FM-67-001危险有害因素调查表-H07-生产部真空.
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XX公司危险有害因素调查表
部门：生产部真空填表人:审核：日期：2009.03.30 No. H07
项次
对象地点
作业活动/设施
危害因素
N/A/E
可能性和后果
控制措施
1.
注入
换源气
阀门误操作源气大量泄漏
中毒
1、对阀门进行标识和编号
2、阀门开启方向和限位标识
3、一人操作一人监护
4、设置排风装置
2.
注入
换源气
接头未接好或损坏后泄漏
职业伤害或中毒
1、设置排风装置
2、定期检查接头密封圈
3、一人操作一人监护
3.
注入
换源气
运送过程源瓶滑落
砸伤
规范操作
4.
注入
注入过程
侧面铅板脱落导致电磁辐射超标
E
职业伤害
1、定期检查铅板固定
2、每五年检测一次
5.
注入
注入过程
设备门处于开启状态
电击
1、规范操作
2、设置高压连锁装置
3、设置警示标志
18.
减薄
减薄
更换手术刀片
N
手割伤
1、定人操作
2、规范操作
19.
减薄
减薄
手术刀废弃
A
刺伤或刮伤
废弃刀片收集在硬的容器中丢弃
20.
减薄
抛光
手接触到旋转的工件中
E
手擦伤
规范操作
21.
喷沙
喷沙
沙粒飞溅到眼睛
E
眼睛擦伤
1、规范操作
2、采取隔离措施
备注：危险有害因素辨识方法：用JHA（工作危害分析）；识别每一步骤中的危险危害因素和可能的事故；在现场观察工作：与操作者讨论研究；运用自己对这一项工作的知识；与安全专家探讨，请教；与有关的安全规程对比；回忆过去的事故。
N
灼伤
佩戴耐酸手套，围裙，防护眼镜，袖套
15.
蒸发
配液与腐蚀工件操作
未按规定佩带防护用品操作
N
割手、灼伤
1、按规定配备防护用品
2、操作前检查防护用品佩带情况
16.
蒸发
配液与腐蚀工件操作
防酸手套破裂
E
灼伤
1、定期更换新防酸手套
2、使用前吹气检查
17.
蒸发
配液与腐蚀工件操作
配液时硝酸挥发.
注入
注入后开启设备门
未对高压部位放电
A
电击伤
1、设置高压放电棒；
2、设置放电警示标志
7.
注入
拆卸离子源
未对头部冷却
A
烫伤
规范操作
8.
注入
维护扩散泵
未按规定冷却
A
手烫伤
规范操作
9.
注入
维修后或停产恢复生产后
设备参数偏离造成批量性报废
A
财产损失
1、设备状态三级复核
2、样片先行确认
10.
蒸发
蒸发
裸视电子束辉光
N
灼伤眼睛
佩带墨镜
11.
蒸发
坩埚清理
使用刮刀不当
A
手割伤
规范操作
项次
对象地点
作业活动/设施
危害因素
N/A/E
可能性和后果
控制措施
12.
蒸发
坩埚清理
未戴护目镜
A
眼被颗粒击伤
佩带护目镜
13.
蒸发
坩埚清理
刮刀与坩埚内镍金属刮擦产生火花被吸入吸尘器中
A
着火
规范操作
14.
蒸发
配液与腐蚀工件操作
配置酸液时酸液溅出
部门：生产部真空填表人:审核：日期：2009.03.30 No. H07
项次
对象地点
作业活动/设施
危害因素
N/A/E
可能性和后果
控制措施
1.
注入
换源气
阀门误操作源气大量泄漏
中毒
1、对阀门进行标识和编号
2、阀门开启方向和限位标识
3、一人操作一人监护
4、设置排风装置
2.
注入
换源气
接头未接好或损坏后泄漏
职业伤害或中毒
1、设置排风装置
2、定期检查接头密封圈
3、一人操作一人监护
3.
注入
换源气
运送过程源瓶滑落
砸伤
规范操作
4.
注入
注入过程
侧面铅板脱落导致电磁辐射超标
E
职业伤害
1、定期检查铅板固定
2、每五年检测一次
5.
注入
注入过程
设备门处于开启状态
电击
1、规范操作
2、设置高压连锁装置
3、设置警示标志
18.
减薄
减薄
更换手术刀片
N
手割伤
1、定人操作
2、规范操作
19.
减薄
减薄
手术刀废弃
A
刺伤或刮伤
废弃刀片收集在硬的容器中丢弃
20.
减薄
抛光
手接触到旋转的工件中
E
手擦伤
规范操作
21.
喷沙
喷沙
沙粒飞溅到眼睛
E
眼睛擦伤
1、规范操作
2、采取隔离措施
备注：危险有害因素辨识方法：用JHA（工作危害分析）；识别每一步骤中的危险危害因素和可能的事故；在现场观察工作：与操作者讨论研究；运用自己对这一项工作的知识；与安全专家探讨，请教；与有关的安全规程对比；回忆过去的事故。
N
灼伤
佩戴耐酸手套，围裙，防护眼镜，袖套
15.
蒸发
配液与腐蚀工件操作
未按规定佩带防护用品操作
N
割手、灼伤
1、按规定配备防护用品
2、操作前检查防护用品佩带情况
16.
蒸发
配液与腐蚀工件操作
防酸手套破裂
E
灼伤
1、定期更换新防酸手套
2、使用前吹气检查
17.
蒸发
配液与腐蚀工件操作
配液时硝酸挥发.
注入
注入后开启设备门
未对高压部位放电
A
电击伤
1、设置高压放电棒；
2、设置放电警示标志
7.
注入
拆卸离子源
未对头部冷却
A
烫伤
规范操作
8.
注入
维护扩散泵
未按规定冷却
A
手烫伤
规范操作
9.
注入
维修后或停产恢复生产后
设备参数偏离造成批量性报废
A
财产损失
1、设备状态三级复核
2、样片先行确认
10.
蒸发
蒸发
裸视电子束辉光
N
灼伤眼睛
佩带墨镜
11.
蒸发
坩埚清理
使用刮刀不当
A
手割伤
规范操作
项次
对象地点
作业活动/设施
危害因素
N/A/E
可能性和后果
控制措施
12.
蒸发
坩埚清理
未戴护目镜
A
眼被颗粒击伤
佩带护目镜
13.
蒸发
坩埚清理
刮刀与坩埚内镍金属刮擦产生火花被吸入吸尘器中
A
着火
规范操作
14.
蒸发
配液与腐蚀工件操作
配置酸液时酸液溅出