光学面形绝对检测方法发展综述

光学面形绝对检测方法发展综述
胡源;侯禛敏;蒋红梅
【期刊名称】《计测技术》
【年(卷),期】2024(44)2
【摘要】详细介绍了三平(球)面互检法、双球面法、旋转平均法、平移差分法(伪剪切干涉法)、奇偶函数法、随机球法和旋转平移法等光学面形绝对检测方法的测量原理,针对不同方法简述了国内外绝对检测技术的发展动态,并对比了不同绝对检测方法的适用领域以及存在相应的技术限制。

从物理实现和算法两方面对绝对检测技术的未来发展趋势进行展望,提出了通过提高外部机械结构精度来增加面形绝对检测精度,分析了深度神经网络算法与计算光学成像技术两种方法在绝对检测过程中的优势,并提出通过将两种方法与绝对检测技术相结合可进一步提高光学面形的绝对检测精度,为绝对检测相关领域的研究提供有益参考。

【总页数】12页(P1-12)
【作者】胡源;侯禛敏;蒋红梅
【作者单位】长春理工大学光电测控与光信息传输技术教育部重点实验室
【正文语种】中文
【中图分类】TB96;O436;TN247
【相关文献】
1.标准光学面形的建立与绝对检测
2.非球面光学元件面形检测方法
3.一种检测光学元件面形的新方法
4.基于位相测量偏折术的高精度检测平面光学元件面形的方法
5.光学面形绝对检测的数字干涉新方法
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