MEMS器件3
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1、MEMS工艺与微电子工艺技术有哪些区别。 2、依据MEMS制作工艺技术,设计实现一种微结构器件.并简述其制作流程. 3、列举几种你所知道的MEMS器件，并简述其用途。
线性马达
弧形梳齿 原理 应用
静电
静电
旋转马达 原理
美国喷气推进实验室(JPL)展示的采用MEMS技术的电阻电热式微推进器样机（液体气化方式）。微推进器由薄膜加热器、微型喷口等组成。其性能目标为：比冲75～125s，推力0.5mN，功率 <5W，效率≥50%，质量为几克，大小为1cm2。
微推进器
光纤加速度传感器
透射式光强器
偏振式光强调制型光纤加速度传感器
两质量块分置于弹性圆柱两端, 弹性圆柱固定在壳体上, 弹性圆柱的两端分别相向绕以椭圆芯双折射率光纤。当柱体产生轴向加速运动时, 在质量块惯性力的作用下一根光纤被拉伸, 另一根光纤被压缩, 致使两根光纤的双折率产生等量反向变化。光信号检偏后的光强即反映加速度的大小
微机械22光开关 微机械2 2光开关
光开关
RFMEMS 光开关
光纤固定结构
V形槽 各种卡紧结构
加速度计 压阻式加速度计 电容式加速度计 压电式加速度计
惯性器件
MEMS加速度
MEMS加速度分为三种:压电式、容感式、热感式。 压电式MEMS加速度计运用的是压电效应，在其内部有一个刚体支撑的质量块，有运动的情况下质量块会产生压力，刚体产生应变，把加速度转变成电信号输出。 容感式MEMS加速度计内部也存在一个质量块，从单个单元来看，它是标准的平板电容器。加速度的变化带动活动质量块的移动从而改变平板电容两极的间距和正对面积，通过测量电容变化量来计算加速度。 热感式MEMS加速度计内部没有任何质量块，它的中央有一个加热体，周边是温度传感器，里面是密闭的气腔，工作时在加热体的作用下，气体在内部形成一个热气团，热气团的比重和周围的冷气是有差异的，通过惯性热气团的移动形成的热场变化让感应器感应到加速度值。
美国喷气推进实验室(JPL)展示的采用MEMS技术的电阻电热式微推进器样机(固体升华方式)。微推进器由推进剂出贮箱、微阀、微过滤器、微型喷口等组成，微型喷口利用MEMS技术中的体硅工艺制作。其性能目标为：比冲50～75s，推力0.5mN，功率 <2W/mN，质量为几克，大小为1cm2。
微推进器
美国TRW公司、航空航天公司和加州理工学院（CIT）组成的研究小组提出了一个“数字推进概念”方案。硅片上有集成电路来开启和控制每个微推进器。整个推进系统还可充当卫星的散热器，以进一步减小卫星的有效载荷。制作方法可以用目前已成熟的MEMS及LIGA技术。图为他们于99年初发表了3×5阵列的电阻电热式微推进器样机。
微推进器
新概念的微型双组元火箭发动机结构图
组成: 由5到6片芯片叠在一起，内有混合燃烧室、喷口喷管、两个泵和两个阀以及冷却管道的多器件集成系统。用液态氧和乙醇作燃料 性能：能产生15N的推力，推力重量比达 1500:1，是大火箭推进器的10~100倍，反映了微系统的潜力
微推进器
作 业
惯性器件
电容式微加速度计
新器件——组件
微镜
各种光学元器件 透镜、波带片、滤波器、光栅及各种致动机构
新器件——组件
微光学系统
微光学工作台（Micro Optical Bench）
微型显示阵列（光调制器）
数字镜面显示（DMD） 原理 改变反射方向
光栅及光栅光谱仪
原理 不同类型的光栅
新器件——组件
线性马达
弧形梳齿 原理 应用
静电
静电
旋转马达 原理
美国喷气推进实验室(JPL)展示的采用MEMS技术的电阻电热式微推进器样机（液体气化方式）。微推进器由薄膜加热器、微型喷口等组成。其性能目标为：比冲75～125s，推力0.5mN，功率 <5W，效率≥50%，质量为几克，大小为1cm2。
微推进器
光纤加速度传感器
透射式光强器
偏振式光强调制型光纤加速度传感器
两质量块分置于弹性圆柱两端, 弹性圆柱固定在壳体上, 弹性圆柱的两端分别相向绕以椭圆芯双折射率光纤。当柱体产生轴向加速运动时, 在质量块惯性力的作用下一根光纤被拉伸, 另一根光纤被压缩, 致使两根光纤的双折率产生等量反向变化。光信号检偏后的光强即反映加速度的大小
微机械22光开关 微机械2 2光开关
光开关
RFMEMS 光开关
光纤固定结构
V形槽 各种卡紧结构
加速度计 压阻式加速度计 电容式加速度计 压电式加速度计
惯性器件
MEMS加速度
MEMS加速度分为三种:压电式、容感式、热感式。 压电式MEMS加速度计运用的是压电效应，在其内部有一个刚体支撑的质量块，有运动的情况下质量块会产生压力，刚体产生应变，把加速度转变成电信号输出。 容感式MEMS加速度计内部也存在一个质量块，从单个单元来看，它是标准的平板电容器。加速度的变化带动活动质量块的移动从而改变平板电容两极的间距和正对面积，通过测量电容变化量来计算加速度。 热感式MEMS加速度计内部没有任何质量块，它的中央有一个加热体，周边是温度传感器，里面是密闭的气腔，工作时在加热体的作用下，气体在内部形成一个热气团，热气团的比重和周围的冷气是有差异的，通过惯性热气团的移动形成的热场变化让感应器感应到加速度值。
美国喷气推进实验室(JPL)展示的采用MEMS技术的电阻电热式微推进器样机(固体升华方式)。微推进器由推进剂出贮箱、微阀、微过滤器、微型喷口等组成，微型喷口利用MEMS技术中的体硅工艺制作。其性能目标为：比冲50～75s，推力0.5mN，功率 <2W/mN，质量为几克，大小为1cm2。
微推进器
美国TRW公司、航空航天公司和加州理工学院（CIT）组成的研究小组提出了一个“数字推进概念”方案。硅片上有集成电路来开启和控制每个微推进器。整个推进系统还可充当卫星的散热器，以进一步减小卫星的有效载荷。制作方法可以用目前已成熟的MEMS及LIGA技术。图为他们于99年初发表了3×5阵列的电阻电热式微推进器样机。
微推进器
新概念的微型双组元火箭发动机结构图
组成: 由5到6片芯片叠在一起，内有混合燃烧室、喷口喷管、两个泵和两个阀以及冷却管道的多器件集成系统。用液态氧和乙醇作燃料 性能：能产生15N的推力，推力重量比达 1500:1，是大火箭推进器的10~100倍，反映了微系统的潜力
微推进器
作 业
惯性器件
电容式微加速度计
新器件——组件
微镜
各种光学元器件 透镜、波带片、滤波器、光栅及各种致动机构
新器件——组件
微光学系统
微光学工作台（Micro Optical Bench）
微型显示阵列（光调制器）
数字镜面显示（DMD） 原理 改变反射方向
光栅及光栅光谱仪
原理 不同类型的光栅
新器件——组件