第4章 变磁阻式传感器

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电压为:
Z Z Uo U= U (L1 L2 ) 2( Z1 Z2 ) 2Z
(3-4)
Z1
Z3=R
U
Z2
Z4=R
Z1 R U0=U - Z1+Z2 R R
U o
Z Z Uo U= U (L1 L2 ) 2( Z1 Z2 ) 2Z
第3章 变磁阻式传感器
3.1 自感式传感器 3.2 差分变压器式传感器 3.3 电涡流式传感器
• 变磁阻式传感器的工作基础:电磁感应 • 即利用线圈电感或互感的改变来实现非 电量测量
被测物理量 (非电量:位移、 电磁感应 振动、压力、 流量、比重) 线圈自感系数L/ 互感系数M 电感/互感 电压或电流 (电信号)
过变压器T1加到环形电桥的一个对角线上。参考信号us通过
变压器T2加到环形电桥的另一个对角线上。 输出信号uo从变 压器T1与T2的中心抽头引出。 平衡电阻R起限流作用,以避免二极管导通时变压器T2 的次级电流过大。RL为负载电阻。us的幅值要远大于输入信
号u2的幅值,以便有效控制四个二极管的导通状态,且us和
差动变压器式传感器激磁电压u1由同一振荡器供电, 保证二 者同频同相(或反相)。
us
T2 u s1 A T1
u2
u s2 O VD 4 R VD 3 R B (a ) M A RL uo
u2 1 u2 2
R C VD 1 R VD 2
D
图 4 19 相 敏 检 波 电 路
-
- u s1 + C R
实际测量时,常常采用差动整流电路和相敏检波电路。
(1) 差动整流电路 这种电路是把差动变压器的两个次级输出电压分别整流, 然后将整流的电压或电流的差值作为输出。
1 a T b
4 C1 3 5
2
9
T
U 1
R0 U 2
U 1
c 8 C2
11
R0 U 2
x (a ) x d
6 10
7 (c)
仿形机床采用 闭环工作方式
实例:仿形车床原理
实例:电感式不圆度计原理
该圆度计采用旁向式电感测微头
电感式不圆度测量系统外形
(参考洛阳汇智测控技术有限公司资料)
测量 头
旋转盘
不圆度测量打印
实例:电感式轮廓仪
旁向式电感 测微头
实例:自感式传感器在粗糙度测量中的应用 ——手持式粗糙度仪
•触针: 金刚石圆锥; •针尖圆弧半径:5μ m; •可存储500个粗糙度参数值及4组轮廓数据; •可进行粗糙度参数的打印; •可对外圆、内孔、轴肩、圆锥面等各种复杂表面进行测试;
则:
2 Rm 0 S0
可得:
N 0 A L 2
2
(3-2)
上式表明:当线圈匝数为常数时,电感L仅仅是磁 路中磁阻 Rm 的函数,改变 δ 或 S0 均可导致电感变化, 因此变磁阻式传感器又可分为变气隙厚度δ的传感器和 变气隙面积S0的传感器。 目前使用最广泛的是 变气隙厚度式 电感传感器。
轴向式电感测微器的内部结构
1—引线电缆 3—衔铁 5—测力弹簧 8—测杆 10—测端
2—固定磁筒 4—线圈 6—防转销 9—密封套 11—被测工件
7—钢球导轨(直线轴承)
12—基准面
实例:电感式滚柱直径分选装置
滚柱直径分选装置 1—气缸 2—活塞 3—推杆 4—被测滚柱 5—落料管 6—电感测 微器 7—钨钢测头 8—限位挡板 9—电磁翻板 10—容器(料斗)
0 , 电桥平衡。 U o
U
C + U 2 - + U -2 D
Z1 + U - A
Z2
o
B
图3-5 变压器式交流电桥
当传感器衔铁上移:如Z1=Z+ΔZ,Z2=Z-ΔZ,
Z U L U Uo Z 2 L 2
当传感器衔铁下移:如Z1=Z-ΔZ,Z2=Z+ΔZ, 此时
将一只380V交流接触器线圈与交流毫安表串联 后,接到机床用控制变压器的36V交流电压源上,如 图所示。这时毫安表的示值约为几十毫安。用手慢 慢将接触器的活动铁心(称为衔铁)往下按,我们 会发现毫安表的读数逐渐减小。当衔铁与固定铁心 之间的气隙等于零时,毫安表的读数只剩下十几毫 安。
电感传感器的基本工作原理演示
N21
N1
N22
U0
x
灵敏度与线性度
差动变压器的灵敏度一般可达0.5~5V/mm,行程 越小,灵敏度越高。 为了提高灵敏度,励磁电压在10V左右为宜。电源 频率以1~10kHz为好。 差动变压器线性范围约为线圈骨架长度的1/10左右。
例:欲测量20mm2mm轴的直径误差,应选择线 圈骨架长度为多少的差动变压器(或电感传感器) 为宜 ? NhomakorabeaT
U 1
U 2
x (b )
R0
T
U 1
x (d )
U 2
R0
图4-18 (a) 半波电压输出;(b) 半波电流输出; (c) 全波电压输出; (d) 全波电流输出
从图4-18(c)电路结构可知,不论两个次级线圈的输出瞬 时电压极性如何,流经电容 C1 的电流方向总是从 2到 4 ,流经电 容C2的电流方向总是从6到8, 故整流电路的输出电压为
从结构图可以看出,差动式电感传感器对外界影响,如 温度的变化、电源频率的变化等基本上可以互相抵消,衔铁
承受的电磁吸力也较小,从而减小了测量误差。
从曲线图可以看出,差动式电感传感器的线性较好, 且输出曲线较陡,灵敏度约为非差动式电感传感器的两倍。 二、 电感式传感器的测量电路有交流电桥式、 变压器式交 流电桥以及谐振式等。
当衔铁移动时,气隙厚度δ发生改变,引起磁路中磁阻变化,
从而导致电感线圈的电感值变化,因此只要能测出这种电感量
的变化,就能确定衔铁位移量的大小和方向。
l1 S1
1 L 2 W l2 1 —线圈;

2 —铁芯 (定铁芯); 3 —衔铁 (动铁芯)
S2
±
3
图3 – 1 自感式传感器
先看一个实验:
F
准备工作
220V
电感传感器的基本工作原理演示
F
气隙变小,电感变大,电流变小
气隙很小,可以认为气隙中的磁场是均匀的。 若忽 略磁路磁损, 则磁路总磁阻为 :
l1 l2 2 Rm 1S1 2 S2 0 S0
(3-1)
通常气隙磁阻远大于铁芯和衔铁的磁阻, 即
2 l1 0 S0 1S1 2 l2 0 S0 2 S2
必然会使两互感系数 M1=M2。根据电磁感应原理, 将有U21 =
U22 。由于变压器两次级绕组反相串联, 因而Uo= U21 - U22 =0
, 即差动变压器输出电压为零。
当活动衔铁向上移动时,由于磁阻的影响, N21中磁通 将大于N22 ,使M1>M2,因而U21增加,而U22减小。反之, U22增加, U21减小。因为Uo= U21 - U22 ,所以当U21、
两个次级线圈反相串联,并且在忽略铁损、导磁体磁阻 和线圈分布电容的理想条件下, 其等效电路如图所示。 当初
级绕组加以激励电压U时, 根据变压器的工作原理,在两个次级
绕组 N21 和N22 中便会产生感应电势 U21 和 U22。 如果工艺上保
证变压器结构完全对称 , 则当活动衔铁处于初始平衡位置时 ,
粗糙度仪外形
金刚石测头
粗糙度测量结果打印(1)
粗糙度测量结果打印(2)
3.2 差分变压器式传感器
把被测的非电量变化转换为线圈互感变化的传感器称为互
感式传感器。这种传感器是根据变压器的基本原理制成的,并 且次级绕组用差动形式连接, 故称差分变压器式传感器。 在非电量测量中, 应用最多的是螺线管式差动变压器, 它可以测量1~100mm 机械位移,并具有测量精度高、灵敏 度高、 结构简单、性能可靠等优点。
零点残余电压产生原因:
主要是由传感器的两次级绕组的电气参数和几何尺寸不对
称,以及磁性材料的非线性等引起的。
零点残余电压一般在几十毫伏以下,在实际使用时, 应设法减小Ux,否则将会影响传感器的测量结果。
二、差动变压器式传感器测量电路 问题:(1)差动变压器的输出是交流电压(用交流电压表 测量,只能反映衔铁位移的大小,不能反映移动的方向); (2)测量值中将包含零点残余电压。 为了达到能辨别移动方向和消除零点残余电压的目的,
(二)变面积型 (三)螺管型
变面积型
(四)差分式电感传感器
在变隙式差动电感传感器中,当 衔铁随被测量移动而偏离中间位 置时,两个线圈的电感量一个增 加,一个减小,形成差动形式。 曲线1、2为L1、L2 的特性, 3为差动特性
1-差动线圈
2-铁心 5-工件
3-衔铁
4-测杆
请分析:灵敏度、 线性度有何变化
1.
把传感器的两个线圈作为电桥的两个桥臂Z1和Z2,另
外两个相邻的桥臂用纯电阻 R 代替。设 Z1=Z+ΔZ1, Z2=Z -
ΔZ2,Z是衔铁在中间位置时单个线圈的复阻抗, ΔZ1, ΔZ2 分别是衔铁偏离中心位置时两线圈阻抗的变化量。对于差
动式电感传感器, 有ΔZ1+ΔZ2≈jω(ΔL1+ΔL2), 则电桥输出
L U Z U U o Z 2 L 2
可知:衔铁上下移动相同距离时,输出电压相位相反,大小 随衔铁的位移而变化。由于 U 是交流电压, 输出指示无法判 断位移方向,必须配合相敏检波电路来解决。
三、自感式传感器的应用
一、位移测量
轴向式电感 测微器
航空插头 红宝石测头
其他电感测微头
电感式滚柱直径分选装置
测微仪
圆柱滚子
电感式滚柱直径分选装置(外形)
(参考中原量仪股份有限公司资料)
滑道 分选仓位
轴承滚子外形
实例:电感传感器在仿形铣床中的应用
1—标准靠模样板
2—测端(靠模轮)
3—电感测微器 4—铣刀龙门框架
5—立柱
6—伺服电动机 7—铣刀
8—毛坯
主 轴 仿形铣床外形 仿形头
一、工作原理
5 1 2 4 3 6 1 —活动衔铁; 2 —导磁外壳; 3 —骨架; 4 —匝数为 W1 的初级绕组; 5 —匝数为 W2 a 的次级绕组; 6 —匝数为 W2 b 的次级绕阻
差分变压器结构
差动变压器式传感器的等效电路
结构特点:
两个二次线圈反 向串联,组成差动 输出形式。
请将二次线圈 N21、N22的有关端 点正确地连接起来, 并指出哪两个为输 出端点。
(一)
L与δ之间是非线性关系, 特性曲线如图所示。
L
N 2 0 A0 2
L
L0+L L0 L0-L
o




变隙式的L-δ特性曲线
灵敏度为:
L 1 L0 K0 0
可见: 变间隙式电感传感器的测量范围与灵敏度及线性度相 矛盾,因此变隙式电感式传感器适用于测量微小位移的场合。
• 分为自感式、差分变压器式、涡流式等 • 特点:
– – – – 工作可靠、寿命长 灵敏度高,分辨力高 精度高、线性好 性能稳定、重复性好
3.1 自感式传感器
一、 工作原理 变磁阻式传感器由线圈、铁芯和衔铁三部分组成。铁芯和 衔铁由导磁材料制成。
在铁芯和衔铁之间有气隙,传感器的运动部分与衔铁相连。
U U U 2 24 68
(4-35)
. . . 当衔铁在零位时,因为U24=U68,所以U2=0;当衔铁在零位 . . . 以上时,因为U24 > U68 ,则U2 >0;而当衔铁在零位以下时, . . . . 则有U24< U68,则U2 <0。U2的正负表示衔铁位移的方向。
(2) 相敏检波电路 输入信号u2(差动变压器式传感器输出的调幅波电压 ) 通
2.
变压器式交流电桥测量电路如图4-6所示,电桥两臂Z1、
Z2为传感器线圈阻抗,另外两桥臂为交流变压器次级线圈
的1/2阻抗。 当负载阻抗为无穷大时, 桥路输出电压
Z2 Z 2 Z1 U 1 Uo U U Z1 Z 2 2 Z1 Z 2 2
(3-6)
当 传 感 器 的 衔 铁 处 于 中 间 位 置 , 即 Z1=Z2=Z , 此 时 有
U22 随着衔铁位移x变化时, Uo也必将随x而变化。
差分变压器输出电压的特性曲线
由图可以看出, 当衔铁位于中心位置 时,差动变压器输出 电压并不等于零,我 们把差动变压器在零 位移时的输出电压称 为零点残余电压,记 作ΔUo,它的存在使 传感器的输出特性不 经过零点,造成实际 特性与理论特性不完 全一致。 -x
+ u s2 - D R
O RL M + u2 2 - uo R C - u s1 + R D - u s2 + (c)
- u2 1 + M RL O uo
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