真空泵原理_图文.
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8.4.4 氦质谱仪检漏法（3）检漏盒法 1-检漏仪；2-辅助阀；3-辅助泵；4-被检体； 5-氦钢瓶；6-喷枪；7-检漏盒；8-密封圈先抽气，使处于真空状态并使4与7密合→喷He
8.4.4 氦质谱仪检漏法（4）压力检漏法 1-检漏仪；2-辅助阀；3-辅助泵 4-被检体；5-氦钢瓶；6-容器对容器抽真空，制造压差，若有漏孔，有利于He漏入容器
8.4.4 氦质谱仪检漏法（5）吸嘴法 1-检漏仪；2-吸嘴；3-被检容器；4-He钢瓶
氦质谱仪内部结构示意图高灵敏度检漏器开机: 开前级泵抽空开扩散泵 10分钟后开抽速阀和冷规当质谱室压强达到一定值时,启动电子源打开标准漏孔得到仪器显示的电流大小与漏率之间的关系与被检系统(此时也应已抽至高真空相连接开始检漏返回。