SiC热氧化SiO2层结构的光谱学表征

SiC热氧化SiO2层结构的光谱学表征
林海;袁菁;田晓丽;杨治美;马瑶;龚敏
【期刊名称】《光散射学报》
【年(卷),期】2007(019)003
【摘要】C原子的存在,不仅影响SiC热氧化SiO2层与SiC间的界面态,也直接影响SiO2层的结构和致密性.本文用红外光谱对SiC和Si热氧化生长SiO2层进行了研究,分析和讨论SiO2/SiC和SiO2/Si的红外反射光谱特征峰,以及不同的热氧化条件和退火过程对这些谱峰的影响,对SiC热氧化SiO2层质量的光谱学表征进行了初步探讨.
【总页数】4页(P248-251)
【作者】林海;袁菁;田晓丽;杨治美;马瑶;龚敏
【作者单位】四川大学物理科学与技术学院微电子学系,成都,610064;微电子技术四川省重点实验室,成都,610064;四川大学物理科学与技术学院微电子学系,成都,610064;微电子技术四川省重点实验室,成都,610064;四川大学物理科学与技术学院微电子学系,成都,610064;微电子技术四川省重点实验室,成都,610064;四川大学物理科学与技术学院微电子学系,成都,610064;微电子技术四川省重点实验室,成都,610064;四川大学物理科学与技术学院微电子学系,成都,610064;微电子技术四川省重点实验室,成都,610064;四川大学物理科学与技术学院微电子学系,成
都,610064;微电子技术四川省重点实验室,成都,610064
【正文语种】中文
【中图分类】O433
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