光学薄膜基础知识简介
光学薄膜基础知识介绍
光学薄膜基础知识介绍光学薄膜是一种具有特定光学性质的薄膜材料,通常由多个不同折射率的材料层次交替排列组成。
它以其特殊的折射、反射、透射等光学性质,在光学领域中得到广泛应用。
下面将介绍光学薄膜的基础知识。
一、光学薄膜的分类1.反射膜:反射膜是一种具有高反射特性的光学薄膜,适用于折射率较高的材料上,如金属、半导体、绝缘体等。
2.透射膜:透射膜是一种具有高透射特性的光学薄膜,适用于折射率较低的材料上,如玻璃、塑料等。
二、光学薄膜的制备方法1.蒸镀法:蒸镀法是最常用的制备光学薄膜的方法之一、它通过将所需材料加热至一定温度,使其蒸发或升华,并在基板上形成薄膜。
2.溅射法:溅射法是另一种常用的光学薄膜制备方法。
它通过在真空环境中,使用离子束或电子束激活靶材料,并将其溅射到基板上形成薄膜。
3.化学气相沉积法:化学气相沉积法是一种以气体化学反应为基础的制备光学薄膜的方法。
它通过将反应气体通入反应室中,在基板表面沉积出所需的材料薄膜。
三、光学薄膜的性质和应用1.折射率:光学薄膜的折射率是指光线在薄膜中传播时的折射程度,决定了光的传播速度和路径。
根据折射率的不同,可以制备出不同属性的光学薄膜,如透明薄膜、反射薄膜等。
2.反射率:光学薄膜的反射率是指光线在薄膜表面发生反射的程度,决定了光的反射效果。
反射薄膜广泛应用于光学镜片、反光镜、光器件等领域。
3.透射率:光学薄膜的透射率是指光线透过薄膜并达到基板的程度,决定了光的透射效果。
透射薄膜常用于光学滤波器、镜片涂层、光学器件等领域。
四、光学薄膜的设计与优化光学薄膜的设计与优化是制备高性能光学薄膜的关键。
根据所需的光学性质,可以通过调节不同层次的材料及其厚度,来达到特定的光学效果。
常用的设计方法包括正向设计、反向设计、全息设计等。
通过有效的设计与优化,可以实现特定波长的高反射、高透射、全反射等特性,满足不同光学器件的需求。
总结:光学薄膜是一种具有特殊光学性质的材料,广泛应用于光学领域中。
光学薄膜的知识
1mmHg=1.00000014Torr
13
初真空
低真空
高真空 超高真空
真空度Pa
>103
103~10-1
10-1~10-6
<10-6
平均自由 程(cm)
<10-4
10-4~5
5~105
>105
气流特点
1.以气体分子 间的碰撞为主
2.粘滞流
过渡区域
1.以气体分子 与器壁的碰撞 为主
2.分子流
平均吸 附 时间
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四、辅助系统
加温——————温度测量与控制 充气——————真空度测量与压强控制 工件架——————公、自转,均匀性调整 离子轰击——————直流与射频 比较片架——————透射、反射、内反射
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五、薄膜材料
透明区 折射率 强度 激光阈值 蒸发方法
1、金属材料:铝、铬、银、金等
2、介质和半导体材料
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三、控制系统 1、时间 2、颜色 3、光学控制 4、石英晶体震荡控制
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光学膜厚监控系统
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石英晶体法监控膜厚
主要是利用了石英晶体的两个效应,即压电效应和质量负荷 效应。 石英晶体的压电效应的固有频率不仅取决于其几何尺寸、切 割类型,而且还取决于晶片的厚度。当晶片上镀了某种膜层, 使晶片的厚度增大,则晶片的固有频率会相应的衰减。石英 晶体的这个效应是质量负荷效应。石英晶体膜厚监控仪就是 通过测量频率或与频率有关的量进行膜厚测量的。
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机械泵原理图
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油扩散泵
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扩散泵示意图
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注意事项:
1、不能在泵内气压高于1帕时加热扩散泵;已工作的扩散 泵停止加热后,应继续用机械泵抽空,直至冷却,否则泵 油易氧化变质。
第1章-光学薄膜基础知识-文档资料
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第1章 薄膜光学基础知识
光在通过分层媒质时,来自不同界面的反射光、透射光在 光的入射及反射方向产生光的干涉现象。
r
n,d
r
厚度为波长量级
能够产生干涉作用
t
t
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薄膜光学的研究对象
第1章 分支
➢它研究的对象是膜层对光的反射、透射、 吸收以及位相特性、偏振效应等;
➢ 1891年丹尼斯.泰勒(Dennis Taylor)在它的文章 中写到,在使用几年后的普通物镜的火石玻璃透 镜上“失泽”现象是十分明显的。我们很高兴的 是,能够使这种火石玻璃的拥有者放心,通常用 怀疑眼光看待的这层使玻璃“失泽”的薄膜,却 正是观测者的“挚友”,因为它增加了物镜的透 射率。
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第1章 薄膜光学基础知识
➢ 干涉现象是薄膜光学的起源 ➢ 1801年托马斯. 杨干涉实验是其理论基础 ➢ 夫琅和费在1827年制成了第一批减反射膜 ➢ 1873年,麦克斯韦的巨著《论光和磁》,进一
步奠定了薄膜光学的理论基础
➢ 1930年油扩散泵的出现促进了光学薄膜的发展 ➢ 各种制备技术是光学薄膜发展的保障
精品
第1章-光学薄膜基础知识
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第1章 薄膜光学基础知识
光学薄膜器件
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第1章 薄膜光学基础知识
1、光学薄膜的发展历史
人类最早发现的五光十色的肥皂泡; 水面上彩色斑烂的油膜; 两玻璃片间的空气层中常呈现出色彩鲜艳的光环; 所有这些现象早在十七世纪就引起了许多自然科学家的 注意,他们各自部提出了一些初步解释,但均不令人满意 ; 1801年托马斯 .杨干涉实验结果以及菲涅耳对此进一步 发扬光大以后,上述现象才彻底为人们弄清,物理光学的基 础才从此建立起来.今天我们可以说,整部薄膜光学的物理 依据就是光的干涉。
光学薄膜基础知识
机械性能
硬度与耐磨性
光学薄膜需要有足够的硬 度和耐磨性,以抵抗摩擦 和划痕对光学表面的影响。
韧性
光学薄膜材料需要具有一 定的韧性,以防止因受到 外力而破裂或变形。
附着力
光学薄膜与基材之间的附 着力需要足够强,以保证 薄膜的稳定性和使用寿命。
表面处理与涂层技术
通过表面处理与涂层技术,可以改善光学薄膜的表面质量、提高附着力、增强抗划伤能力等,从而提高其稳定性 和使用寿命。
降低制造成本
规模化生产
通过规模化生产,可以实现成本的降 低和效率的提高,同时提高产品的可 靠性和一致性。
优化工艺参数
通过优化工艺参数,可以减少生产过 程中的浪费和损耗,降低制造成本。 同时,采用先进的生产设备和管理模 式,也能够实现成本的降低和效率的 提高。Fra bibliotek环保照明
光学薄膜可以用于LED照明设备中,提高光 效和照明质量,降低能耗和热量的产生,同 时还可以实现可调色温、可调亮度等功能, 为环保照明提供更多可能性。
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根据材料分类
光学薄膜可以分为金属膜、介质膜、半导体膜等,不同的材料对光的 反射、透射、吸收等特性有显著差异。
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光学薄膜的特性
光学性能
反射与透射
光学薄膜能够根据需要改变光的 反射和透射行为,如增反膜增加 反射,减反膜减少反射并增加透
射。
干涉效应
薄膜的厚度和材料会影响光的干涉, 通过调整薄膜的厚度和材料,可以 实现对特定波长的光的干涉增强或 减弱。
光学薄膜广泛应用于光学仪器、摄影 器材、照明设备、显示屏幕等领域, 对提高光学元件的性能和改善光束质 量具有重要作用。
光学薄膜介绍范文
光学薄膜介绍范文光学薄膜是一种用于调节光学性能的材料,由一层或多层薄膜组成。
它能够在光的传播中起到反射、透射和吸收的作用,广泛应用于光学仪器、激光器、太阳能电池板、显示屏等领域。
本文将对光学薄膜的基本原理、制备方法、应用等进行介绍。
光学薄膜的基本原理是利用光在不同介质中的传播特性,通过调节薄膜的厚度和折射率来改变其对光的反射和透射。
薄膜的厚度通常要远小于光的波长,这样能够实现对特定波长光的选择性反射或透射。
薄膜的折射率可以通过改变材料的成分或添加掺杂物来实现。
光学薄膜的制备方法主要包括物理气相沉积(物理气相沉积技术、蒸发沉积技术等)、化学气相沉积(化学气相沉积技术、分子束外延技术等)和物理溶液法(溶剂热法、旋涂法等)。
其中,物理气相沉积是最常用的方法之一,它通过在真空或惰性气氛中加热薄膜材料,使其蒸发后在基底上凝结形成薄膜。
化学气相沉积则是利用气相化学反应,将薄膜材料的前体物质分解沉积在基底上。
物理溶液法则是将薄膜材料溶解于溶剂中,通过特定的方法在基底上形成薄膜。
光学薄膜的应用非常广泛。
在光学仪器方面,光学薄膜可以用于反射镜、透镜、滤波器等,用来改善光学仪器的光学性能。
在激光器方面,光学薄膜可以用于输出镜、增益介质、偏振器等,用来提高激光器的功率输出和光束质量。
在太阳能电池板方面,光学薄膜可以用于反射层、透明导电层等,用来提高太阳能电池板的光电转换效率。
在显示屏方面,光学薄膜可以用于透明导电电极、背光模块等,用来提高显示屏的亮度和对比度。
除了以上应用外,光学薄膜还可以应用于光学传感器、光纤通信、光子晶体等领域。
光学薄膜的设计和制备需要考虑多种因素,如光学性能、机械性能、耐用性等。
对于特殊应用需求,还需要考虑温度、湿度、气压等环境因素的影响。
总之,光学薄膜是一种功能强大的材料,能够通过调节厚度和折射率来改变对光的反射和透射,从而实现对特定波长光的选择性处理。
其制备方法多样,应用广泛,并且具有巨大的发展潜力。
光学薄膜的基础知识与防反射膜 (中文版)
光學薄膜的基礎知識與防反射膜真空器械工業株式會社薄膜應用技術課1.光學薄膜的基礎知識1.1屈折率與分散1.2膜厚1.3重復反射1.4特性矩陣1.5等價膜2.單層防反射膜2.1單層防反射膜的理論2.2由MgF2構成的單層防反射膜3.雙層防反射膜3.1QQ型防反射膜3.2HQ型防反射膜4.3層防反射膜1.1受中間層屈折率變化的影響1.2受不均質膜的影響1.3受膜分散的影響5.4層防反射膜6.5層防反射膜7.7層防反射膜1.光學薄膜的基礎知識 1.1 屈折率与分散 屈折率光的速度是自然界的常數,在真空中光的速度C 的定值是300,000km/秒.但在透明的介質中,光的速度值卻很小. 譬如: 當在水中時,光在真空中的速度可高達75%(0.75C). 然而在玻璃中的速度僅約0.66C.真空(實用的空氣)中的光的速度与介質中的光的速度V 之間的比C /V 稱為:其波長的光的介質屈折率. 通常用n 表示.也就是,介質中的光的速度與真空中的光的速度之間的關係為1/n.因此,水的屈折率是1.33, 玻璃的屈折率約為1.52.(圖1.1 介質中光的速度 )那麼,為何將光的速度比C /V 命名為屈折率呢? 現在請參照圖1.2, 光從真空入射到介質後從而形成了入射角i. 真空中的波長λ0 ,介質中的波長λ的表示式如下:λ0 =λ = 但是, ν被視為光的振動數. 因此可得出:= = n ( 1.1 )(圖1.2 折射的規則 )n 值大, r 值則變小. 也就是說, n 值可決定入射到介質上的光的折射角度. 因此,把光的速度比C /V 命名為屈折率.光的折射誘致人們產生諸多錯覺, 請看下列的事例.(1) 假如從外界來看水槽中的魚,其結果是魚比實際更接近於水面.且距離也特別近.(圖1.3 折射—例1 ; 水中的魚 )(2) 厚玻璃杯中的啤酒看起來卻比實際裝入的啤酒多.這是由於啤酒產生的光射到厚玻璃杯的兩個方向,因此可看到玻璃厚度比實際的薄. 倘若光直接照射時,肉眼立即會知曉. 如c ννV λ0λ Sin i Sin r c ν=果把它視為光從圖1.4的虛線方向射入,便會讓我們誤認為玻璃杯的外側也盛滿了啤酒.,(圖1.4 折射—例2 ; 啤酒杯 )分散不同振動數(即: 波長)的光在透明物質中是以不同的速度傳播的,所以會出現多種折射現象並且折射的量(即: 角度)會變遠. 假如利用棱鏡使光實現再次曲折,此時顏色各異的光可以清楚地分離開來. 由於光的振動數(距離)不同而產生了顏色分離的現象被稱之為:光的分散(Dispersion).最能充分說明分散現象的是:在自然現象中由於陽光射到空气的水滴里,發生光的反射和折射就形成了彩虹.(圖1.5 利用棱鏡實現分散 )(圖1.6 欲看到彩虹需具備的條件 )(圖1.7 利用水滴實現分散 )(i) 玻璃的分散通常情況下,透明介質的分散表達式為:n = A + ( 1.2 )但是, A 、B 、C 是用物質固有的常數表示, 如對具有代表性的玻璃( BK7、SF6 )進行計算,可得出 圖1.8 與 圖1.9的結論.(圖1.8 玻璃BK7的分散狀況 )(圖1.9 玻璃SF6的分散狀況 )如對各種玻璃中的光的速度進行比較可得知: 波長800nm 的光相對於波長400nm 的光,其BK7 約快1.3%, SF6 約快 4.5%.(ii) 鍍膜物質的分散具有光學性質的透明鍍膜物質“誘電體"同樣會發生分散,特別是作為高屈折率材料被人們廣泛使用的T i O 2 /Z r O 2兩物質分散的程度更大.基板BK7鍍了1層膜厚nd=3λ0/4 (λ0 = 650nm )的T i O 2, 其分光透過率特性如圖1.10 (圖1.10 基板BK7鍍上T i O 2 nd=3λ0/4 膜層的分光透過率特性λ0 = 650nm )λ-B C從圖1.10可得出T i O2的屈折率分散式:n = 2.331 + 無分散時,正如圖1.11曲線B 所示,波長650nm 極值以外的各波峰(peak)所顯示的波長值不同於有分散時的狀況(已發生偏移). 另外,無分散時,波長650nm 与390nm 的極值透過率相同.另: 圖1.12中已列舉出各種鍍膜物質的透過波長範圍表. 在膜設計時理當考慮波長分散. (圖1.11 基板BK7鍍上T i O 2 nd=3λ0/4 膜層的理論分光透過率特性λ0 = 650nm ) (圖1.12 各種鍍膜物質的透過波長範圍表 )1.2 膜厚如前項所述,光的速度會受介質的不同而變化.但它的振動數卻不變. 如圖1.13所示的那樣,如把各類波長以λ0 ,λ; 速度以c , v ; 光的振動數以ν表示,其介質的屈折率n 為:n = = =∴ λ= λ0 /n(圖1.13 真空与介質的關係 )也就是,屈折率n 的介質中的波長λ比真空中的波長λ0小. 因此,在屈折率n 的介質中所包含的距離d 的波數是:= 真空狀態下nd 的距離中所包含的波形數是相同的.也就是指,把屈折率n 的介質中的長度d 換算成真空中的話,就相當於光學上的nd. 因此, nd 也稱作光學距離或是光學膜厚. 在光學薄膜中僅僅把它單純地稱之為膜厚時,通常指的光學膜厚.這類光一旦通過幾何學中的膜厚d 的介質,它在真空中的波動与位相差δ的關係為:δ= × d = × nd ( 1.3 )= [ 自由空間中的傳播系數 ( ) ] × [ 介質中的光路 ( nd ) ]λ- 317.72213.888 λ0ν λνc νλ0 λ d λ nd λ02π λ λ0 2π λ02π在光的干擾原理中,此位相差δ極其重要. 在光學方面,透明薄膜的光學性質(分光特性)是 由於膜厚nd 与真空中的波長而形成了此特徵.1.3 重復反射兩面平行且在無吸收的介質(屈折ns )中, 當光垂直入射,則會產生像圖1.14在2個界面重復反射,剩餘的則作為透過光向外射出. 倘若把各界面的反射率視為R 0 , R 1 ,其反射光為:I 1 = I 0 R 0I 2 = I 0 ( 1 - R 0 ) 2 R 1I 3 = I 0 ( 1 - R 0 ) 2 R 1 2 R 0↓於是透過光則為:I 1 t = I 0 ( 1 - R 0 ) ( 1 - R 1 )I 2 t = I 0 ( 1 - R 0 ) R 1 R 0 ( 1 - R 1 )I 3 t = I 0 ( 1 - R 0 ) R 1 2 R 0 2↓因此,全反射光ΣR 為:ΣR = I 1 + I 2 + I 3 + ...= I 0 [ R 0 + ( 1 – R 0 ) 2 R 1 { 1 + R 1 R 0 + R 1 2 R 0 2 +...}] I 0 { R 0 +} = I 0∴反射率R = ( 1.4 )另外,全透過光ΣT 是:ΣT = I 1 t + I 2 t + I 3 t + ...= I 0 ( 1 – R 0 ) ( 1 – R 1 ) ( 1 + R 0 R 1 + R 0 2 R 1 2 +... ) ( 1 - R 0 ) 2 × R 11 - R 1 R 0 ~R 0 + R 1 - 2R 1 R 0 1 - R 1 R 0R 0 + R 1 - 2R 1 R 0 1 - R 1 R 0I 0= I 0∴透過率T =( 1.5 )介質兩面的反射率相等時, 公式 ( 1.4 ) 與 ( 1.5 )中,假設R 0 = R 1 , 則反射率為:反射率R = ( 1.6 )透過率T = ( 1.7 )另外, 單面的反射率R 0 為:R 0 = ( ) 2( 1.8 ) 使用公式( 1.8 ) 與 ( 1.6 )計算: 當光垂直入射到透明玻璃表面時的單面以及兩面的反射率,可得出像表1.1那樣的數值.屈折率ns = 1.50的單面反射率是4.0%, 然而在兩面時並非為它的2倍8.0%, 卻是7.69%. 表1.1 各種玻璃的反射率1.4 特性矩陣 (characteristic matrix )我們把不同介質的薄膜重疊多層, 使其境界面的反射光相互干擾的物體稱之為多層薄膜. 在多層膜中對於所期望的光學特性而未能滿足時,則采取增加膜層數的方式得以解決. 解析這類多層膜的光學特性的方法不勝枚舉,其中一種是: 使用極其有效的矩陣.詳細資料可參見文獻.書籍,在此只針對其概念以及它的實用性進行說明.( 1 - R 0 ) ( 1 – R 1 ) 1 - R 1 R 0 ~ 1 - R 1 - R 0 + R 1 R 0 1 - R 1 R 0 1 - R 1 - R 0 + R 1 R 0 1 - R 1 R 0 2R 01 + R 0 1 + R 0 1 - R 0 ( 1 - R 0 ) 2~1 + n s 1 – n s波長λ的光鍍在透明基板(屈折率ns)上所產生的屈折率n, 當垂直入射到幾何學中膜厚d 的無吸收.均質膜時,其光學特性矩陣是:M = cos δ sin δ ( 1.9 ) in sin δcos δ= m 11 im 12im 21 m 22但它的表達式則為:δ= × nd通常我們把它稱為特性矩陣或Herpin matrix.此時,反射率R 与透過率T 為:R = ( 1.10 )T = ( 1.11 )如圖1.15所示, 多層膜中各層的特性矩陣分別為:M k , M k-1 , ...M 2 , M 1 時,其多層膜的光學性質是各矩陣的積:M = M k × M k-1 ×...M 2 × M 1( 圖1.15 k 膜層 )= Ai b i c D公式(1.10): 假如m 11 = A, m 12 = B, m 21 = C, m 22 = D, 那麼k 層膜的反射率便能輕易求解. 下面我們來關注一下位相δ. 固定λ後再使膜厚nd 發生變化,只有在膜厚變化的情況下才能計算出反射率與透過率. 相反,在固定膜厚nd 後再使λ發生變化,此時波長的反射率與透過率的變化(分光特性)便可計算出來. n i 2πλ(m 11 - ns × m 22 ) 2 + ( ns × m 12 - m 21 ) 2 (m 11 + ns × m 22 ) 2 + ( ns × m 12 + m 21 ) 2(m 11 + ns × m 22 ) 2 + ( ns × m 12 + m 21 ) 241.5 等價膜(equivalent thin film)在設計.制作多層薄膜時, 根據基板的屈折率選用持有所期望的屈折率之鍍膜藥材.為解決此問題,下記方法請掌握並靈活運用. (混合膜的方法)(1) 在真空中屈折率各異的2種物質已同時鍍膜.(2) 空氣中2種物質按照適當的重量比混合後再進行鍍膜.但是生產線若想制造出持有所期望的屈折率的混合膜,在再現性方面卻是很難實現的.為避免此類情況的發生, 与混合膜可媲美的是”等價膜”. 高低2種屈折率的物質被對稱地組合成三層膜,此時一波長的光可用均質膜替代(Herpin定理) .當與光的波長相比較它的膜厚非常小時,比如等價膜厚在λ/4以下時,光學膜厚的變化對其等價屈折率波及的影響比預計小.像這類等價膜,在一定波長範圍內,它具有與均質膜相似的等價特性.也就是,如使用可互換的2種物質,就能夠制造出持有所期望的屈折率的薄膜.如圖1.16所示,當出現屈折率n 1, n 2 的對稱型3層交替層時,它的特性矩陣M 為: cos δ1 sin δ1 cos δ2 sin δ2 in 1 sin δ1cos δ1 in 2 sin δ2 cos δ2cos δ1 sin δ1 in 1 sin δ1cos δ1cos △sin △ in 1 sin δ1 cos △圖1.16 等價膜但它的關係則表示為:δ1 = ×n1 d1 , δ2 = ×n2 d2 , △= N D N 稱為等價屈折率, △稱為等價位相角.ni M = ×n i ni Ni = 2π λ 2πλ2πλ此時,當n1<n2時,則ND=λ/4. 具體請參照n1d1 , n2d2的求解程式後再實際運用.該程式如圖1.17所示. 變量U与膜厚比2n1d1/n2d2、變量k1和k2与λ/4以及變量N3之間的膜厚系數(n1d1 = k1×λ/4) 皆被稱為等價屈折率.(圖1.17 對稱3層型等價膜的膜厚計算程式)由MgF2 (n1 = 1.38)与Z r O2 (n = 2.0)構成的對稱3層型等價膜的膜厚与等價屈折率之間的關系請參照圖1.18.圖1.19是以眼鏡鏡片為代表的3層防反射膜(基板-A12 O3-Z r O2-MgF2 ) 的分光反射率特性, 再者, 將第1層的A12 O3 (n= 1.61) 換成由MgF2与Z r O2構成的等價膜後,其分光反射率特性如圖1.20所示. 兩者比較後可得知, 雖說短波長和長波長之間存在些許差異,但由於等價膜的關係卻使它變得非常實用.(圖1.18 對稱3層型等價膜的膜厚與等價屈折率)[圖1.19 ng = 1.52, n1 = 1.61(A12 O3),n2 = 2.0(Z r O2) ](圖1.20 將A12 O3更換成由MgF2与Z r O2構成等價膜之分光反射率特性)* 間接輸入時如字面那樣它是指材質的種類數.AIR/(HL)3HH(LH)5 /NS1 2 3 4因此,此時材質的種類分4種. ( HOW MANY MATERIAL)在鍍膜(例如H,L等) 時,各鍍膜的材質与膜厚必須相同. 當然,H与L即使不同也沒關系.由此可見,材質相同但厚度不同時,可以直接輸入.下列例題是針對間接輸入進行了說明. (參見EX-1)DIRECT INPUT(O) OR NOT(1)在上記括號中輸入1例題的鍍膜模式是:NS/(HL)2HH(LH)2 /NS1 2 3故材質種類變為3. ( HOW MANY MATERIAL)接下來在以下HOW MANY MATERIAL中輸入指定的鍍膜材質個數(例:3).各種鍍膜每種鍍膜名稱(H,L等由用戶定義), 膜厚(N×D,波長單位,基板的厚度也需象徵性地輸入,故此時輸為0即可), 鍍膜材質名(基板本身的玻璃名).鍍膜名稱的命名不能重復. (詳見示例)待以上內容輸入完畢後,有關鍍膜材質,基板玻璃的信息假如“鍍膜材質登錄文檔"中沒有指定材質名時,便會出現MATERIAL NAME ERROR的錯誤警告,此刻則需要手動輸入屈折率及吸收系數. 按理說已登錄的鍍膜材質或是玻璃的輸入設定在出現輸入錯誤(MATERIAL NAME ERROR) 時,象徵性的輸入適當的值,待各種初期data均輸入完成後,根據MINcommand再輸入即可解除. 膜厚輸入錯誤時,則使用NDIcommand訂正.屈折率以及吸收系數在輸入時,該程式已將屈折率設定為n,吸收系數設定為k,一般情況下需考慮波長分散性, 因此, 其數值(俗稱內插法) 如下:n2= a0 +a1λ+a2λ2 +a3/λ2 +a4/λ4 +a5/λ6 +a6/λ8k= MAX b0 +b1λ+b2λ2 +b3/λ2 +b4/λ4 +b5/λ6 +b6/λ8上記是使用各7個最大系數a0 ~a6 , b0 ~b6所構成的公式. “從層次低~何項止”可指定輸入.※名詞解釋插值法又稱“內插法”,是利用函數f (x)在某區間中若干點的函數值,作出適當的特定函數,在這些點上取已知值,在區間的其他點上用這特定函數的值作為函數f (x)的近似值,這種方法稱為插值法。
光学薄膜-基础知识
热导率
表示薄膜材料导热的能 力,影响光学薄膜的散
热性能。
光学常数
描述薄膜材料对光传播 的影响,如折射率、消
光系数等。
机械性能参数
硬度
表示薄膜材料的抗划痕能力, 影响光学薄膜的耐用性。
弹性模量
表示薄膜材料的刚度,影响光 学薄膜的稳定性和抗冲击能力 。
抗张强度
表示薄膜材料抵抗拉伸的能力 ,影响光学薄膜的耐用性和稳 定性。
反射率
表示光在薄膜表面反射的比例,影响光的利 用率。
吸收率
表示光被薄膜吸收的比例,影响光的损耗。
透射率
表示光透过薄膜的比例,影响光的透过效果。
干涉效应
由于多层薄膜对光的干涉作用,影响光的相 位和振幅。
物理性能参数
密度
薄膜材料的密度,影响 光学薄膜的质量和稳定
性。
热膨胀系数
薄膜材料受热后的膨胀 程度,影响光学薄膜的
更稳定的性能等。
多功能化
光学薄膜正朝着多功能化的方向发 展,如抗反射、抗眩光、增透、偏 振等功能,以满足不同应用场景的 需求。
环保化
随着环保意识的提高,光学薄膜的 环保性能也受到了越来越多的关注, 如使用环保材料、降低生产过程中 的环境污染等。
技术挑战
制造工艺
光学薄膜的制造工艺非常复杂, 需要高精度的设备和技术,如何 提高制造工艺的稳定性和重复性
02
它是一种重要的光学元件,广泛 应用于各种领域,如显示、照明 、通信、摄影等。
光学薄膜的特性
01
02
03
高反射性
通过选择合适的膜层材料 和厚度,可以获得高反射 率,用于增强光的反射效 果。
高透射性
通过调整膜层的折射率和 厚度,可以获得高透射率, 用于提高ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ的透射效果。
光学薄膜工艺基础知识培训
喷墨打印技术
总结词
喷墨打印技术是一种通过将液态墨水以 微滴形式喷射到基材表面形成图案的方 法。
VS
详细描述
喷墨打印技术具有较高的分辨率和灵活性 ,适用于制备复杂图案和个性化定制的光 学薄膜。然而,由于需要高精度的喷墨设 备和高质量的墨水,因此制造成本较高。
03 光学薄膜的性能参数
光学性能参数
01
在照明领域,光学薄膜主要用于提高灯具的亮度和均匀性; 在摄影领域,光学薄膜可以提高照片的色彩和清晰度;在医 疗领域,光学薄膜可以用于手术显微镜、内窥镜等医疗设备 的制造。
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溅射镀膜
总结词
溅射镀膜是一种利用高能离子轰击靶材表面,使靶材原子或分子从表面溅射出 来,并在基材表面沉积形成薄膜的方法。
详细描述
溅射镀膜具有较高的沉积速率和薄膜质量,适用于制备高质量、高性能的光学 薄膜。然而,由于需要高能离子源和高真空环境,因此制造成本较高。
化学气相沉积
总结词
化学气相沉积是一种利用气态化学反应在基材表面沉积形成薄膜的方法。
02 光学薄膜的制造工艺
真空蒸发镀膜
总结词
真空蒸发镀膜是一种在真空条件下,通过加热蒸发材料,使 其原子或分子从表面气化逸出,并在基材表面凝结形成薄膜 的方法。
详细描述
真空蒸发镀膜具有较高的沉积速率和较低的制造成本,适用 于大面积镀膜。然而,由于高温蒸发过程可能导致材料损失 和污染,因此需要严格控制真空度和蒸发源的纯度。
附着力与粘附性
描述薄膜与基材之间的粘 附能力,需满足一定的附 着力标准,确保薄膜不易 脱落。
抗张强度与韧性
薄膜在受到外力时的抗拉 伸和弯曲能力,是评估其 耐用性的重要指标。
光学膜片知识点总结
光学膜片知识点总结一、光学膜片的基本原理光学膜片是利用薄膜的干涉效应来实现对光的调控的光学元件。
薄膜的光学性质与其厚度、折射率及透射率等参数密切相关,通过对这些参数进行设计和调控,可以实现对光的波长、偏振、相位等的调控。
光学膜片的工作原理主要基于薄膜的干涉效应和多层膜的反射和透射规律。
1. 干涉效应:当光线通过薄膜时,由于薄膜的厚度和折射率的不同,光线在薄膜内部和表面之间会发生反射和透射,从而产生干涉现象。
这种干涉效应可以用来实现对光的波长和相位的调控。
2. 反射和透射规律:多层膜的光学性质与薄膜的材料、厚度、层序、折射率等参数相关,通过合理设计多层膜的结构,可以实现对光线的反射和透射的控制,从而实现对光的偏振和波长的调控。
基于以上基本原理,光学膜片可以实现对光的色散、偏振、透射率等的调控,具有广泛的应用前景。
二、光学膜片的主要特性1. 调控范围广:光学膜片可以实现对光的波长、偏振、相位等的调控,调控范围广,具有较大的应用潜力。
2. 光学性能优良:光学膜片具有优良的光学性能,如高透射率、低反射率、高色散率等,能够满足各种光学系统的需要。
3. 结构简单紧凑:光学膜片的结构通常比较简单,可以设计成紧凑的结构,便于集成和应用。
4. 制备工艺成熟:目前光学膜片的制备工艺已经比较成熟,可以利用各种方法和工艺制备出具有良好性能的光学膜片。
5. 适应性强:光学膜片可以根据具体的应用需求进行设计和制备,具有较强的适应性,适用于不同的光学系统。
在以上方面,光学膜片具有许多优良特性,是一种非常重要的光学元件。
三、光学膜片的制备工艺光学膜片的制备工艺是实现其优良性能的关键。
光学膜片的制备工艺通常包括薄膜沉积、膜层设计、光刻、膜层厚度和成分控制、表面处理等工艺步骤。
1. 薄膜沉积:薄膜沉积是制备光学膜片的基础工艺,主要包括物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)和溅射沉积等技术,通过这些技术能够在衬底上制备出所需的薄膜材料。
光学薄膜的知识
有色玻璃和镀膜在曲线上的区别
T%
100 80
60 40
20
0 400 450
500 550 600
650 700 750 800 850
波长 n m
900 950 100 0
105 110
0
0
45
3、普通玻璃
如青板玻璃,是由于加了0.08~0.12%的氧化铁 的缘故;二价、三价铁分别在1100nm和380nm 处构成吸收带,吸收了部分红光和青光;它的 折射率n=1.515。 白板玻璃、超白玻璃等均要归入此列。
单层膜的反射率为:
R
0 0
Y Y
0 0
Y Y
(0 (0
2 )2 2 )2
cos2 cos2
1 1
(02 (02
/ 1 / 1
1)2 1)2
sin2 sin2
1 1
4
多层膜:
B
C
n j 1
cos j i j sin
j
i sin j / j 1
cos j
K
21
二、蒸发技术 热蒸发; 溅射; 离子镀; 离子辅助蒸发
22
钟罩镀膜机示意图
1、加热器
2、(基片)玻璃
3、蒸发源
4、钟罩
23
热蒸发
加热材料蒸发
坩埚
24
舟状
丝状
坩埚
25
电子束蒸发
属于热蒸发的一种形式 光学膜制备的最常用手段 常常可以配以其它辅助蒸发
26
27
溅射技术
阴极溅射 高频溅射又称射频溅射——为溅射介 质材料而设计 磁控溅射——提高离化率、溅射速率, 降低基片温度 反应溅射
光学薄膜资料
02
介质膜材料
• 氧化铝、氧化锆、氟化镁等
• 具有高透射率、低损耗等特点
• 常用于透射膜、增透膜等
03
复合膜材料
• 金属与介质材料的复合
• 可以实现多种光学性能的兼容
• 常用于抗反射膜、波长选择膜等
光学薄膜在光学仪器中的应用
镜头
⌛️
• 减少反射损耗,提高成
像质量
• 增加透光率,提高光能
利用率
• 实现特定功能,如偏振
光学薄膜:原理、应用与制造技术
DOCS SMART CREATE
CREATE TOGETHER
DOCS
01
光学薄膜的基本概念与原理
光学薄膜的定义与分类
光学薄膜的定义
• 是一种具有特定光学性能的薄膜材料
• 可以通过控制薄膜的厚度、折射率等参数来实现特定的光学效果
• 在光学系统中起到重要作用,如提高成像质量、降低损耗等
常见失效模式
• 膜层脱落:薄膜在使用过程中,膜层与基材分离
• 裂纹:薄膜表面或内部出现裂纹,影响薄膜性能
• 腐蚀:薄膜在使用过程中,受到环境因素的影响,发生腐蚀
原因分析
• 制备工艺问题:如沉积过程中的温度、压力等参数控制不当
• 材料选择问题:如材料本身的稳定性、耐腐蚀性等性能不足
• 使用环境问题:如环境湿度、温度、紫外线等环境因素的影响
• 折射率仪:用于测量薄膜的折射率
估薄膜的可靠性
• 表面形貌仪:用于测量薄膜的表面形貌
光学薄膜的性能指标与评估方法
性能指标
• 透射率:光线通过薄膜的强度与入射光强度的比值
• 反射率:光线在薄膜表面反射回原方向的强度与入射光强度的比值
• 折射率:光线在薄膜中传播时,光线的传播方向与薄膜法线之间的夹角与入射角
光学薄膜-基础知识
----基础知识介绍
光学薄膜-基础知识
光是什么?
光是一种电磁波,(在真空中的)可见光波长范围是700~400nm ;红外光为约700 到107nm量级;紫外光1-400nm;比紫外光短的还有X射线、γ射线(<0.001nm)等; 而比红外长的就是我们熟悉的无线电波
光学薄膜-基础知识
什么叫光的干涉?
%
五、反射膜
在光学薄膜中,反射膜和增透膜几乎同样重 要。 对于光学仪器中的反射系统来说,一般单 纯金属膜的特性大都已经满足常用要求。在某 些应用中,要求更高的反射率则可用金属增强 镜。 而全介质多层反射膜,由于这种反射膜具 有最大的反射率和最小的吸收率因而在激光应 用和一些高要求的系统中得到了广泛的使用。
介质带通滤光片的结构为:介质反射膜/间隔层/ 介质反射膜/间隔层/介质反射膜.但是滤光片也可以
是混合结构,例如用一层金属膜如银膜代替两间隔之 间的介质反射膜形式如下:
介质反射膜/间隔层/金属膜/间隔层/介质反射膜
这是金属诱导透射滤光片的基本形式
这种滤光片的最大好处:长波无次峰、透射率较高
光学薄膜-基础知识
光学薄膜的类型与符号
光学薄膜-基础知识
光学薄膜的依附体 ——基板
光学薄膜-基础知识
光学上常用的基板
一、玻璃----在光学应用上最重要 二、陶瓷 三、光学晶体 四、光学塑料(如PC、PMMA等) 五、金属
光学薄膜-基础知识
一、玻璃
玻璃可以分为:
1、普通玻璃 2、无色光学玻璃 3、有色光学玻璃 4、特殊玻璃等
金属滤光片 全介质滤光片 双半波、三半波全介质滤光片 金属诱导透射滤光片
光学薄膜-基础知识
% T r a n s m it t a n c
光学薄膜基础知识
1 冕牌玻璃----K带头的玻璃 折射率n较小 色散系
数大 钡冕 等 可分为氟冕 FK 磷冕 PK 轻冕 QK BaK 重冕 ZK 镧冕 LaK 特冕 TK
数大 可分为冕火石 KF 轻火石 QF 钡火石 BaF 重火石 ZF 镧H火石 LaF 等
2 火石玻璃----F带头的玻璃 折射率n较大 色散系
00
2
7
10-4
0
3
10-4
3
10
10-4
1
5
10-4
4
20
10-4
玻璃的光学均匀性以一块玻璃中各部位间的折射率微差最大值 nmax表示时 按下表分为4类 类别 H1 H2 H3 H4 折射率最大微差 2 5 1 2 10-6 10-6 10-5 10-5 nmax
2
有色玻璃
它主要是滤光作用 有时候替代镀膜有时候和薄膜组 合 按照着色原理可以分为胶态着色和离子着色有色玻璃 两类 通过加入不同的吸收离子我们可以得到各种各样颜 色的玻璃 我们在用的蓝玻璃就是一种有色玻璃 HOYA叫 CM5000 肖特叫BG38 BG39等 国际 国内均有一些 专业的有色玻璃生产商
0——中心波长
Tmax——中心波长透射率
或 峰值透射率
2⊿
——透过率为峰值透过率 一半的波长宽度 也称通带半宽 度 有时也用2⊿ / 0表示相对 半宽度
四
带通滤光片
可分为
根据膜层的不同
金属滤光片 全介质滤光片 双半波 三半波全介质滤光片 金属诱导透射滤光片
100 80 % Transmittance 60 40 20 0 500
四
带通滤光片
从光学薄膜的角度来讲 最有意义的进 展是1899年出现的法布里-珀珞干涉仪 它是干涉带通滤光片的一种基本结构 而 自从1940年出现金属-介质滤光片以来 它已经在光学 光谱学 激光 天文物理 学等各个领域得到了广泛的应用
第1章-光学薄膜基础知识
公元前468~376年
29
青岛大学物理科学学院
第1章 薄膜光学基础知识
国外:
《光学》——欧几里德
——比《墨经》 迟100年
平面镜成像 反射角=入射角
毕达哥拉斯、德漠克利特、柏拉图、 亚里士多德
十七世纪以前——罗马帝国的灭 亡——黑暗时代
培根——暗示过望远镜的可能性。
Euclid,公元 前330~275年
23
青岛大学物理科学学院
第1章 薄膜光学基础知识
有大气,看到太阳更早
没有大气,将迟一些看到太阳
24
青岛大学物理科学学院
海 市 蜃 楼
第1章 薄膜光学基础知识
光经过不均匀的大气时发生折射,
形成的虚像。
25
青岛大学物理科学学院
海市蜃楼
第1章 薄膜光学基础知识
26
青岛大学物理科学学院
第1章 薄膜光学基础知识
新概念、新材料、新设计、新方法、新应用
10
青岛大学物理科学学院
第1章 薄膜光学基础知识
2、什么是薄膜光学?
➢ 薄膜可分成两大部分,第一部分是光学薄膜,第 二部分是光学波导及其相应器件;
➢ 前者的特点是光横穿过薄膜而进行传播;后者的 特征是光沿着平行薄膜界面的方向在膜内传播,
➢ 对于光学薄膜,在一块基片上淀积五、六十层膜 并非罕见,涂镀工艺是比较成熟的;
T=(0.97)7=80.7%.
未镀膜: T=(0.92)7=55.7%
➢ 这比没有经过镀膜处理的系统提高了约25%的透射能量
7
青岛大学物理科学学院
第1章 薄膜光学基础知识
➢ 20世纪中期:主要是在薄膜设备的改进与镀膜产 品种类以及质量的提高得到了发展,形成了典型 的减反射、高反射、滤光片等光学薄膜器件;
光学薄膜工艺基础知识培训
contents
目录
• 光学薄膜概述 • 光学薄膜的制造工艺 • 光学薄膜的性能参数 • 光学薄膜的应用案例 • 光学薄膜的未来发展
光学薄膜概述
01
光学薄膜的定义与分类
总结词
光学薄膜是附着在光学元件表面的超薄光学介质膜层,具有 特定光学性能。根据应用需求,光学薄膜可分为增透膜、反 射膜、滤光膜等。
溅射镀膜
总结词
溅射镀膜是一种利用高能粒子轰击靶材表面,使靶材原子或分子溅射出来并在基 材表面形成薄膜的过程。
详细描述
溅射镀膜具有较高的沉积速率和薄膜质量,适用于大面积基材的镀膜。其优点在 于可以获得高纯度、高密度、高附着力的薄膜,但缺点是需要高真空设备和较高 的能耗。
化学气相沉积
总结词
化学气相沉积是一种利用化学反应将气体中的元素或化合物转化为固态薄膜的过程。
详细描述
化学气相沉积具有较高的薄膜质量和可调的化学成分,适用于各种金属、非金属材料和介质表面的镀 膜。其优点在于可以获得高纯度、高密度、高附着力的薄膜,但缺点是需要高温和复杂的化学反应条 件。
溶胶-凝胶法
总结词
溶胶-凝胶法是一种利用溶液中的前驱体在基材表面形成凝胶膜,然后经过热处理得到 固态薄膜的过程。
光学薄膜在新型显示技术中的应用
液晶显示
光学薄膜在液晶显示中起到关键作用 ,通过调节光学薄膜的反射和透射特 性,可以提高液晶显示器的亮度和对 比度。
OLED显示
在OLED显示中,光学薄膜可以起到保 护、增亮和提升色彩质量的作用,提 高OLED显示器的使用寿命和显示效果 。
THANKS.
光学薄膜的未来发展
05
新材料的研究与应用
光学薄膜新材料
光学薄膜基础知识
光学薄膜基础知识光学薄膜讲解内容:①光学薄膜的理论基础及应用范围和发展前景②光学薄膜基础理论知识③镀膜制备技术④镀膜材料⑤镀膜检测光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。
它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程,涉及光在传播过程中,通过多层介质时的反射、反射各偏振性能等。
随着科学的进步和人们生活水平的不断提高,促使镀膜技术得到了非速的发展。
在许多情况下,人们关心的是材料的表面,在普通的基底材料上若镀以适当的膜,就可以获得奇迹般的效果。
膜是物质存在的一种形式。
多年来,在膜的理论、制备工艺、测试方法和应用等方面,进行了大量的研究和开发工作,已发展成为一门新兴的边缘科学——膜学。
它涉及物理学、化学、数学等基础学科和材料、等离子体、真空、测量与控制等技术领域。
它是多种学科综合的产物,同时也促进了相关学科和技术的发展。
膜学是材料中最活跃、最富成效、最有前途的一项技术。
镀膜的方法很多,分类方法也各不相同。
按膜层的形成方法分类,可以分为干式镀膜和湿式镀膜。
干式镀膜是指要真空的条件下,应用物理或化学的方法,将材料汽化成原子、分子或使成电离成离子,并通过气相过程,在基体表面沉积一层具有特殊性能的薄膜技术。
因此也有人称为气相过程或真空镀膜。
在干式镀膜中有以真空镀、溅射镀膜、离子镀为代表的物理气相沉积(PVD)和化学气相沉积(CVD)。
湿式镀膜是指将工件置于电解质溶液中,通过化学、电化学的方法,使其表面形成镀层,所以也有人称溶液法为液相沉积法,它可以分为电镀、化学镀、化学转化膜处理几种。
镀膜技术应用广泛,如太阳能电池、太阳能集热管、集成电路、半导体器件、平板显示器、光控及节能玻璃、信息储存作用器件、敏感元件、工模具超硬涂层及手表、眼镜、卫生洁具等日用品精钸层、塑料制品金属化、包装用塑料薄膜等各个领域,在工业现代化和国民经济发展中的越来越大,在国内外生产、科研、教学领域受到普遍重视,得到了迅猛发展。
光学薄膜基础理论知识光波:紫外光、可见光、红外光。
8薄膜光学
此时反射率最大,透过率最大:
RM
r1 r2 1 r1r2
2
n2 n2
n0nG n0nG
2
此时膜层厚度:
h
2
N 4
1
n
对于单层增反膜,镀膜材料折射率越大越好。
4.3.2 双层膜
设计光学薄膜计算量很大, 目前都是借助计算机软件设 计。在实践设计中多采用光 程先决法。
即先把膜层旳光学厚度定为λ/4,然后再拟定材料。
简介一种等效界面法。
1 2
3
先考虑由基底g和膜层3
g
构成旳单层膜系统。
由式(4.38)可得,此单层膜系统旳反射系数:
r r23 r3g exp(i ) 1 r23r3g exp(i )
因为是λ/4膜系,所以:
r r23 r3g 1 r23r3g
1
再考虑由膜层2和反射系
2
数为 r 旳等效膜层(3,g)
几种不同层数旳λ/4膜系旳反射率曲线
反射带宽旳计算公式为
2g
4
arcsin
nH nH
nL nL
式中,g=λ0/λ。由此可见,反射带半宽度Δg只与nH/nL有关,
nH/nL愈大,带宽就愈大。例如,对于由ZnS(nH=2.34)和MgF2
(nL=1.38)材料镀制旳λ0=0.632 8 μm旳反射膜,其反射带半宽度
h
2N 4
1
n
n n0nG
单层增透膜旳缺陷: 1.增透带宽窄。 2.材料限制。
(2) n0 n nG 或 n0 n nG 旳情形
此时有半波损失,反射率总不小于4%,这种薄膜有增反作用。
当 2N 或D N 时,反射率最低,
相当于没有镀膜。
光学薄膜的基本知识
光学薄膜的基本知识124 第三章光学薄膜的基本知识⼀个介质如果它的性质在过考察点并与某⼀固定⽅向相垂直的平⾯上的各个⽅向都⼀样,我们就叫它为分层介质。
图3-1就是分层介质的⽰意图,图中z 轴所指的就是这⼀固定⽅向。
对于图⽰的各层介质来说,其介电常数和磁导率εε=()z , µµ=()z图3-1 分层介质结构本章中我们由分析最基本的单层介质膜⼊⼿,进⽽分析周期性的多层介质膜。
通过对多层⾼反膜、增透膜、⼲涉滤光⽚原理的介绍了解常见的光学薄膜的基本知识。
最后通过⾦属膜理论的介绍了解吸收膜的性质。
§3-1 单层介质膜在⼀块玻璃基底上(n 3=1.5)镀制⼀层厚度不到⼀个波长的氟化镁薄膜(n 2=1.38),膜的上⽅为空⽓(n 11=),这样的三层介质就构成了⼀个单层介质膜。
光⼊射⾄单层介质膜,在膜层中有电磁场分布,对三层介质中的场量分析是以麦克斯韦电磁理论为依据。
作为简化的处理⽅法,我们直接运⽤电磁理论的结果来讨论各个区域中的总电场和磁场以及它们的边界条件。
⼀、求特征矩阵的数学处理⽅法图3-2为⼀单层介质膜的⽰意图。
设⼊射的单⾊平⾯波为⼀线偏振光,它可以分解为电⽮量垂直于⼊射⾯的TE 波和电⽮量平⾏于⼊射⾯的TM 波。
由于E 的垂直分量和平⾏分量在介质突变处的边界条件是相互独⽴的,所以这两种波相互独⽴。
图3-2中只画出了TE 波,以下的讨论就是针对TE 波进⾏的。
⾄于TM 波,可以⽤类似的处理⽅法,得出相应的结果。
选取相当于图3-1中(,)x y 坐标相同的两个考察点A Ⅰ、A Ⅱ,这种选取考察点的⽅法以后还要推⼴到多层膜。
现在就⽤⽐较这些处于同⼀竖直轴上的点场量演化的⽅法来建⽴层与层之间电磁场的传输关系。
图3-2a 中所标的E r Ⅰ、'E r Ⅱ、E t Ⅱ等,都代表介质中该点上沿图中所标定⽅向传播的所有可能波的总和,由于求和的过程已经包含在内,所以不125再追究得到它们以前的详细过程。
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(b )当 E 垂直于入射平面时
N cos θ
薄 膜 光 学——基础理论 基础理论
平面电磁波理论——布儒斯特角 布儒斯特角 平面电磁波理论
N0 N1 cos θ − cos θ 0 1 对于 p - 光: r =
当分子为零反射为零, 当分子为零反射为零, N0 N1 = 又根据折射定律 cos θ 0 cos θ 1
exp exp
2π N i ω t − λ 2π N i ω t − λ j ∂ ∂y H y k ∂ ∂z H z
0
(α
x + β y + γ z ) 2π N
∇ × H
=
i ∂ ∂x H x
= − i
λ
(r
× H
)
由麦克斯韦方程: 由麦克斯韦方程: ∇ × H 4π = c i εω 1 ∂ D 4 πσ j + = E + E c ∂t c c 4 πµσ ω ω = i N ωµ − E = i cµ cµ ω
)
薄 膜 光 学——基础理论 基础理论
平面电磁波理论
整理后可得: 整理后可得: ∇ E =
2
µε ∂ 2 E
c
2
4πµσ ∂ E + LLL (1) 2 2 ∂t c ∂t
设它的解: E 设它的解: = E0e
2
iω t − x
(
v
)
LL (2) 带入(1)中 带入(
c 4πσµ 整理得到:2 = εµ − i v ω
N 0 − N1 r= = + E0 N 0 + N 1 E
R可以是正数、也可 以是负数(180度为 相越变)
− 0
薄 膜 光 学——基础理论 基础理论
平面电磁波理论——反射和折射定律 反射和折射定律 平面电磁波理论
对于倾斜入射:引进一个修正光纳 对于倾斜入射:引进一个修正光纳η
仿照光纳定义, 仿照光纳定义, H
薄 膜 光 学——基础理论 基础理论
平面电磁波理论
c2/v2是一个介质固有的无量纲的常数,将c/v记作 是一个介质固有的无量纲的常数, 记作N 记作
即:N
2
= εµ − i
4 πσµ
ω
则 N 有如下形式 n 为正的解
c N = = n − ik v
N 有两个解,取 有两个解,
n称为折射率;k称为消光系数 称为折射率; 称为消光系数 称为折射率 N称为复折射率;光学导纳 称为复折射率; 称为复折射率
(a )对于
E
+ tan
+ tan
+ = η k × E tan ; H
TM ( 横磁波) − P 光 , 与于界面平行 横磁波)
+
(
)
η 的定义为: 的定义为:
− tan − = η − k × E tan
(
)
= E
cos θ 可得到
ηp =
同理
η s = N cos θ η 0 − η1 N 0 cos θ 0− N 1cos θ 1 则: r = 对于 s 光 rs = η 0 + η1 N 0 cos θ 0 + N 1cos θ
E = E0 e
iω t − x
(
v
)
LL (2)
ωN 2πN E = E0 exp i ωt − x = E0 exp i ωt − x λ c 这是一个沿 X轴方向传播的波长为 λ的平面波
所确定的方向传播则: 若光波沿 r (α,β,γ )所确定的方向传播则: 2πN (αx + βy + γz ) KK (3) E = E0 exp i ωt − λ
薄 膜 光 学——基础理论 基础理论
平面电磁波理论
n
整理比较可得: 整理比较可得:
2
− k =
2
2
= εµ 4 πσµ
2nk
n
ω
2
在光学波段µ约为 在光学波段 约为1 约为
− k =
= ε 4 πσ
2nk
ω
薄 膜 光 学——基础理论 基础理论
平面电磁波理论
代入( 将N = n − ik代入(2)
(
)
H 一定的比例 : N = ,这是 N 的另一种表达式 r×E 称为光学导纳, 称为光学导纳,只有在 光学波段 µ ≈ 1,光学导纳 在数值上才等于折射率 。
薄 膜 光 学——基础理论 基础理论
平面电磁波理论—— 坡印廷矢量 平面电磁波理论
电磁波传播时,表示单位时间内通过单位面积的 能矢量S,称为坡印廷矢量,或能流密度
结论: 结论: θ0 = θ r N 0 sin θ 0 = N1 sin θ1
---菲涅尔折射定律 菲涅尔折射定律 它不仅适用于介质,同样适用于金属。 它不仅适用于介质,同样适用于金属。
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平面电磁波理论——反射和折射定律 反射和折射定律 面电磁波理论
垂直入射的情况:E和H都与界面平行 由于第二种介质中没有反射波:H1=Ht
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薄膜光学的基础理论
电磁场的基本性质 光学薄膜系统特性计算 对称膜系等效折射率分析方法 介绍麦克劳德的导纳轨迹图解技术
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光学薄膜基础理论 几个条件: 工作波段:光学 薄膜厚度于考虑的波长在一个数量级 薄膜的面积与波长相比可认为无限大 薄膜材料各向均匀、同性 薄膜材料为非铁磁性材料 光穿过膜层而非沿着膜层在膜层内传播
H1 = N1 k × E1
+ 0 − 0 + 0
(
)
E1=Et
在第一种介质中有正方向和反方向两种波
E E H H
+ 0
H = N0 k × E ; H = N0 − k × E
(
− 0 + 0
)
− 0
(
− 0
)
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平面电磁波理论——反射和折射定律 反射和折射定律 平面电磁波理论
由于在 z = 0 处,任何时间内始终满 ∴ (1 )ω i = ω r = ω t ;
足边界条件
(2 )相位中对应的 (3 )N 0 sin θ 0
x 、 y 系数相等
∴ N 0 β r= N 1 β t = 0 = N 0α r = N 1α t
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平面电磁波理论——反射和折射定律 反射和折射定律 平面电磁波理论
这时的透射率没有意义,反射率可以得到:
薄 膜 光 学——基础理论 基础理论 当光线入射到介质、金属表面时 当光线入射到介质、金属表面时p光、s光反射率随角度的变化情况 光反射率随角度的变化情况
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c E × H ; 4π 因为坡印廷矢量的瞬时 S =
(
)
值是变化的
其平均值在一个周期内 为定值 c (EH ∗ )实 S = 8π c 另一方面: N E × k × E 另一方面: S = 4π c c ∴ S = N E • E k − E •k E = N E 4π 4π
[(
[ ( )] ) ( ) ]
个向同性、均匀介质物质方程: 个向同性、均匀介质物质方程: D =ε E B =µ H j = σE
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平面电磁波理论
将麦克斯韦方程3式两端分别用∇ ×
等式左端: ∇ × ∇ × E = ∇ ∇ ⋅ E − ∇ E 等式左端:
2
(
) (
(
0
)
1 ∂B 1 ∂ =− 等式右端: ∇×B 等式右端: ∇ × − c ∂t c ∂t 1 4π ∇ × B = µ∇ × H = µ∇ × H = µ j + jD c c
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电磁波谱
电磁波谱
光是电磁波
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薄膜的干涉
两束光产生干涉的条件: 两束光产生干涉的条件: 频率相同 振动方向一致 位相相同或位相差恒定
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薄膜的双光束干涉
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麦克斯韦方程组
微分形式 积分形式
以上是麦克斯韦在电学高斯定律、磁学高斯定律、法拉第 电磁感应定律、安培定律总结归纳出来的
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麦克斯韦方程组
E——电场强度 电场强度 D——电位移矢量 电位移矢量 H——磁场强度 磁场强度 B——磁感应强度 磁感应强度 µ——磁导率 磁导率 j——电流密度矢量 电流密度矢量 jD——位移电流矢量 位移电流矢量 ρ ——电荷密度 电荷密度 ε ——介电常数 介电常数 σ ——电导率 电导率
∴ ∇ × H
2
E
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平面电磁波理论——E和H的关系 和 的关系 平面电磁波理论
比较可得 ( µ = 1): − N E = r × H ;同理 ∇ × E 可得: 可得: H = N r × E ;这说明 r、 、 三个量相互垂直 E H 电磁波是横波, H 不但垂直, 电磁波是横波, E、 不但垂直,而且数值间 还有
N0 N1 cos θ + cos θ 0 1 这一入射角称为布儒斯
特角
N 0 sin θ 0 = N 1 sin θ 1
N1 ; θ 0 − 布儒斯特角 得到 tan θ 0 = N0
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