超纯水学习教材PPT课件
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10超纯水系统PPT课件
超纯水系统
1
國家奈米元件實驗室 半導體人才師資培訓班
整体概况
+ 概况1
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概况2
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概况3
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國家奈米元件實驗室纯水制造流程介绍 • 前处理介绍 • 一级处理单元介绍 • 精炼段介绍 • 配管注意事项 • 新技术介绍
4
國家奈米元件實驗室 半導體人才師資培訓班
原水水质介绍〈一〉
项目
单位
• 酸碱度 pH
• 电导率 µs/cm
• 钙离子 Ca+ ppm as CaCO3 • 镁离子 Mg+ ″
• 钠离子 Na+ ″
• 钾离子 K+ ″
• 碳酸根离子CO3-2 ″ • 硫酸根离子SO4-2 ″ • 氯离子 Cl- ″
7
國家奈米元件實驗室 半導體人才師資培訓班
水质指标说明（一）
•自由余氯：自来水多以氯气或次氯酸钠消毒，当氯气
溶于水中会变成次氯酸或次氯酸根离子，即俗称有效 余氯，因次氯酸具有极高的氧化能力，如自来水含有 效余氯，它在配水管中停留时可预防细菌(病原菌)的 滋生。
•pH值：饮用水水质标准之pH值的含量是 6.0 ～8.5 ，
•总菌落数：被选择作为微生物(病原菌)的指标，如自
来水被检出有超过标准的总菌落数，即表示净水和供
水管理不够完善，必须立即加以改善以确保饮用者的
安全。
9
國家奈米元件實驗室 半導體人才師資培訓班
水质指标说明（三）
•色度：当水中含有色物质时，肉眼即可看出颜色，而 颜色的深浅即是色度，一般而言河川水常含有腐植物， 所造成的颜色多为黄褐色，这种颜色与铂钴溶液的色 系相同，故其单位以铂钴单位表示。
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國家奈米元件實驗室纯水制造流程介绍 • 前处理介绍 • 一级处理单元介绍 • 精炼段介绍 • 配管注意事项 • 新技术介绍
4
國家奈米元件實驗室 半導體人才師資培訓班
原水水质介绍〈一〉
项目
单位
• 酸碱度 pH
• 电导率 µs/cm
• 钙离子 Ca+ ppm as CaCO3 • 镁离子 Mg+ ″
• 钠离子 Na+ ″
• 钾离子 K+ ″
• 碳酸根离子CO3-2 ″ • 硫酸根离子SO4-2 ″ • 氯离子 Cl- ″
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國家奈米元件實驗室 半導體人才師資培訓班
水质指标说明（一）
•自由余氯：自来水多以氯气或次氯酸钠消毒，当氯气
溶于水中会变成次氯酸或次氯酸根离子，即俗称有效 余氯，因次氯酸具有极高的氧化能力，如自来水含有 效余氯，它在配水管中停留时可预防细菌(病原菌)的 滋生。
•pH值：饮用水水质标准之pH值的含量是 6.0 ～8.5 ，
•总菌落数：被选择作为微生物(病原菌)的指标，如自
来水被检出有超过标准的总菌落数，即表示净水和供
水管理不够完善，必须立即加以改善以确保饮用者的
安全。
9
國家奈米元件實驗室 半導體人才師資培訓班
水质指标说明（三）
•色度：当水中含有色物质时，肉眼即可看出颜色，而 颜色的深浅即是色度，一般而言河川水常含有腐植物， 所造成的颜色多为黄褐色，这种颜色与铂钴溶液的色 系相同，故其单位以铂钴单位表示。
超纯水课件
盐量的增加，脱盐率会稍许增加。海水淡化反渗透膜元件不同，由于海水淡化
反渗透膜更加致密，在给水含盐量高时，脱盐率会下降得非常缓慢。
产水流量
脱盐率
给水含盐量 含盐量越高，产水流量越小
给水含盐量
含盐量太大或太小，脱盐率降低
2.5.3 温度的影响
温度对脱盐率和产水量的影响非常大。对全部类型的反渗透膜元件来说，
复合膜：交链全芳香族聚酰胺结构 优点：脱盐率更高、水通量更大、工作压力更低
2.4反渗透的原理
➢ .渗透压 当一张半透膜隔开溶液与纯溶剂时，加在溶液上并使其恰好能阻止纯溶剂进入
溶液的额外压力称之为渗透压，通常溶液中溶质的浓度越高渗透压就越大。 ➢ 渗透（Osmosis）
当溶液一侧没有加压时，纯溶剂会通过半透膜向溶液一侧扩散，这一现象称为 渗透（Osmosis）。 ➢ 反渗透（Reverse Osmosis）
4
1.2超纯水（UPW）的标准
➢中国电子行业超纯水国家标准GB/T1146.1-1997 ➢电子行业、半导体业标准：ASTM D5127-99
5
中国电子行业超纯水国家标准GB/T1146.1-1997
中国电子行业超纯水国家标准 GB/T1146.1-1997
指标\级别
EW－Ⅰ
EW－Ⅱ
EW－Ⅲ
电阻率 MΩ，cm(25℃)
2.5.4 pH值的影响
➢ pH值对纳滤和反渗透膜元件的影响有两个方面： ➢ ①正常运行时对脱盐率的影响。 ➢ ② 清洗时不同pH值的清洗效果以及清洗时pH值的范围。 ➢ 对第一点来说，正常运行时应该接近中性，即pH值7左右。这是由两个因 素决定的： ➢ ① 反渗透膜在pH值7.5 – 7.8时脱盐率最高，图1.6所示为透盐率随pH值的 变化曲线。
纯水系统培训ppt课件.ppt
纯水系统培训ppt课件.ppt1、纯水系统培训资料祥鹅帚尝帚媚腔讣维壶跃淫慷烟纂蝉庸吞遣琐磺溶共铅婪铀器烫远梨盂碍纯水系统培训资料纯水系统培训资料纯水系统的总流程多介质过滤器软化器活性炭过滤器反渗透〔一级、二级、EDI〕纯水支配系统寿每沛特烂尚痰檀砷辩召贱殴屏消编刻踪斯尼沤贝坏吴某唱呛乏挥霞访兴纯水系统培训资料纯水系统培训资料预处理系统流程原水箱多介质过滤器软化器活性炭过滤器次氯酸钠PAC原水泵亚硫酸氢钠反洗再生反洗消毒泵板换蒸汽分散水禁捶恭哪好杠偏士民炎银超壶警碌冒米永囱滤虽汛闭冒姨侠欧瞧隐志堂预纯水系统培训资料纯水系统培训资料原水箱作用：2、1.沉淀2.缓冲姚迭估庚磕盈丑蹭敛弧涟筛滋芦飘涂徐浸姥沼鬼寨缴箭愿右初茹留足耀粮纯水系统培训资料纯水系统培训资料PAC加药装置水中的胶体是粒径较小的悬浮物质，外表带有的电荷使胶体之间形成静电斥力而不易聚集，难以自然沉降或过滤。
胶体大多带有负电荷，在水中投加PAC这样的阳离子絮凝剂，通过电荷中和作用和大分子架桥网捕作用使胶体相互粘接成较大的悬浮物而被过去除。
手交浓荐规污雇灾段方捍滚杠蒲懦谁苦年常琉拯焕谍满着婆窄兹绞出年睛纯水系统培训资料纯水系统培训资料原水泵作用：向预处理系统供水把握方式：由出口管道压力和水箱液3、位把握图片曹拐汁卯崩炯睁蔚囤怒杉犯甩螺钟蒋榷盒枉嘴陨矩镶娜笋王苟灵窿吟孙废纯水系统培训资料纯水系统培训资料多介质过滤器构造：填料共分2层，上层为无烟煤，中层为细石英砂，下层为粗砂粒。
作用：通过砂粒层之间的缝隙截留水中的胶体和微粒，另外通过参与3-5ppm的PAC，使水中的胶体颗粒和微粒形成较大的颗粒，提高过滤的效果。
反洗：截留物的积累，会使多介质过滤器的进出水压差增加，出水水质会因污物穿透而下降，需要定期反洗以去除污物。
反洗条件：当砂滤器的进口压力(PI360.1.1)减去出口压力(PI360.2.1)的差值4、大于1.0bar，需要进展反洗操作，此操作为手动操作。
《纯水培训资料》课件
电离子交换法
利用合成树脂对水中的离子进行吸附、交换，从而去除水中的杂质。
纯水的应用领域
生产
纯水广泛应用于电子、食品、 制药等生产领域，确保产品质 量。
实验
科研实验中需要纯净水作为实 验试剂和洗涤溶液。
医药
医院手术、检验等环节需要纯 净水，保证患者的安全和卫生。
纯水设备的维护和保养
1
定期清洗
保持纯水设备的清洁，防止污染物堆积。
《纯水培训资料》PPT课 件
通过这份课件，介绍纯水培训资料的目的和内容，让大家了解纯水的重要性 以及其是指除去离子、有机物和溶解气体的水，具有低电导率、纯净无味的特 点，与普通水相比有着显著的区别。
纯水的制备方法
反渗透法
通过半透膜的选择性渗透，将溶质和溶剂分离，制备纯净的水。
2
更换滤芯
根据滤芯寿命，定期更换以保证设备的正常运行。
3
定期检测
对纯水设备进行定期检测，确保其运行状态良好。
结语
通过本次纯水培训资料，我们深入了解了纯水的定义、特点、制备方法以及其在各个领域中的应用。纯水技术 的发展前景广阔，将为人类带来更好的生活品质。
利用合成树脂对水中的离子进行吸附、交换，从而去除水中的杂质。
纯水的应用领域
生产
纯水广泛应用于电子、食品、 制药等生产领域，确保产品质 量。
实验
科研实验中需要纯净水作为实 验试剂和洗涤溶液。
医药
医院手术、检验等环节需要纯 净水，保证患者的安全和卫生。
纯水设备的维护和保养
1
定期清洗
保持纯水设备的清洁，防止污染物堆积。
《纯水培训资料》PPT课 件
通过这份课件，介绍纯水培训资料的目的和内容，让大家了解纯水的重要性 以及其是指除去离子、有机物和溶解气体的水，具有低电导率、纯净无味的特 点，与普通水相比有着显著的区别。
纯水的制备方法
反渗透法
通过半透膜的选择性渗透，将溶质和溶剂分离，制备纯净的水。
2
更换滤芯
根据滤芯寿命，定期更换以保证设备的正常运行。
3
定期检测
对纯水设备进行定期检测，确保其运行状态良好。
结语
通过本次纯水培训资料，我们深入了解了纯水的定义、特点、制备方法以及其在各个领域中的应用。纯水技术 的发展前景广阔，将为人类带来更好的生活品质。
超纯水PPT课件
Item Line Width (µ) Resistivity Mohm @ 25C TOC (ppb) Pacticles (no./ml) Bacteria (CFU/ml) Dissolved Oxygen (ppb) Silica (ppb) Boron (ppb) Sodium (ppb) Potassium (ppb) Zinc (ppb) Iron (ppb) Copper (ppb) Chloride (ppb) Bromide (ppb) Nitrate (ppb) Sulfate (ppb) Residue (ppb) 1 M DRAM 0.8 - 1.0 >18.0 <30 (0.1µ ) <10/ml <1/100 <100 <5 <2 <0.1 <0.1 <0.05 <0.05 <0.05 <0.1 <0.1 <0.1 <0.2 0.1 <0.1 <0.1 <0.05 <0.05 <0.05 0.1 0.05 0.05 0.05 0.05 4 M DRAM 0.4 - 0.6 >18.0 <10 (0.05µ ) <30/ml <5/1000 <50 <3 0.05 16 M DRAM 0.2 - 0.3 >18.1 <3 (0.03µ ) <10/ml <5/1000 <5 <1 0.05 0.05 0.05 0.02 0.02 0.005 0.02 0.02 0.02 0.05 0.05 >18.1 <1 (0.03µ) <5/ml <5/1000 <3 <0.5 0.05 0.01 0.02 0.02 0.02 0.005 0.02 0.02 0.02 0.05 0.05 64 M DRAM 0.1
纯水纯净水超纯水的区别课件
04 质量指标与检测方法
CHAPTER
纯水的质量指标与检测方法
质量指标
纯水一般指经过初步处理的水， 去除了水中的悬浮物、杂质、余 氯等物质，但可能仍含有少量矿 物质和微量元素。
检测方法
纯水的检测通常包括浊度、总固 体溶解物、电导率、pH值等指标 的测定，以评估其纯净程度。
纯净水的质量指标与检测方法
检测方法
超纯水的检测通常采用高精度的分析方法，如原子吸取光谱法、电感耦合等离 子体质谱法等，以确定水中微量元素的含量。
05 优缺点分析
CHAPTER
纯水的优缺点分析
优点
纯水经过简单的过滤处理，成本较低，合适用于一般家庭饮用和洗涤等日常用途 。
缺点
纯水中的矿物质和微生物含量较高，长期饮用可能不利于健康；同时，其过滤工 艺较简单，可能无法完全去除有害物质。
纯净水的定义
纯净水是指通过更为严格的过滤手段 ，去除水中几乎所有杂质、微生物、 重金属等有害物质，水质非常清洁的 水。
纯净水通常经过多次过滤、吸附、消 毒等处理过程，以确保水质的安全和 纯净。
超纯水的定义
超纯水是指通过更为先进的处理技术，去除水中几乎所有杂 质和离子，水质极其纯净的水。
超纯水通常用于高精度的实验、化验、制造等领域，对于水、离子交换、电渗析等， 还需要进行多次过滤和消毒。
超纯水广泛应用于电子、医药 、化工等领域的高精度实验和 生产过程中，如半导体制造、 生物制药等。
03 应用领域
CHAPTER
纯水的主要应用领域
01
02
03
家庭饮用
纯水符合国家饮用水标准 ，可用于家庭饮用、煮饭 、煲汤等。
纯净水的优缺点分析
优点
纯净水经过多重过滤处理，水质相对 更纯净，口感清新，合适长期饮用； 同时，由于其过滤工艺较为先进，能 够更好地去除有害物质。
制备注射剂用水的超纯水设备ppt课件
设备概述
水是注射剂生产的最重要的原料，主要是 作为药剂的生产以及机械清洗的用水。随 着社会科学技术的不断发展，出现的EDI技 术，使得注射剂的生产发生了重大的变革。 EDI模块化的设计，使得设备的安装调试更 方便。
工艺流程
1、采用离子交换方式，其流程如下： 原水→原水加压泵→多介质过滤器→活
性炭过滤器→软水器→精密过滤器→阳树脂 过滤→阴树脂过滤→阴阳树脂混床→微孔过 滤器→用水点。
工艺流程
2、采用两级反渗透方式，其流程如下： 原水→原水加压泵→多介质过滤器→活
性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反 渗透 →PH调节→中间水箱→二级反渗透→纯 化水箱→纯
3、采用EDI方式，其流程如下： 原水→原水加压泵→多介质过滤器→活
性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反 渗透机→中间水箱→中间水泵→EDI系统→微 孔过滤器→用水点。
工艺流程
4、原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→ 软化水器→中间水箱→低压泵→PH值调节→ 高效混合器→精密过滤器→高效反渗透→中 间水箱→EDI水泵→EDI系统→微孔过滤器→ 用水点。
水是注射剂生产的最重要的原料，主要是 作为药剂的生产以及机械清洗的用水。随 着社会科学技术的不断发展，出现的EDI技 术，使得注射剂的生产发生了重大的变革。 EDI模块化的设计，使得设备的安装调试更 方便。
工艺流程
1、采用离子交换方式，其流程如下： 原水→原水加压泵→多介质过滤器→活
性炭过滤器→软水器→精密过滤器→阳树脂 过滤→阴树脂过滤→阴阳树脂混床→微孔过 滤器→用水点。
工艺流程
2、采用两级反渗透方式，其流程如下： 原水→原水加压泵→多介质过滤器→活
性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反 渗透 →PH调节→中间水箱→二级反渗透→纯 化水箱→纯
3、采用EDI方式，其流程如下： 原水→原水加压泵→多介质过滤器→活
性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反 渗透机→中间水箱→中间水泵→EDI系统→微 孔过滤器→用水点。
工艺流程
4、原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→ 软化水器→中间水箱→低压泵→PH值调节→ 高效混合器→精密过滤器→高效反渗透→中 间水箱→EDI水泵→EDI系统→微孔过滤器→ 用水点。
和泰超纯水系统培训ppt课件
• 在水中，将间隔1cm的两片外表积为1cm2大小的电极加以通电，来 监测两极间的导电率，经过所加电压和测得的电流可以获知两极间的 电阻值，这个数值在水质分析中通常被称为电阻率或比电阻，其单位 用MΩ(mega ohm-centimeter)来表示。
• 电阻率的倒数称为导电率或电导率，用μs/cm(micro Siemens per centimeter)来表示。
活性碳吸附
• 活性碳通常用于预处置系统以去除进水中的氯和氯胺，防止它 们破坏过滤膜和离子交换树脂。
• 大部分活性碳是由椰壳或煤在有水蒸气和CO2的条件下，经 800-1000℃ 煅烧而构成具活性的木炭，经过酸洗去掉剩余氧化 物和其他溶解物质。用于水处置的活性碳通常孔径范围在5001000nm之间，每克比外表积大约1000m2，通常是颗粒状紧缩 成型的，并装填于纯化柱中以防止产生太过微细颗粒污染下游。
比电阻 25℃
MΩ*cm
可氧化物 质
以(O)计 mg/L
吸光度
254nm,1c m
蒸发残渣
mg/L
(105±25 ℃)
可溶性硅
以(sio2) 计,mg/L
一级
—— ≤0.1
≥10
—— ≤0.001
—— ＜0.01
二级
—— ≤1.0
≥1
＜0.08
≤0.01
≤1.0
＜0.02
三级
5.0-7.5
≤5.0
≥0.2
• 膜滤器〔0.05-0.20μm〕通常被放置在尽能够接近出水点 的地方来捕获微生物和微细颗粒。
• 所截留的颗粒物包括微生物或其代谢物和可溶性物质，能 够再次从滤器中沥滤出来，所以对微滤器的适当维护〔定 期消毒和周期性改换〕是必要的，使其性能坚持在理想程 度。新安装的滤器通常要求在运用前冲洗以去除能够含有 的可萃取污染物。
• 电阻率的倒数称为导电率或电导率，用μs/cm(micro Siemens per centimeter)来表示。
活性碳吸附
• 活性碳通常用于预处置系统以去除进水中的氯和氯胺，防止它 们破坏过滤膜和离子交换树脂。
• 大部分活性碳是由椰壳或煤在有水蒸气和CO2的条件下，经 800-1000℃ 煅烧而构成具活性的木炭，经过酸洗去掉剩余氧化 物和其他溶解物质。用于水处置的活性碳通常孔径范围在5001000nm之间，每克比外表积大约1000m2，通常是颗粒状紧缩 成型的，并装填于纯化柱中以防止产生太过微细颗粒污染下游。
比电阻 25℃
MΩ*cm
可氧化物 质
以(O)计 mg/L
吸光度
254nm,1c m
蒸发残渣
mg/L
(105±25 ℃)
可溶性硅
以(sio2) 计,mg/L
一级
—— ≤0.1
≥10
—— ≤0.001
—— ＜0.01
二级
—— ≤1.0
≥1
＜0.08
≤0.01
≤1.0
＜0.02
三级
5.0-7.5
≤5.0
≥0.2
• 膜滤器〔0.05-0.20μm〕通常被放置在尽能够接近出水点 的地方来捕获微生物和微细颗粒。
• 所截留的颗粒物包括微生物或其代谢物和可溶性物质，能 够再次从滤器中沥滤出来，所以对微滤器的适当维护〔定 期消毒和周期性改换〕是必要的，使其性能坚持在理想程 度。新安装的滤器通常要求在运用前冲洗以去除能够含有 的可萃取污染物。
《超纯水的制备》PPT课件
1：异相膜：粉末状离子交换树脂碾压 2：均相膜：苯乙烯——二乙烯苯
离子交换膜的选择性：以磺酸基离子交换膜为例
离子交换膜的再生：H2O=H++OH-
2021/3/26
26
EDI的优点：
(1)EDI与RO配套使用,可调节电流以改变出水质量, 用标准模块组合改变出水量。
(2)EDI不用再生树脂,免除了树脂化学再生配套设施 (如酸碱贮罐、泵和管道)使纯水系统设备结构简化, 投资节省,操作简化,运行费用降低。
冲洗
2 酸洗
冲洗 再生
清洗方案
3 碱洗
4 酸洗
5 盐水清洗
6 酸洗
冲洗 再生
碱洗 冲洗
冲洗 消毒
盐水清洗 冲洗
7 盐水清洗
冲洗 消毒
8 酸洗
盐水清洗 冲洗
第4步
再生 盐水清洗 消毒
碱洗
消毒
第5步
冲洗
盐水清洗 冲洗
碱洗
第6步
再生
冲洗
再生
冲洗
第7步
再生
再生
2021/3/26
29
清洗用的化学药剂规格
氯化钠（NaCl）
2021/3/26
13
选择反渗透RO膜需要考虑哪些性能指标
1：脱盐率：
RO膜的脱盐率=(1–RO膜的产水含盐量/进水含盐 量)×100%
2：产水量：指反渗透系统的产水能力，即单位时间 内透过RO膜的水量，通常用吨/小时或加仑/天来表 示。
3：回收率：指反渗透膜系统中给水转化成为产水或 透过液的百分比。依据反渗透系统中预处理的进水 水质及用水要求而定的。RO膜系统的回收率在设计 时就已经确定。
EDI系统的清洗
当出现以下问题时模块需要清洗
离子交换膜的选择性：以磺酸基离子交换膜为例
离子交换膜的再生：H2O=H++OH-
2021/3/26
26
EDI的优点：
(1)EDI与RO配套使用,可调节电流以改变出水质量, 用标准模块组合改变出水量。
(2)EDI不用再生树脂,免除了树脂化学再生配套设施 (如酸碱贮罐、泵和管道)使纯水系统设备结构简化, 投资节省,操作简化,运行费用降低。
冲洗
2 酸洗
冲洗 再生
清洗方案
3 碱洗
4 酸洗
5 盐水清洗
6 酸洗
冲洗 再生
碱洗 冲洗
冲洗 消毒
盐水清洗 冲洗
7 盐水清洗
冲洗 消毒
8 酸洗
盐水清洗 冲洗
第4步
再生 盐水清洗 消毒
碱洗
消毒
第5步
冲洗
盐水清洗 冲洗
碱洗
第6步
再生
冲洗
再生
冲洗
第7步
再生
再生
2021/3/26
29
清洗用的化学药剂规格
氯化钠（NaCl）
2021/3/26
13
选择反渗透RO膜需要考虑哪些性能指标
1：脱盐率：
RO膜的脱盐率=(1–RO膜的产水含盐量/进水含盐 量)×100%
2：产水量：指反渗透系统的产水能力，即单位时间 内透过RO膜的水量，通常用吨/小时或加仑/天来表 示。
3：回收率：指反渗透膜系统中给水转化成为产水或 透过液的百分比。依据反渗透系统中预处理的进水 水质及用水要求而定的。RO膜系统的回收率在设计 时就已经确定。
EDI系统的清洗
当出现以下问题时模块需要清洗
超纯水概述 PPT
2018/6/9
超纯水泵的控制
a.超纯水箱液位低于0.5m，超纯水泵保护停机； b.超纯水箱液位高于0.6m，超纯水泵可以开机； c.超纯水泵的输出压力由系统出水压力通过超纯 水泵变频器控制，通过改变水泵转速实现对系统 出水压力的控制。 超纯水泵设有就地控制盘，在控制盘上可以 进行水泵的自动、手动、工频、变频的切换。
微孔膜过滤器
•规格： ≥25m³/h •材质： SS316L •过滤精度：0.22μ m •滤芯： 30″尼龙
2018/6/9
板式换热器
• 用蒸汽对超纯水进行加热，供水温度25±2℃。 • 材质：SS316 • 生产商：Alflafa
2018/6/9
超纯水总出口TOC自动检测仪和PH等在线检测仪表。
2018/6/9
超纯水常见的工艺流程
1.预处理→复床→混床→抛光混床 2.预处理→反渗透→混床→抛光混床（206超纯 水） 3.预处理→反渗透→电渗析（EDI）→抛光混床 （103超纯水）用RO反渗透替代离子交换脱盐， 进一步除去有机物、胶体、细菌等杂质，并能 保证反渗透出水满足EDI进水要求，以EDI代替 混床进行深度脱盐，利用电能从而避免了树脂 再生，非常环保，这种工艺是现今主流的水处 理方法。
——206超纯水工艺
2018/6/9
超纯水的定义及标准
• 超纯水是把水中的导电介质几乎完全去除，又把 水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至 很低程度的水。电阻率大于18MΩ .cm或接近 18.3MΩ .cm（25℃）。
2018/6/9
超纯水制备的工艺方法
• 现在的超纯水制备采用了预处理、电渗析（EDI）紫 外线杀菌、反渗透（RO）、离子交换及各种膜过滤技 术等。其工艺大体可分为预处理、脱盐、精处理三步。 • 预处理：包括多介质过滤、活性炭过滤，过滤去除水 中1～20μ m大小的颗粒及除去有机物和自由氯。 • 脱盐：包括离子交换、反渗透（RO）、电渗析（EDI） 等方法，去除水中绝大多数离子。如电渗析（EDI） 脱盐率可达到95%以上。反渗透（RO）脱盐率可达 98%，并能去除99%细菌颗粒和溶解在水中的有机物。 • 精处理：包括抛光树脂、TOC装置、微过滤 （0.22μ m）或超滤等。
纯水纯净水超纯水的区别课件
03 应用领域
纯水的主要应用领域
家庭饮用
纯水符合国家饮பைடு நூலகம்水标准，可用 于家庭饮用、煮饭、煲汤等。
工业生产
纯水在工业生产中广泛应用于清 洗、冷却、制造加工等领域。
实验室用水
纯水满足实验室基本用水需求， 可用于化学反应、实验器具清洗
等。
纯净水的主要应用领域
饮料生产
纯净水口感清爽，符合饮料生产 用水要求，可用于生产各种瓶装
纯净水的质量标准与检测方法
质量标准
纯净水是经过深度处理和去离子等工艺处理的水，其水质应 符合国家相关标准和规定的要求。纯净水中的杂质和有害物 质含量极低，但几乎不含矿物质和微量元素。
检测方法
纯净水的检测主要包括理化指标和微生物指标的检测。理化 指标包括浊度、pH值、溶解性总固体、电导率、氧化还原电 位等；微生物指标包括细菌总数、总大肠菌群等。
水、果汁等。
餐饮业
纯净水无杂质，可用于餐饮业的水 源，如制冰、烹饪等。
美容美发
纯净水有助于保持皮肤和头发的清 洁与健康，可用于美容美发行业。
超纯水的主要应用领域
电子工业
超纯水满足电子工业高纯度用水要求，用于清洗 和制造集成电路、半导体等。
制药行业
超纯水无菌、无杂质，符合制药行业对高纯度药 水的需求。
超纯水的质量标准与检测方法
质量标准
超纯水是经过超滤、反渗透、离子交换等工艺处理的水，其水质应符合国家相关标准和规定的要求。超纯水中的 杂质和有害物质含量极低，几乎不含矿物质和微量元素，是一种高纯度的水。
检测方法
超纯水的检测主要包括理化指标和微生物指标的检测。理化指标包括浊度、pH值、溶解性总固体、电导率、氧 化还原电位、吸光度等；微生物指标包括细菌总数、总大肠菌群等。同时，还需要对超纯水中痕量有机物、痕量 重金属等进行检测和分析。
纯水培训资料课件(一)2024
纯水培训资料课件（一）引言概述：纯水培训资料课件（一）是一份专为培训纯水操作和使用的资料课件。
本课件旨在帮助纯水操作人员了解和掌握纯水的基本知识和操作技术，以确保纯水的高质量和安全使用。
本文档将以五个大点为主线，系统介绍纯水的基本原理、设备维护、操作步骤等关键要点。
正文：一、纯水的基本原理1. 纯水的定义和特点2. 纯水的制备方法和工艺流程3. 纯水质量的评价标准4. 纯水的应用领域和作用二、纯水设备的维护与保养1. 日常维护注意事项2. 检修和维修常见故障3. 设备清洗和消毒方法4. 设备的定期保养和维护计划5. 设备更新和升级的考虑因素三、纯水操作的基本步骤1. 开机和关闭操作流程2. 运行参数的设置和监控3. 原水进水和排放处理4. 纯水质量的监测和调节5. 紧急情况的处理和应急措施四、常见操作问题和解决方法1. 水质异常处理措施2. 设备异常故障的排查和处理3. 操作误区和常见错误的纠正4. 运行参数的优化和调整5. 纯水操作效率的提升策略五、纯水操作的安全与环保1. 操作人员的安全知识和规范2. 设备运行的安全保障措施3. 废水处理及排放的规范要求4. 垃圾废弃物的处理和管理5. 纯水操作过程中的环境保护意识与措施总结：通过纯水培训资料课件（一）的学习，操作人员能够全面了解纯水的基本原理、设备维护、操作步骤等重要内容。
同时，通过掌握常见操作问题的解决方法和操作安全与环保的知识，能够提高操作人员的技能水平和工作效率，确保纯水的质量和安全使用。
纯水培训资料课件（一）将成为操作人员的重要参考资料，为提升整体纯水操作水平做出积极贡献。
相关主题
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4
1.
Why do we need High Purity Water for cleaning and rinsing?
பைடு நூலகம்
为什么要用超纯水作清洗和冲洗？
• In its pure state, water is one of the most aggressive solvents ( aqueous solution ) known .
3
Content 目錄
6. More about RO.
更多了解RO。 7. More about CDI/EDI. 更多了解CDI/EDI。 8. More about UV Lamp. 更多了解紫外光灯。 9. Piping for DI water. DI 水管道系统。 10.DI / RO System for A6 為A6設計的DI/RO純水系统
• 水被称为 “万能溶剂”, 事实上任何物质放入水中,都 可以溶解到某一特定的程度。
5
2. What is DI water? 什么是DI水？
DI water is short form of “Deionized water”
DI 水是“去除离子的水”的简称
Deionization is an ion exchange processes. It uses certain types of synthetic resins in the proper state and arrangements to remove most or all of the total dissolved solids (TDS), in the form of ions, from water. Water with ions taken out by ion exchange is deionized water, or ion free water.
1
DI Water Technical knowledge Sharing Class for SAET FE 超純水 专业技術分享會
(6th Sep, 2005 – Facility System Engineering Section)
Prepared by: Anthony Chan
2
Content
• 在它的纯净状态下, 水是现今所知性能极好的溶剂 ( 水溶剂 ) 。
• Water, which is called the “universal solvent”, will dissolve virtually everything exposed to it to a certain degree.
目錄
1. Why do we need High Purity Water for cleaning and rinsing? 为什么要用超纯水作清洗和冲洗？ 2. What is DI water? 什么是DI 水？ 3. Water General Standard. 水的一般标准。 4. Learn more about water. 更多了解水。 5. DI water system. DI 水系统。
細菌, con/ml
總有機碳, ppb as TOC 溶氧, ppb as O2 矽化物, ppb as SiO2 金屬, ppb
104~106
1,000~3,000 8,000 10,000~20,000 200,000
＜0.0001
＜1 ＜1 ＜0.1 ＜1
7
3.1 DI Water Specifications
去除离子是运用一个离子交换过程 , 它使用某种类型的合 成树脂在特定的状态和安排下,以离子形态去除水中大部分 或全部可溶解固体 。而在离子交换过程被拿走离子的水就 是去除离子的水，或是无离子的水。
6
3. Water General Standard
超純水與一般自來水的比較
(例子是台北自來水)
自來水 電阻, MΩ－CM 顆粒(Pcs/ml), ≧ 0.1μm 顆粒(Pcs/ml), ≧ 0.05μm 顆粒(Pcs/ml), ≧ 0.03μm 0.004 104~106 － － 超純水 ＞18.2 － － ＜5
Item Line Width (µ) Resistivity Mohm @ 25 TOC (ppb) Pacticles (no./ml) Bacteria (CFU/ml) Dissolved Oxygen (ppb) Silica (ppb) Boron (ppb) Sodium (ppb) Potassium (ppb) Zinc (ppb) Iron (ppb) Copper (ppb) Chloride (ppb) Bromide (ppb) Nitrate (ppb) Sulfate (ppb) Residue (ppb) C 1 M DRAM 0.8 - 1.0 >18.0 <30 (0.1µ ) <10/ml <1/100 <100 <5 <2 <0.1 <0.1 <0.05 <0.05 <0.05 <0.1 <0.1 <0.1 <0.2 0.1 <0.1 <0.1 <0.05 <0.05 <0.05 0.1 0.05 0.05 0.05 0.05 4 M DRAM 0.4 - 0.6 >18.0 <10 (0.05µ ) <30/ml <5/1000 <50 <3 0.05 16 M DRAM 0.2 - 0.3 >18.1 <3 (0.03µ ) <10/ml <5/1000 <5 <1 0.05 0.05 0.05 0.02 0.02 0.005 0.02 0.02 0.02 0.05 0.05 >18.1 <1 (0.03µ) <5/ml <5/1000 <3 <0.5 0.05 0.01 0.02 0.02 0.02 0.005 0.02 0.02 0.02 0.05 0.05 64 M DRAM 0.1
(Example from Taiwan Memory Storage manufacture)
8
4. 水中主要的雜質有哪些？
• 水經由河川、湖泊等各處流過地表，或深處於地底下，因溶 解作用，而含許多雜質如礦物質、有機物、微生物、淤泥及 氣體等。一般水中的雜質可大約分類如下： • 懸浮固體(SS.)：如泥土、砂石及金屬氧化物等。 • 溶解氣體：氣體的溶解與週遭環境如氣壓、溫度、PH等有 一定的關係，一般水中都含有二氧化碳、氧氣、氮氣及其他 氣體。 • 可溶解之固體 ( TDS )：如Ca. Mg. Na. K. Fe. HCO3. NO3. SO4. SiO2等。 • 有機物 ( TOC ) ：所有含碳物質如油脂、污水、溶劑、 果糖、動植物屍體等。 • 微生物：如各種細菌、黴菌、藻類、熱原及病毒等。