一种铝镓氮基日盲紫外探测器及其制备方法[发明专利]

专利名称：一种铝镓氮基日盲紫外探测器及其制备方法专利类型：发明专利
发明人：王书昶,张惠国,况亚伟,郭文华,冯金福
申请号：CN201710301067.2
申请日：20170502
公开号：CN106960887A
公开日：
20170718
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本发明公开了一种铝镓氮基日盲紫外探测器，包括由下至上依次设置的蓝宝石衬底、AlN 成核层、AlGaN缓冲层、n型AlGaN层、非掺杂i型ZnMgO吸收层、n型ZnO/ZnMgO超晶格分离层、非掺杂i型ZnMgO倍增层、p型AlGaN层、p型GaN层，在n型AlGaN层上引出的n型欧姆电极，在p型GaN层上引出的p型欧姆电极。

本发明还公开了铝镓氮基日盲紫外探测器的制备方法。

该铝镓氮基日盲紫外探测器可提高日盲紫外探测器雪崩倍增因子与探测器的响应度。

申请人：常熟理工学院
地址：215500 江苏省苏州市常熟市南三环路99号
国籍：CN
代理机构：南京苏高专利商标事务所(普通合伙)
代理人：张俊范
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