及生产出合格产品的空间。

方块电阻不均匀度：=（R□max- R□min）/(2R□avg)*100%四、规范性引用文件无五、职责5.1技术部负责生产工艺运行的正常性、稳定性并对产线进行检查、监督。

5.2 设备部负责设备开关机、故障分析、设备维护及检修。

5.3 制造部负责规范所有操作人员的操作方法，必须严格按照本文件进行操作。

六、内容6.1扩散工艺卫生规定，见4-7页。

6.2 扩散工序操作作业指导书，见8-12页。

6.3 四探针方阻测试作业指导书，见13页。

6.4扩散源瓶更换操作作业指导书，见14-16页。

6.5 石英器件清洗操作作业指导书，见17-20页。

6.6附件6.6.1四探针电阻率测试作业指导书，见21页。

6.6.2 扩散源瓶更换记录表，见22页。

6.6.3 石英器件清洗记录表，见23页。

扩散车间工艺卫生规定1. 环境要求1.1 洁净度需控制在1万级内，扩散间与通道压差不得小于10帕，与非区压差不得小于5帕。

1.2 温湿度：温度25±5℃，湿度≤50% .1.3车间物料、设备和人员进入扩散间必须经过扩散风淋门进行15s风淋才能进入扩散间。

大型物品（石英管、石英配件、设备配件）在设备维护期间可通过常闭门进出扩散间。

1.4扩散间为封闭式洁净空间，与清洗车间之间的传递窗仅允许运载小车通过且严禁对开，以保持扩散间的封闭状态。

2. 人员要求2.1除当班操作人员外 ,非当班工作人员不得随便进出扩散间。

人员进入扩散间必须通过风淋门进行风淋，出扩散间无需风淋。

2.2进入扩散间的人员需在进入前检查自身着装（工作服、帽、鞋、口罩、手套，帽子应将头发完全遮住,口罩遮住口鼻，头颈、手腕、足踝处牢固系紧）确认着装符合要求后方可进入。

五部设备作业指导书-扩晶机

步骤1：设备操作员每天检查设备周边有无杂物，设备顶部不可放置其他物料工具等步骤2：设备操作员接通电源，检查通电、通气是否正常步骤3：设备操作员设备开启后检查各指示灯是否不亮，检查温控器温度是否正常步骤4：设备操作员在气缸工作时切勿将手接近或放入压合面步骤1：设备操作员确认安全检查与注意事项中所描述的内容没有异常后按下红【电源开关】、绿【温度开关】色开关键，观察温控器显示是否正常步骤2：设备技术员将机台温度设定到50℃，设备技术员不得擅自更改机台温度步骤3：打开电源开关，将温度设定于50℃，按下气缸“上升”按钮，下压模上升，按下气缸绿色“下降”按钮，下压模回至最下方，反复几次下气缸动作，将上升速度调整至正常运行速度，松开锁扣，掀起压板，将扩晶内环放于下压模，晶片膜放于下压模正中央，晶片朝上，将上压模盖上，锁紧锁扣，按下气缸“上升”按钮，下压模徐徐上升，薄膜开始向周围扩散，晶粒间隔逐步拉大。

当晶片间隔扩散至原来的约2～3倍时停止上升。

将扩晶外环圆角朝下平放在薄膜于内环上方，双手按住控制面板两边红色“下降”按钮，上压模开始下压，反复几次直至扩散后的晶片膜套紧定位，松开按钮，上压模回至最上方，用刀片割掉扩晶环外的扩晶蓝模，取走扩晶完毕的晶片膜，按下气缸绿色“下降”按钮，使下气缸回到最下方位置，松开锁扣，取走多余的蓝膜放入报修电话（厂内）：董怀兴厂外：编写：孙小英审核：批准：步骤1:设备操作人员在对设备进行保养时，必须确保设备总电源处于关闭状态步骤2:设备操作人员必须每天对机台表面及顶部用酒精进行清洁，检查设备按键是否灵活或失效，设备按钮有无松落步骤3:设备操作员在操作机台时切勿用锐器敲击、摩擦下压模表面以免形成划痕，生产过程中温度，气压有无异常步骤4:设备技术员协同设备主管每月对设备进行安全性能检查，对设备安全隐患、设备内部线路、设备5S、设备表单等进行安全大检查，以确保操作人员的人身安全和设备安全（设备供电为：AC380V，为确保安全，设备内部检查需PE主管或电工在场，否者不得擅自拆卸机身面板外壳）报修电话（厂内）：董怀兴厂外：。

作业指导书

10.."**********"以实际生产机型物料版本：V1.0产品19寸自制屏机型19寸通用机型批准站别3标准时间32S 审核作业内容装中框实施日期2010/12/1拟制邹庆涛H治具1无尘手套点灯治具1离子风机粘尘棒1荣晶（南昌）电子液晶模组作业指导书使用工具：13.用粘尘滚轮在导光板上从左至右流动两次, 粘除导光板异物.（如图1）4.取下扩散片，双手托起下扩散片检查外观，然后放于导光板上并切实放好。

(如图2)5.取上扩散片,双手托起上扩散片检查外观，最后將上扩散片切实卡于下扩散片上。

6.再仔细检查背光颜色是否异常，是否有下异物、污点及损伤，用粘棒清除。

(如图3)7.关闭点灯器，拔掉灯管线。

1作业步骤：1.把上一工位未组裝好的B/L放在"H"治具上。

2.将灯管电源线插于点灯器上，打开点灯器开关。

**********塑胶中框1文件编号: RJ-LCM-PANEL-019-002物料代码规格名称用量注意事项：1.不可戴金属、锐利物作业。

作业员不可留长指甲。

2.作业前必须开启离子风扇电源开关到指定位置。

3.电源线连接器必须正确完全插入，除清洁专用物外，其它东西不可触摸光学片，若有灰尘，以粘尘棒清除，若刮伤请报告管理人员。

4.严格认真检查下异物。

粘尘棒粘取三次后须清洁一次。

5.注意灯管高频高压端的安全，螺钉孔对准。

6.检查中框的卡扣是否切实卡到位。

7."H"治具、无尘手套每隔两小时清洁一次。

8.卡中框時注意不能卡到导光板边上的端反，卡中框之前，先检查端反有沒不良。

9. 返工时, 一定要先取下中框放回料架上，才可以再作返工作业。

10."**********"以实际生产机型物料料号为准。

请在你的工作区域内保持7S图2图1图3版本：V1.0产品19寸自制屏机型19寸通用机型批准站别4标准时间32S 审核作业内容装O PEN CELL 实施日期2010/12/1拟制邹庆涛静电手环1无尘手套点灯治具1离子风机粘尘棒1静电环版本：V1.0荣晶（南昌）电子液晶模组作业指导书使用工具：9.作业完成后，將半成品由外向里翻转交由下一工位作业。