C4报警信息大全
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反应室Pyro控制器通讯出错
256
Reactor A/BRealTemp Comm Fault
反应室RT电脑通讯出错
261
Reactor Differential Seal Overpressure
DOR过压（C4机台<299torr）
262
PLC Communication Fault
PLC通讯出错
091
Process Pump Exhaust Overpressure
尾气出口过压（检查负压抽风是否正常，以及尾
气管道是否有堵）
092
Process Pump #1 Stopped
Ebara泵停掉
098
HN2 Pressure Low RA Remote
Ebara泵氮气压力低（house氮气）
113
Cannotopen iso，due to Pressure are imbalance传盘时压力不
平衡报警
在准备传盘时，瞬间压力有波动，导致叉子异常，一般压力稳定后，又能继续传盘
无报警，传盘时，TM界面一直停留在平衡压力的时候，而压力也无变化（C4-5出现多次）。将当前的传盘动作结束掉，手动平衡腔体间压力，再传盘
Pyro温差报警
223
Baratron Reactor A/BOverpressure
反应室过压
225
RTD Controller Inner Overtemp
RTD控制器过温报警（检查电极铜块是否异常，
电极螺丝是否松动，电阻是否正常）
226
RTD Controller Middle Overtemp
059
Spindle H2O Flow Alarm转轴冷却水水流量低报警
060
Coldeplate3-4Flow Alarm冷板水流量低报警
Chiller水流量异常
1：确认chiller水箱水位是否满足要求，水位应高于
low刻度线。
2:确认水流量计是否有堵：如果水流量低于报警值，
而无法调节水流量计大小，拆下流量计查看是否有堵
cannot place to processmoudle1/2/3/4-unsafe to open isolation
valve开门阀不安全，不允许传盘
确认是否处在IDLE状态
PM1/2/3/4 not initialized未完成初始化
确认shutter升降是否正常
生长完机台回不了idle
1：确认RT里、中、外三圈温度是否低于450
电源状态（SDA门上的蓝色指示灯）
026
Reactor A/B Dout Power Status（HW）反应室数字
信号输出电源状态（SDA门上的蓝色指示灯）
028
Reactor A/BLockout-Tagout（HW）反应室自锁
080
Reactor Overpressure(HW)反应室过压
气体压力报警
窗口冷却水流量低报警
055
Exhaust H2O Flow Alarm反应室尾气排放端口冷却水低
报警
056
(Ferro )Spindle Motor H2O Flow AlarmSpindle马达水流
量低报警
057
Cooling Band H2O Flow Alarm反应室冷却带水流量低报警
058
Electrodes Flow Alarm电极冷却水水流量低报警
Flow Flange Cooling Fault
反应室顶盖法兰冷却出错（检查chiller信号线
接头）
114
PS Spill sensor
电源箱处漏水
118
Inner PID Ctrl Alarm
PID控制错误报警（检查电极电阻、电极螺丝
是否松动）
119
Middle PID Ctrl Alarm120来自Sequence机械手信号掉线
确认叉子是否在VTS内，然后退出CTC和TM软件，重启TM电脑，完成后reset moudle并消除“？”
sequence arm sequence match chamber pressure pick/place
has been abort传盘时压力不平衡报警
将报警消掉（将红色的按钮点成灰色），然后将需要互相传盘的两个腔体间的压力抽冲至平衡状态，再手动传盘
Outer PID Ctrl Alarm
121
Real Temp Alarm (Future:Use)
RT电脑报警
193
System Active Alarm
PLC报警
194
Reactor A /B Active Alarm
196
System In Shutdown
197
Reactor A/B In Shutdown
2：当水流值低于报警值时，通过调节水流量计的
旋钮可以增加水的流量。如果调节不了大小，拆
下流量计清理，查看是否有堵
3：查看管道是否有漏有堵
053
Heater Base Coil#1 H2O Flow Alarm转轴冷却水水流量低
报警
054
Baseplate/Bottom Flange/Pyro port底座/法兰/RT探测
叉子常见异常
TM AUTO MODE SWITCH INTERLOCKROBOT控制模式开关互锁
，伴有蜂鸣
将robot switch转至off，然后再转至AUTO，然后在界面上rested moudle
ARM Autoseq robot pick/place ,robot time out ,aborting
018
F14Fuse status
019
F15Fuse status
HardWare报警
001
Facilitystatus（HW）设备预留报警
当出现后缀为HW的报警时，SDA SIDE A
位置门上的三个蓝色指示灯会亮起，按下
即可消除。一般出现在重启PLC或机台开机
时或是转动了lockout处的钥匙
021
否开启）
038
Reactor A/B H2 Pressure Low氢气压力低
SG38压力表
042
Center Purge NH3 Pressure LowCP氨气压力低，SG42
压力表
043
Reactor A/B NH3 HF Pressure Low大流量氨气管压力低
SG43压力表
045
SiH4 Pressure Low硅烷压力低SG45压力表
C4机台报警汇总
Fuse报警
020
F16Fuse status
Main PCB上保险丝状态（位置在PLC下面，可对照旁边对照表查看，正常时指示灯亮红色，如不亮，请更换保险丝），如出现多个不亮，不一定是保险丝异常，请查看有无其他报警，如氢气泄漏
016
F12Fuse status
017
F13Fuse status
H2 Detector（HW）氢气泄露
022
Toxic Gas Detector（HW）毒气泄漏
023
Cabinet Ventilation SIDE A（HW）排风报警
024
Cabinet Ventilation SIDE B（HW）排风报警
025
SDA Dout Power Status（HW）SDA数字信号输出
030
CDA Pressure Low SDA ChamberSDA处的SG30压力表
压力低
确认外围气压是否正常，异常通知动力，如正常
手动调节机台调压阀（硅烷压力低，请查看对应
气柜压力是否正常。1#硅烷供C4-5和UPQSZ炉；
2#硅烷供C4-1/2和RTX炉；3#硅烷供C4-3/4，
1#和2#硅烷连通阀在U炉旁边的VMB，2#和3#
244
PyroInnerOvertempReactor A/B
PYRO里圈过温报警
253
Process Deviation–Alarm RA/B
过程偏差报警
254
Reactor PID Comm Fault (comp)
反应室PID通讯出错
255
Reactor A/BPyro/Sekidenko Commfault
alarm level（MO源低于报警值）
除镁源外，其他需要两个腔体停下修改净重
Configurable TC temperature is more than 85C（反应室循环水
温度过高）
检查热偶是否旋紧，PCW或chiller水温是否异常（chiller供给顶盖50循环水，PCW在18-20度）
硅烷连通阀在L炉后面的VMB
033
Reactor A /B LF N2 Pressure Low低流量氮气管道压力低
SG33压力表
036
Bubbler N2 Pressure Low源氮气压力低SG36压力表
037
Bubbler Mainfoild Pressure Low源载气压力低
SG37压力表（如果SG36压力表正常，请确认AV-10是
061
Coldeplate 1-2Flow Alarm冷板水流量低报警
062
Shutter Flow AlarmShutter水流量低报警
075
Confined Inlet Flow Alarm CIF水流量低报警
其他
051
PLC Shutdown (Push Button Switch)
PLC宕机
032
Reactor A /BHF N2 Pressure Low大流量氮气压力低
SG32压力表
RCA位置水流量报警
052
Heater BaseCoil#2H2O Flow #2 Alarm加热基板冷却水
流量低报警
PCW水流量异常
1：确认常务循环水压正常，大于4.2mpa，如果水
压低，通知厂务，调节水压
2：确认shutter是否有降下或低位sensor是否亮起
3：确认反应室压力是否低于15torr
无法run recipe
1：确认系统处在idle状态
2：确认MO源无报警
3：确认reactor cooling水温正常
4：确认石墨盘颜色正常
5：确认程序编写正确
其他
can not run recipe since source weight of the bubbler are in
227
RTD ControllerOuter Overtemp
228
Reactor A/B Inner PID Controller Comm Fault
加热丝PID控制器通讯出错
229
Reactor A/B Middle PID Controller Comm Fault
230
Reactor A/B Outer PID Controller Comm Fault
199
Reactor A/B Watchdog
200
ReactorA/B Cooling Ok(PLC Din)（一般chiller开启后就能
消掉）
221
Spindle Motor Fault Reactor A/B
反应室转轴马达异常
222
Pyro Differential Temp Reactor A/B
256
Reactor A/BRealTemp Comm Fault
反应室RT电脑通讯出错
261
Reactor Differential Seal Overpressure
DOR过压（C4机台<299torr）
262
PLC Communication Fault
PLC通讯出错
091
Process Pump Exhaust Overpressure
尾气出口过压（检查负压抽风是否正常，以及尾
气管道是否有堵）
092
Process Pump #1 Stopped
Ebara泵停掉
098
HN2 Pressure Low RA Remote
Ebara泵氮气压力低（house氮气）
113
Cannotopen iso，due to Pressure are imbalance传盘时压力不
平衡报警
在准备传盘时，瞬间压力有波动，导致叉子异常，一般压力稳定后，又能继续传盘
无报警，传盘时，TM界面一直停留在平衡压力的时候，而压力也无变化（C4-5出现多次）。将当前的传盘动作结束掉，手动平衡腔体间压力，再传盘
Pyro温差报警
223
Baratron Reactor A/BOverpressure
反应室过压
225
RTD Controller Inner Overtemp
RTD控制器过温报警（检查电极铜块是否异常，
电极螺丝是否松动，电阻是否正常）
226
RTD Controller Middle Overtemp
059
Spindle H2O Flow Alarm转轴冷却水水流量低报警
060
Coldeplate3-4Flow Alarm冷板水流量低报警
Chiller水流量异常
1：确认chiller水箱水位是否满足要求，水位应高于
low刻度线。
2:确认水流量计是否有堵：如果水流量低于报警值，
而无法调节水流量计大小，拆下流量计查看是否有堵
cannot place to processmoudle1/2/3/4-unsafe to open isolation
valve开门阀不安全，不允许传盘
确认是否处在IDLE状态
PM1/2/3/4 not initialized未完成初始化
确认shutter升降是否正常
生长完机台回不了idle
1：确认RT里、中、外三圈温度是否低于450
电源状态（SDA门上的蓝色指示灯）
026
Reactor A/B Dout Power Status（HW）反应室数字
信号输出电源状态（SDA门上的蓝色指示灯）
028
Reactor A/BLockout-Tagout（HW）反应室自锁
080
Reactor Overpressure(HW)反应室过压
气体压力报警
窗口冷却水流量低报警
055
Exhaust H2O Flow Alarm反应室尾气排放端口冷却水低
报警
056
(Ferro )Spindle Motor H2O Flow AlarmSpindle马达水流
量低报警
057
Cooling Band H2O Flow Alarm反应室冷却带水流量低报警
058
Electrodes Flow Alarm电极冷却水水流量低报警
Flow Flange Cooling Fault
反应室顶盖法兰冷却出错（检查chiller信号线
接头）
114
PS Spill sensor
电源箱处漏水
118
Inner PID Ctrl Alarm
PID控制错误报警（检查电极电阻、电极螺丝
是否松动）
119
Middle PID Ctrl Alarm120来自Sequence机械手信号掉线
确认叉子是否在VTS内，然后退出CTC和TM软件，重启TM电脑，完成后reset moudle并消除“？”
sequence arm sequence match chamber pressure pick/place
has been abort传盘时压力不平衡报警
将报警消掉（将红色的按钮点成灰色），然后将需要互相传盘的两个腔体间的压力抽冲至平衡状态，再手动传盘
Outer PID Ctrl Alarm
121
Real Temp Alarm (Future:Use)
RT电脑报警
193
System Active Alarm
PLC报警
194
Reactor A /B Active Alarm
196
System In Shutdown
197
Reactor A/B In Shutdown
2：当水流值低于报警值时，通过调节水流量计的
旋钮可以增加水的流量。如果调节不了大小，拆
下流量计清理，查看是否有堵
3：查看管道是否有漏有堵
053
Heater Base Coil#1 H2O Flow Alarm转轴冷却水水流量低
报警
054
Baseplate/Bottom Flange/Pyro port底座/法兰/RT探测
叉子常见异常
TM AUTO MODE SWITCH INTERLOCKROBOT控制模式开关互锁
，伴有蜂鸣
将robot switch转至off，然后再转至AUTO，然后在界面上rested moudle
ARM Autoseq robot pick/place ,robot time out ,aborting
018
F14Fuse status
019
F15Fuse status
HardWare报警
001
Facilitystatus（HW）设备预留报警
当出现后缀为HW的报警时，SDA SIDE A
位置门上的三个蓝色指示灯会亮起，按下
即可消除。一般出现在重启PLC或机台开机
时或是转动了lockout处的钥匙
021
否开启）
038
Reactor A/B H2 Pressure Low氢气压力低
SG38压力表
042
Center Purge NH3 Pressure LowCP氨气压力低，SG42
压力表
043
Reactor A/B NH3 HF Pressure Low大流量氨气管压力低
SG43压力表
045
SiH4 Pressure Low硅烷压力低SG45压力表
C4机台报警汇总
Fuse报警
020
F16Fuse status
Main PCB上保险丝状态（位置在PLC下面，可对照旁边对照表查看，正常时指示灯亮红色，如不亮，请更换保险丝），如出现多个不亮，不一定是保险丝异常，请查看有无其他报警，如氢气泄漏
016
F12Fuse status
017
F13Fuse status
H2 Detector（HW）氢气泄露
022
Toxic Gas Detector（HW）毒气泄漏
023
Cabinet Ventilation SIDE A（HW）排风报警
024
Cabinet Ventilation SIDE B（HW）排风报警
025
SDA Dout Power Status（HW）SDA数字信号输出
030
CDA Pressure Low SDA ChamberSDA处的SG30压力表
压力低
确认外围气压是否正常，异常通知动力，如正常
手动调节机台调压阀（硅烷压力低，请查看对应
气柜压力是否正常。1#硅烷供C4-5和UPQSZ炉；
2#硅烷供C4-1/2和RTX炉；3#硅烷供C4-3/4，
1#和2#硅烷连通阀在U炉旁边的VMB，2#和3#
244
PyroInnerOvertempReactor A/B
PYRO里圈过温报警
253
Process Deviation–Alarm RA/B
过程偏差报警
254
Reactor PID Comm Fault (comp)
反应室PID通讯出错
255
Reactor A/BPyro/Sekidenko Commfault
alarm level（MO源低于报警值）
除镁源外，其他需要两个腔体停下修改净重
Configurable TC temperature is more than 85C（反应室循环水
温度过高）
检查热偶是否旋紧，PCW或chiller水温是否异常（chiller供给顶盖50循环水，PCW在18-20度）
硅烷连通阀在L炉后面的VMB
033
Reactor A /B LF N2 Pressure Low低流量氮气管道压力低
SG33压力表
036
Bubbler N2 Pressure Low源氮气压力低SG36压力表
037
Bubbler Mainfoild Pressure Low源载气压力低
SG37压力表（如果SG36压力表正常，请确认AV-10是
061
Coldeplate 1-2Flow Alarm冷板水流量低报警
062
Shutter Flow AlarmShutter水流量低报警
075
Confined Inlet Flow Alarm CIF水流量低报警
其他
051
PLC Shutdown (Push Button Switch)
PLC宕机
032
Reactor A /BHF N2 Pressure Low大流量氮气压力低
SG32压力表
RCA位置水流量报警
052
Heater BaseCoil#2H2O Flow #2 Alarm加热基板冷却水
流量低报警
PCW水流量异常
1：确认常务循环水压正常，大于4.2mpa，如果水
压低，通知厂务，调节水压
2：确认shutter是否有降下或低位sensor是否亮起
3：确认反应室压力是否低于15torr
无法run recipe
1：确认系统处在idle状态
2：确认MO源无报警
3：确认reactor cooling水温正常
4：确认石墨盘颜色正常
5：确认程序编写正确
其他
can not run recipe since source weight of the bubbler are in
227
RTD ControllerOuter Overtemp
228
Reactor A/B Inner PID Controller Comm Fault
加热丝PID控制器通讯出错
229
Reactor A/B Middle PID Controller Comm Fault
230
Reactor A/B Outer PID Controller Comm Fault
199
Reactor A/B Watchdog
200
ReactorA/B Cooling Ok(PLC Din)（一般chiller开启后就能
消掉）
221
Spindle Motor Fault Reactor A/B
反应室转轴马达异常
222
Pyro Differential Temp Reactor A/B