LCD材料特性
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彩色显示用的RGB著色图案(R、G、B); 保护著色层的透明保护膜(O/C); 驱动液晶的透明电极膜(ITO)
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第一部分: LCD PANEL A线用的主要材料基本特性
2、CF材料基本特性(3)
玻璃基板
CF基本结构之一
9
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第一部分: LCD PANEL A线用的主要材料基本特性
信利半导体研发中心交叉培训教材
课程名称
LCD PANEL材料基本特性
课时控制
1.5小时
编写人:钟平洪
1
信利半导体研发中心交叉培训教材
课程安排 第一部分:LCD PANEL A线用的主要材料基本特性 第二部分:LCD PANEL B线用的主要材料基本特性 第三部分:LCD PANEL C线用的主要材料基本特性
3.2负性胶
这种胶在曝光前对某些有机溶剂是可溶的,而曝光后发生光聚合反应 不溶于有机溶剂。使用这种胶光刻时,能得到与掩模版遮光图案完全
相反的图形。如日本新日铁化公司(NSC)的V259-BKIS光刻胶,日本
丸红公司的J366光刻胶。
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第一部分: LCD PANEL A线用的主要材料基本特性
第四部分:LCD PANEL 后工序用的主要材料基本特性
2
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第一部分: LCD PANEL A线用的主要材料基本特性
1、ITO导电玻璃 (1)
随着FPD的发展和进步,ITO透明导电薄膜是LCD PANEL制程中非常重 要的技术项目,其薄膜的物理特性将深深地影响到最终产品显示镜的画质 和其价位。ITO薄膜的主要功能在于它不仅仅是极佳的电极材料,而广泛
多、效率相对低但线条精度高。
测试周期要2个月左右,测试是由PANEL开发部的工程师负责的,工 艺部配合测试ITO酸刻情况。
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第一部分: LCD PANEL A线用的主要材料基本特性
3、光刻胶基本特性 (感光剂、增感剂、溶剂)(1)
要在ITO上制备出显示字符图案来,就要用到一种在ITO薄膜和半 导体工业中常用到的光刻工艺技术。电极光刻是一种图形复印和化学 腐蚀相结合的精密表面加工技术。在ITO玻璃表面涂上光刻胶并进行曝 光,然后利用光刻胶的保护作用,对ITO导电层进行选择性化学腐蚀, 从而在ITO导电玻璃上得到与MASK完全对应的图形。光刻是LCD制造过 程中的关键工艺之一。 光刻胶的性能与光刻胶的配比有关。 A.组成:普通的光刻胶一般是由载体线形酚醛树脂约25%、光敏剂约
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第一部分: LCD PANEL A线用的主要材料基本特性
2、CF材料基本特性(1)
LCD由黑白色显示转向彩色显示从而进入全彩色化时代的竞争局面,而 其中的彩色滤光片( COLOR FILTER,简称CF)是彩色平板显示器(FPD)中 一项关键性的零部件,其成本约占整个PANEL的20-30%左右,经由CF的作用 方可将黑白LCD转化为全彩色的。 CF的大型化、低价格化和高性能化(高品 质画质、高解析度以及耐久性)成为CF制程一直被探讨的课题。 CF是利用现有技术—染色法、颜料分散法、印刷法、干膜法和电著法等 制程将红(R)、绿(G)、蓝(B)三原色分别地涂布于玻璃基板上。依其 着色剂(材)而分为染料和颜料,其中以颜料为主流;而染料(Dye)又可 分为染色法和染料分散法,颜料(Pigment)则分为颜料分散法和蚀刻法。
2、CF材料基本特性(4)
R、G、B的厚度一般是1.1um左右,而R、G、B之间的间隔约为10um 即BM的宽度,O/C的厚度一般是1.8-2.8um,它是耐久性及平滑性好的压克 力树脂(Acryl Resin)或环氧树脂(Epoxy Resin),若是10欧姆方阻的ITO 的则ITO膜厚一般是1800Å左右
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Fra Baidu bibliotek
第一部分: LCD PANEL A线用的主要材料基本特性
2、CF材料基本特性(2) CF不仅影响着LCD的色特性,而且也大副地左右着LCD的对比度、 亮度、表面反射等显示性能。 CF结构的各部分的材料因TN、STN、 TFT方式的不同而有所变化, 主要构成有:
遮蔽光用的遮光层(BM);
改变。
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第一部分: LCD PANEL A线用的主要材料基本特性
1、ITO导电玻璃(2)
ITO薄膜通常是用ITO靶材通过溅镀法制作而成的。以n型半导体氧化 铟为主成分而掺杂锡所成的ITO的传导电子密度增加为1020-1021 个/cm3而 比电阻值为10-4 Ω .cm,实际上一般的ITO膜中掺杂着5- 10wt%的氧化 锡。目前一般ITO的实用规格为TN型的LCD用:50、80、100、200Ω ╱□而 STN型的LCD用80、25、15、10Ω ╱□,而 C-STN(彩色)LCD用10Ω ╱□
以下。实际上应视其用途种类而有不同的规格值。ITO导电玻璃的电阻值
分类、表面电阻值表示及主要用途如下表所示。
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第一部分: LCD PANEL A线用的主要材料基本特性
1、ITO导电玻璃(3) 电阻 区分 高电阻 中电阻 低电阻 (I) (II)
表面电阻 ( Ω╱□ ) 200∽800
RGB的色特性取决于彩色油墨的物性,而彩色油墨的色特性则受颜料 成分的影响很大,其他用于颜料分散的成分则影响不大;颜料化合物的混 合应从色再现性和透过率来考虑且需满足: 1、RGB膜的分光透过率的尖峰值应与RGB等色系数及背光源的亮度线相 吻合的; 2、RGB的分光透过率尖峰的高度和宽度应决定; 光谱透过率尖峰的位置取决于色相和光源的光谱值; 色再现性即是CIE色度图中三原色区域的宽度(三角形的面积大小,而 NTSC影像三原色的三角形面积以100%为基率),一般个人电脑用的为3540%,而监视器用的为50-65% 。
是色纯度(或色饱和度)越高,一般是NTSC>EBU=CRT >TFT-LCD>C-STN LCD,因为TFT或者C-STN的三角形面积最小,所以它们用的CF的色纯度仍 需再提升。
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第一部分: LCD PANEL A线用的主要材料基本特性
2、CF材料基本特性(7)
COLOR FILTER遮光层(BLACK MATRIX,简称BM)的材料特性 彩色滤光膜的遮光层是用作为光的遮蔽功能,以防止入射光的泄漏而影响 其色泽性,也就是其目的在于使对比度提高和防止色纯度降低,而于着色画 像素间形成此一遮光层,而特性要求为高遮光性和高精密化,其功能的要点 如下: 1、将开口部(画像素)以外的部分的背光源的光予以遮蔽,并进而 提高LCD的对比度; 2、防止遮光层临近RGB次画像素的混色以及防止色纯度的降低; 3、防止因表示面背景光的投影效应而造成对比度的下降; 4、防止因光电流效应而影响薄膜电晶体信号传送动作的完整性; 基于此些因素而要求彩色滤光膜的BM能朝向高的遮光率。
3、光刻胶基本特性 (感光剂、增感剂、溶剂)(3)
3.3光刻胶性能的衡量指标 3.3.1 感光度:对于某固定光强的曝光机,光刻胶的感光度越高, 则曝光时间越短。 3.3.2 分辨率:分辨率是表征光刻精度的标志之一。它不仅与光刻 胶本身有关,还与光刻工艺条件和操作技术等因素有关。 3.3.3 抗蚀性:生产上要求光刻胶对酸、碱化学腐蚀液具有良好的 抗蚀能力,即经受得住较长时间的酸、碱化学腐蚀液的浸蚀。 实际上,光刻胶只是在针孔密度小、粘附性能良好的情况下, 才可能有较好的抗蚀能力。 3.3.4 粘附能力:表示光刻胶与衬底之间粘附的牢固程度,它直接影 响光刻后的精度。 3.3.5 针孔密度:单位面积的光刻胶膜上针孔数目称为光刻胶膜的针 孔密度。如果光刻胶膜上有针孔,经腐蚀之后将在ITO层相应 位置上形成针孔,它将直接影响光刻质量,所以,要求光刻胶 膜的针孔密度尽可能低。
5%、溶剂70%、极少量添加剂(如增粘剂)组成的。
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第一部分: LCD PANEL A线用的主要材料基本特性
3、光刻胶基本特性 (感光剂、增感剂、溶剂)(2)
B.分类 3.1正性胶 这种胶在曝光前对某些溶剂是不可溶的,而曝光后却变成了可溶的。 使用这种胶光刻时,能得到与掩模版遮光图案相同的图形。如日本 CLAIAN公司的AZ-210K光刻胶和苏州瑞红公司的RZJ-390
表
示
用
途
简单的数位或数字表 示 小型文字和简单图形 表示(320*64) 复杂文字和动态影像 表示(640*200) 高解析度文字、图形 和动态影像表示 (640*400)
30∽200 10∽30 10以下
时 钟 、 计 算 器 、 TOUCH-PANEL 等 LCD 家用品或家电产品用、 游戏机、量测仪器用 LCD
用于FPD,同时它也具有发热、热反射、电磁波防止和静电防止等各种不
同的用途。由于ITO薄膜具有很高的透明度和导电特性,液晶显示元件的 运用、发展也就由被动式矩阵驱动TN、STN液晶显示器推向主动式矩阵驱 动薄膜晶体管TFT液晶显示器,并更加发展至所谓新世代的显示器---有机 电致发光显示器(OLED),无论地如何发展而ITO薄膜的重要性并无任何
1.5×10-4 Ω .cm)、耐热性、耐酸碱性、图案加工性(蚀刻特性和微影技
术)、电化学稳定性、膜表面形状(晶粒形态、大小和粗度,粗度越小越好 )、低成膜温度(<200℃)、膜附着机械强度、膜厚极其硬度、膜的外观 (异物、污点、缺陷和伤痕,缺陷大小)、大面积(300-450mm2)和低成本 等。我们用的玻璃主要是TN型玻璃、STN型玻璃、TFT玻璃基板还没有开始运 用。他们之间的区别在于玻璃基板是否有研磨抛光。 目前这些ITO玻璃的供应商有韩国三星康宁公司、深圳伟光公司、深圳 莱宝公司、广州盛诺公司、安徽华益公司等。在我们公司这种材料的测试周 期一般1~4个月左右,测试是由工艺开发部的A线工程师负责测试的。
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第一部分: LCD PANEL A线用的主要材料基本特性
2、CF材料基本特性(6) CF高色纯度,以CIE1931(X,Y,Z)为参考的色度坐标,分别测出 R、G、B的(x,y) 色度值,根据NTSC、EBU所定义的RGB三颜色的(x, y) 色度值。
由RGB三个(x,y) 坐标点所构成的三角形面积越大,其所代表的
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第一部分: LCD PANEL A线用的主要材料基本特性
2、CF材料基本特性(5)
CF的明亮度提升的方法之方法有薄膜化(低颜料浓度)和光谱透过波长 区域的宽广化两种,而CF的彩度提升的方法有厚膜化(高颜料浓度)和光谱 透过波长区域的狭窄化。 一般TFT-LCD的MODULE所使用的背光灯,其频率会在短/中/长波长处出现 3个明显的PEAK,根据这三个PEAK所对应之波长(此所谓特定波长)来订定 RGB三种颜色之透过率,举例说明: CF色层 R G B 435nm 5%以下 5%以下 60-80% 545nm 5%以下 72-86% 5%以下 610nm 72-96% 25% 5%以下
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第一部分: LCD PANEL A线用的主要材料基本特性
2、CF材料基本特性(8)
光学浓度值---OD>3.0以上,其含义是入射光强度I0和透过光强度I 比值的对数值的倒数,即OD= -log(I/ I0)、低的反射率(除玻璃表面 反射以外)和微细图案特性等方向考虑,而一般遮光层(一般宽度约为 10um,若是金属膜的话,则膜厚为1000-1500Å)所使用的材料是金属铬 (反射率小,玻璃基板密着性优和高的OD薄膜)。 对于C-STN方面来说,TRULY的CF ITO玻璃现用供应商有日本的光村 公司、深圳莱宝公司、深圳伟光公司。光村公司是采用印刷法做的CF, 生产效率高、色彩鲜艳;而莱宝、伟光公司则是采用蚀刻法做CF、MASK
MOBILE PHONE用 等 PDP 、 EL 、 LCD 以 及 COLOE-FILTER 之电极材料
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第一部分: LCD PANEL A线用的主要材料基本特性
1、ITO导电玻璃(4)
一般ITO透明导电膜(折射率约为1.9)的品质特性需求有低表面电阻( <10 Ω /□)、高的透过率(80-92%/550nm光波)、低比电阻值(<
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第一部分: LCD PANEL A线用的主要材料基本特性
2、CF材料基本特性(3)
玻璃基板
CF基本结构之一
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课程名称
LCD PANEL材料基本特性
课时控制
1.5小时
编写人:钟平洪
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课程安排 第一部分:LCD PANEL A线用的主要材料基本特性 第二部分:LCD PANEL B线用的主要材料基本特性 第三部分:LCD PANEL C线用的主要材料基本特性
3.2负性胶
这种胶在曝光前对某些有机溶剂是可溶的,而曝光后发生光聚合反应 不溶于有机溶剂。使用这种胶光刻时,能得到与掩模版遮光图案完全
相反的图形。如日本新日铁化公司(NSC)的V259-BKIS光刻胶,日本
丸红公司的J366光刻胶。
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第一部分: LCD PANEL A线用的主要材料基本特性
第四部分:LCD PANEL 后工序用的主要材料基本特性
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第一部分: LCD PANEL A线用的主要材料基本特性
1、ITO导电玻璃 (1)
随着FPD的发展和进步,ITO透明导电薄膜是LCD PANEL制程中非常重 要的技术项目,其薄膜的物理特性将深深地影响到最终产品显示镜的画质 和其价位。ITO薄膜的主要功能在于它不仅仅是极佳的电极材料,而广泛
多、效率相对低但线条精度高。
测试周期要2个月左右,测试是由PANEL开发部的工程师负责的,工 艺部配合测试ITO酸刻情况。
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第一部分: LCD PANEL A线用的主要材料基本特性
3、光刻胶基本特性 (感光剂、增感剂、溶剂)(1)
要在ITO上制备出显示字符图案来,就要用到一种在ITO薄膜和半 导体工业中常用到的光刻工艺技术。电极光刻是一种图形复印和化学 腐蚀相结合的精密表面加工技术。在ITO玻璃表面涂上光刻胶并进行曝 光,然后利用光刻胶的保护作用,对ITO导电层进行选择性化学腐蚀, 从而在ITO导电玻璃上得到与MASK完全对应的图形。光刻是LCD制造过 程中的关键工艺之一。 光刻胶的性能与光刻胶的配比有关。 A.组成:普通的光刻胶一般是由载体线形酚醛树脂约25%、光敏剂约
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第一部分: LCD PANEL A线用的主要材料基本特性
2、CF材料基本特性(1)
LCD由黑白色显示转向彩色显示从而进入全彩色化时代的竞争局面,而 其中的彩色滤光片( COLOR FILTER,简称CF)是彩色平板显示器(FPD)中 一项关键性的零部件,其成本约占整个PANEL的20-30%左右,经由CF的作用 方可将黑白LCD转化为全彩色的。 CF的大型化、低价格化和高性能化(高品 质画质、高解析度以及耐久性)成为CF制程一直被探讨的课题。 CF是利用现有技术—染色法、颜料分散法、印刷法、干膜法和电著法等 制程将红(R)、绿(G)、蓝(B)三原色分别地涂布于玻璃基板上。依其 着色剂(材)而分为染料和颜料,其中以颜料为主流;而染料(Dye)又可 分为染色法和染料分散法,颜料(Pigment)则分为颜料分散法和蚀刻法。
2、CF材料基本特性(4)
R、G、B的厚度一般是1.1um左右,而R、G、B之间的间隔约为10um 即BM的宽度,O/C的厚度一般是1.8-2.8um,它是耐久性及平滑性好的压克 力树脂(Acryl Resin)或环氧树脂(Epoxy Resin),若是10欧姆方阻的ITO 的则ITO膜厚一般是1800Å左右
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2、CF材料基本特性(2) CF不仅影响着LCD的色特性,而且也大副地左右着LCD的对比度、 亮度、表面反射等显示性能。 CF结构的各部分的材料因TN、STN、 TFT方式的不同而有所变化, 主要构成有:
遮蔽光用的遮光层(BM);
改变。
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第一部分: LCD PANEL A线用的主要材料基本特性
1、ITO导电玻璃(2)
ITO薄膜通常是用ITO靶材通过溅镀法制作而成的。以n型半导体氧化 铟为主成分而掺杂锡所成的ITO的传导电子密度增加为1020-1021 个/cm3而 比电阻值为10-4 Ω .cm,实际上一般的ITO膜中掺杂着5- 10wt%的氧化 锡。目前一般ITO的实用规格为TN型的LCD用:50、80、100、200Ω ╱□而 STN型的LCD用80、25、15、10Ω ╱□,而 C-STN(彩色)LCD用10Ω ╱□
以下。实际上应视其用途种类而有不同的规格值。ITO导电玻璃的电阻值
分类、表面电阻值表示及主要用途如下表所示。
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第一部分: LCD PANEL A线用的主要材料基本特性
1、ITO导电玻璃(3) 电阻 区分 高电阻 中电阻 低电阻 (I) (II)
表面电阻 ( Ω╱□ ) 200∽800
RGB的色特性取决于彩色油墨的物性,而彩色油墨的色特性则受颜料 成分的影响很大,其他用于颜料分散的成分则影响不大;颜料化合物的混 合应从色再现性和透过率来考虑且需满足: 1、RGB膜的分光透过率的尖峰值应与RGB等色系数及背光源的亮度线相 吻合的; 2、RGB的分光透过率尖峰的高度和宽度应决定; 光谱透过率尖峰的位置取决于色相和光源的光谱值; 色再现性即是CIE色度图中三原色区域的宽度(三角形的面积大小,而 NTSC影像三原色的三角形面积以100%为基率),一般个人电脑用的为3540%,而监视器用的为50-65% 。
是色纯度(或色饱和度)越高,一般是NTSC>EBU=CRT >TFT-LCD>C-STN LCD,因为TFT或者C-STN的三角形面积最小,所以它们用的CF的色纯度仍 需再提升。
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第一部分: LCD PANEL A线用的主要材料基本特性
2、CF材料基本特性(7)
COLOR FILTER遮光层(BLACK MATRIX,简称BM)的材料特性 彩色滤光膜的遮光层是用作为光的遮蔽功能,以防止入射光的泄漏而影响 其色泽性,也就是其目的在于使对比度提高和防止色纯度降低,而于着色画 像素间形成此一遮光层,而特性要求为高遮光性和高精密化,其功能的要点 如下: 1、将开口部(画像素)以外的部分的背光源的光予以遮蔽,并进而 提高LCD的对比度; 2、防止遮光层临近RGB次画像素的混色以及防止色纯度的降低; 3、防止因表示面背景光的投影效应而造成对比度的下降; 4、防止因光电流效应而影响薄膜电晶体信号传送动作的完整性; 基于此些因素而要求彩色滤光膜的BM能朝向高的遮光率。
3、光刻胶基本特性 (感光剂、增感剂、溶剂)(3)
3.3光刻胶性能的衡量指标 3.3.1 感光度:对于某固定光强的曝光机,光刻胶的感光度越高, 则曝光时间越短。 3.3.2 分辨率:分辨率是表征光刻精度的标志之一。它不仅与光刻 胶本身有关,还与光刻工艺条件和操作技术等因素有关。 3.3.3 抗蚀性:生产上要求光刻胶对酸、碱化学腐蚀液具有良好的 抗蚀能力,即经受得住较长时间的酸、碱化学腐蚀液的浸蚀。 实际上,光刻胶只是在针孔密度小、粘附性能良好的情况下, 才可能有较好的抗蚀能力。 3.3.4 粘附能力:表示光刻胶与衬底之间粘附的牢固程度,它直接影 响光刻后的精度。 3.3.5 针孔密度:单位面积的光刻胶膜上针孔数目称为光刻胶膜的针 孔密度。如果光刻胶膜上有针孔,经腐蚀之后将在ITO层相应 位置上形成针孔,它将直接影响光刻质量,所以,要求光刻胶 膜的针孔密度尽可能低。
5%、溶剂70%、极少量添加剂(如增粘剂)组成的。
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3、光刻胶基本特性 (感光剂、增感剂、溶剂)(2)
B.分类 3.1正性胶 这种胶在曝光前对某些溶剂是不可溶的,而曝光后却变成了可溶的。 使用这种胶光刻时,能得到与掩模版遮光图案相同的图形。如日本 CLAIAN公司的AZ-210K光刻胶和苏州瑞红公司的RZJ-390
表
示
用
途
简单的数位或数字表 示 小型文字和简单图形 表示(320*64) 复杂文字和动态影像 表示(640*200) 高解析度文字、图形 和动态影像表示 (640*400)
30∽200 10∽30 10以下
时 钟 、 计 算 器 、 TOUCH-PANEL 等 LCD 家用品或家电产品用、 游戏机、量测仪器用 LCD
用于FPD,同时它也具有发热、热反射、电磁波防止和静电防止等各种不
同的用途。由于ITO薄膜具有很高的透明度和导电特性,液晶显示元件的 运用、发展也就由被动式矩阵驱动TN、STN液晶显示器推向主动式矩阵驱 动薄膜晶体管TFT液晶显示器,并更加发展至所谓新世代的显示器---有机 电致发光显示器(OLED),无论地如何发展而ITO薄膜的重要性并无任何
1.5×10-4 Ω .cm)、耐热性、耐酸碱性、图案加工性(蚀刻特性和微影技
术)、电化学稳定性、膜表面形状(晶粒形态、大小和粗度,粗度越小越好 )、低成膜温度(<200℃)、膜附着机械强度、膜厚极其硬度、膜的外观 (异物、污点、缺陷和伤痕,缺陷大小)、大面积(300-450mm2)和低成本 等。我们用的玻璃主要是TN型玻璃、STN型玻璃、TFT玻璃基板还没有开始运 用。他们之间的区别在于玻璃基板是否有研磨抛光。 目前这些ITO玻璃的供应商有韩国三星康宁公司、深圳伟光公司、深圳 莱宝公司、广州盛诺公司、安徽华益公司等。在我们公司这种材料的测试周 期一般1~4个月左右,测试是由工艺开发部的A线工程师负责测试的。
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第一部分: LCD PANEL A线用的主要材料基本特性
2、CF材料基本特性(6) CF高色纯度,以CIE1931(X,Y,Z)为参考的色度坐标,分别测出 R、G、B的(x,y) 色度值,根据NTSC、EBU所定义的RGB三颜色的(x, y) 色度值。
由RGB三个(x,y) 坐标点所构成的三角形面积越大,其所代表的
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第一部分: LCD PANEL A线用的主要材料基本特性
2、CF材料基本特性(5)
CF的明亮度提升的方法之方法有薄膜化(低颜料浓度)和光谱透过波长 区域的宽广化两种,而CF的彩度提升的方法有厚膜化(高颜料浓度)和光谱 透过波长区域的狭窄化。 一般TFT-LCD的MODULE所使用的背光灯,其频率会在短/中/长波长处出现 3个明显的PEAK,根据这三个PEAK所对应之波长(此所谓特定波长)来订定 RGB三种颜色之透过率,举例说明: CF色层 R G B 435nm 5%以下 5%以下 60-80% 545nm 5%以下 72-86% 5%以下 610nm 72-96% 25% 5%以下
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第一部分: LCD PANEL A线用的主要材料基本特性
2、CF材料基本特性(8)
光学浓度值---OD>3.0以上,其含义是入射光强度I0和透过光强度I 比值的对数值的倒数,即OD= -log(I/ I0)、低的反射率(除玻璃表面 反射以外)和微细图案特性等方向考虑,而一般遮光层(一般宽度约为 10um,若是金属膜的话,则膜厚为1000-1500Å)所使用的材料是金属铬 (反射率小,玻璃基板密着性优和高的OD薄膜)。 对于C-STN方面来说,TRULY的CF ITO玻璃现用供应商有日本的光村 公司、深圳莱宝公司、深圳伟光公司。光村公司是采用印刷法做的CF, 生产效率高、色彩鲜艳;而莱宝、伟光公司则是采用蚀刻法做CF、MASK
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第一部分: LCD PANEL A线用的主要材料基本特性
1、ITO导电玻璃(4)
一般ITO透明导电膜(折射率约为1.9)的品质特性需求有低表面电阻( <10 Ω /□)、高的透过率(80-92%/550nm光波)、低比电阻值(<