双自由度硅微振动陀螺仪[实用新型专利]

专利名称：双自由度硅微振动陀螺仪专利类型：实用新型专利
发明人：苏岩,裘安萍,周百令,王寿荣申请号：CN01244736.6
申请日：20010710
公开号：CN2482679Y
公开日：
20020320
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：一种双自由度硅微振动陀螺仪属陀螺技术,由上层制作在单晶硅片上的陀螺仪机械结构与下层制作在玻璃衬底上的信号线,电容极板等所组成,上层机械结构的外框架通过外扭杆与隔离环相连,隔离环通过内扭杆与驱动轮相连,驱动轮通过支撑梁连于支撑柱,下层玻璃衬底包括地线,输入、输出线,x、y轴检测电容固定极板与x、y轴反馈力矩电容固定极板等,上层通过支撑柱悬空安装在下层之上。

本陀螺仪实现了运动解耦,减少了误差。

申请人：东南大学
地址：210096 江苏省南京市四牌楼2号
国籍：CN
代理机构：南京众联专利代理有限公司
代理人：谢振龙
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