特气管道施工与检查

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四、洁净管道安装之材料接收
目的：主要确定管道在运送过程中包装的完整以及订购量和材质的符合 步骤： 一、材料订购后在接收前最好能先到原厂抽检。 1.阀件 取10%做氮气测漏测试以及Particles的测试。
2.管件 依炉号Heat No.和管子的Size各取一支做焊接测试。
3.管接头 依不同的Size各取一件出来做粗超度、真圆度、Dimesion测试。 二、材料到厂处理 1. 通知品保人员检查包装状况，在品保人员（QA/QC）准许后才可拆箱，拆 箱需非常小心以 免伤
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九、洁净管道安装之管线测试-4
四、系统水分的分析： 1、测试仪器：a) Ametek b) Meeco 2、测试方法： a)使用超纯氮气（PN2）作为冲吹（Purge）气体 除H2、Ar、He Piping外皆使用PN2 Purge∮ H2、Ar、He Piping外皆使用PAr Gas Purge∮ F2/Kr/Ne、Kr/Ne Piping使用Phe Gas Purge∮ b)系统必须先加减压和连续式的冲吹； c)系统管路连接分析仪器，连接管线必须使用EP级的管 线和VCR接头 d)依照不同等级气体测试到合格规范； e)冲吹次数计算法：C:初始浓度 P1：升至最大压 P2:降 至最下压 n:Purge次数
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九、洁净管道安装之管线测试-5
五、系统氧气的分析： 1、测试仪器：Delta-F 2、测试方法： a)使用超纯氮气（PN2）作为冲吹（Purge）气体 除H2、Ar、He Piping外皆使用PN2 Purge∮ H2、Ar、He Piping外皆使用PAr Gas Purge∮ F2/Kr/Ne、Kr/Ne Piping使用Phe Gas Purge∮ b)系统管路连接分析仪器，连接管线必须使用EP级 的管线和VCR接头 c)依照不同等级气体测试到合格规范
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九、洁净管道安装之管线测试-3
三：系统Particle是测试： 1、测试仪器 a)CNC(contensation Nucleus counter) b)PMS 2、测试方法： a)使用超纯氮气（PN2）作为冲吹（Purge）气体 除H2、Ar、He Piping外皆使用PN2 Purge∮ H2、Ar、He Piping外皆使用PAr Gas Purge∮ F2/Kr/Ne、Kr/Ne Piping使用Phe Gas Purge∮ b)将系统连接测试仪器，一起连接系统的管路必须使用EP级的不锈钢管， 测试前须先经过加减压的冲吹； c)P级气体与特殊气体测试规范如下： Partilce ≦1 pcs/sft3 ≧0.1um连续30分钟 CNC可测到0.01um的等级，流量为0.1sft3/min d)G级气体测试规范如下： Partilce ≦10 pcs/sft3 ≧0.1um连续测30分钟，可用PMS来测。
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八、洁净管道安装之焊接检验-2
二、焊接的程序 1、焊接者必须是有被认证过者，未被认证过者或被取消资格者不的做焊接工作。 2、试片（COUPON）的制作：在开始焊接系统 时需先做试片，早上开始的第 一块试片称CI(Coupon In),中午休息后继续焊接时需再做一块试片称 CM(Coupon Middle),最后结束时在交一块试片称CO（Coupon out）然而在下 列情况之一时需再做试片： a）改变管材的炉号； b) 改变管材的尺寸； c) 焊接机台断电的时候； d) 焊把更换或者在焊接途中焊接机数据的更改； e) 钨棒的更换。 3、试片需写上日期、系统、焊接者ID No.、CI、CM或CO、管材等级 4、试片完成后，将焊接数据填写的焊接记录表上，开始焊接系统前可先由另一 组人员做点焊固定工作，点焊时也需要Argon气体冲吹以防止氧化的发生。
四、认证者先将几台焊接数据归零，焊接者需要自行重新调整数据和管内气体流量
并且要会更改钨棒和调整钨棒的间距。 五、焊接者最后需完成三块试片，一块t/b(tube on beat)即管子直接焊接，两块 t/t(tube om tube)即管对管，对接的试焊。
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六、洁净管道安装之焊工验证——2
六、完成的试片在试片上必须填写上炉号、日期、管子的尺 寸、等级和焊者的ID No.并填一份认证表格。 七、认证者检视完成的试片并填写认证表格的合格与否，合 格者才可施工，合格者需经10天后可再做认证。 八、整理出一份合格者名单，传到现场给QA/QC人员，以掌 控现场施工人员的施工质量。
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三、特气管材介绍

目前在半导体制程设备以及相关厂务系统中所使用的管件材 料主要有不锈钢（Stainless Steel）、特氟龙（Teflon）、高密 度聚乙烯（HSPE）、以及聚偏二氟乙烯（PVDF）等。其中在 气体传输中一不锈钢管件的应用最为广泛，通常在所有与制程 相关的制程气体（Process Gas）的输送方面都要应用不锈钢管 件。 不锈钢管件主要用来传输各种制程气体的管件，尤其是一些 剧毒易燃易爆的危险性气体。所以不锈钢管件的制作和施工要
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七、洁净管道安装之焊道检验
目的：此检验标准主要是确保焊道的质量良好以避免日后的 泄露或者腐蚀的危险。 步骤： 一、焊道是否有氧化的现象？ 二、焊道是否渗透完全？ 三、焊道是否弯曲偏移严重（1/4”~2” →10%,3”管以上→15% ） 四、焊道是否穿孔？ 五、焊道是否过度凹陷？ （1/4”~2” →10%,3”管以上→15% ） 六、焊道是否过度凸起？ （1/4”~2” →10%,3”管以上→15% ） 七、焊道覆盖是否适当？（60%~80%） 八、焊道宽度是否适当？（管厚x1~2倍） 10
1、外观检验：目测表面有无凹痕 、刮伤，内表面有无缺陷、凹 洞、刮伤、污点残余物。 2、粗糙度的检验：利用粗糙度仪做内部表面粗糙度的检验。 3、管壁厚度及外径的检验：利用光标卡尺做管外径和厚度的检验。

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六、洁净管道安装之焊工验证——1
目的：此焊工验证的目的是要确保每位在现场或无尘焊接的人员，其焊接质量的认证 并且可做日后管道追踪的管理。 步骤： 一、将管子分成四Group: ½”~15A,20A~80A,100A~150A,200A以上。 二、从每个Group中选一种尺寸的管子做焊接认证，通过后在其Group范围内的尺寸 均可施工，不可跨Group施工，除非通过各个Group的认证。 三、觉得认证的尺寸后焊接者需在限定的时间内完成焊接测试。

求在以上几种不同材质的管件中要求最为严格。
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管材分类
不锈钢管 EP BA&AP
管材等级 EP级（Ele Ctrolytic Polished）电解抛光 BA级（Bright-annealed ）光辉退火 AP级（Annealed and Pickled ）酸洗钝化
一般对于P级要求（ppb级）的制程气体的输送，均要求采用SUS316L 材质的EP管材，对于一般非制程气体的输送采用SUS316L材质的BA管 材。源自八、洁净管道安装之焊接检验-1
目的：控制焊接的过程中不受外界的污染并保持管内的洁净以达到UHP配管的质 量规格。 步骤： 一、切管和洗管 1、1/4”~3/4”d的管于在Class1000区切管。 2、3/4”以上的管于在Class10000区切管。 3、切下来的管子需注明管子的炉号，使用系统、等级和套上塑料片、塑料盖。 4、切下来的管子需要用DIW清洗干净，再用热氮气吹干或者烤箱烘干。 5、不管是现场的施工或者是无尘室的预制，大管径的切管必须在无尘室或 Clean Booth下执行前完成洗净的工作。 6、现场良好要切管的尺寸，从无尘室送出钱必须盖上塑料片和者塑料盖并封 上两层塑胶袋方可运到现场，运送车需有管架，管子不可顺意置放。 7、切管时若刀片不利应立即更换以免损坏管子。 8、现场切小管时需经过纯化后的气体作冲吹。
特气管道施工与检查
一、特气概述
一般在半导体制造业我们把砌体分为大宗气体（Bulk Gas）和特种气体（Special Gas）两种。大宗气体一般是指集 中供养且用量较大的气体，涵盖制程用气如：PO2、Par 、 PH2 、Phe，以及非制程用气如：CDA 、N2、 GN2等。 特 种气体主要有各种掺杂用气体、外延用气体、离子注入用气
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九、洁净管道安装之管线测试-2
二、系统氦气测漏测试： 1、测试仪器:Leybold(UL200dry) 2、测试方法： a)Inboard模式：将被测系统管路连接测漏仪器，将系 统抽真空，抽至漏率1*/sec后，在系统的每一口 焊道、接头等喷氦气来测试，若维持漏率小于1*/sec则表示合格，此漏率测试值是针对P级气体与 特殊气体，至于GN2/PN2则是1*/sec，CDA不做 氦测漏。 b)outboard模式：将被测系统灌入氦气，再将氦测仪切 换成Sniffer模式，调整一起灵敏度至1*/sec再用 连接氦测漏仪的软管吸每一道焊口，接头等，若系统有漏， 氦气被仪器吸入时，仪器会发出警示声响。
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八、洁净管道安装之焊接检验-3
5、系统管件的焊接： a)点焊好的管件，要焊接时需要用Argon气体充分的冲吹内管； b)焊接前先调好管内和焊把的气体流量； c）连接冲吹管内的气体管线不能使用Teflon的管件联接，需用EP级的管来作冲吹； d)焊接完成后，在每一道焊口上需注明时间、日期、焊接者的ID No.及焊道的编号； e)焊接者在焊完后，须填写每日焊接记录表； f)在无尘室预制好的管件，送到现场时须做双层的包装方可运出； g)在现场连接好的管路系统须保持不断的冲吹状态； h)在现场惹遇中间段焊接失败，要做切管的动作时，必须两端都接有气体冲吹才可施行 切管的动作； i)切下来的管子须做端面的处理时必须用气体冲吹，要小心避免铁屑掉进管内或阀件，以 免刮伤管内光亮的表面和阀件密合的损坏； j)不管是现场施工人员或无尘室的预制人员都必须带上PVC手套施工，若有破损也须立即 更换； K)焊接所使用的冲吹管线接头须使用VCR的接头，调压阀则使用针阀； l)自动焊接主要的两种机型：ARC—MACHINE及CAJON;若遇到200A的大管无法使用自 动焊时，可用手焊最后在用X光照射来检验焊接的质量良否。
体、蚀刻用气体以及其他广为各种制程设备机台所使用的惰
性气体等。随着各种不同气体的特性，设计出不同的气体输 送系统来满足各种不同制程设备的需求。
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二、特气的分类
我们将半导体制造业所使用的不同特种气体一般按照
使用时的特性分为五类： 1、易燃性气体（Flammable Gas） 2、毒性气体（Toxic Gas） 3、腐蚀性气体（Corrosive Gas） 4、惰性气体（Inert Gas） 5、氧化性气体（Oxide Gas）
到管材。
2.将所有送货单发票及出厂检测报告交给QA/QC人员。 3.Piping和Tube的上架，同尺寸的管子会有不同的炉号，需依照炉号区分出来。 4.316LEP和316LBA的管件和阀件到厂拆箱后需无尘室Class10000区存放，移入 前需在擦拭干净
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五、洁净管道安装之材料检验
目的：主要是为了在次确定所购买的材料质量符合标准规范。 步骤： 一、材料在移入无尘室后准备取出10%做检验 二、检验项目：
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九、洁净管道安装之管线测试-1
目的：确保整个管路系统的安全以及纯净物污染，以达制程的需求。 步骤： 一、系统保压的测试; 1. 仪器： a)Gauge刻度精密到0.5psi无记录但方便安装 b)Recorder记录器有记录纸记录但安装不便。 2.测试方法： a)在系统内灌入被纯化过的氮气，灌入压力=设计压力*1.1倍，接测试仪器持 续时间24小时。大于或等于15A之管路 保压10Kg/cm2 试验时间：60min;大 于或等于15A之管路 保压8Kg/cm2以上 试验时间：24h 小于15A之管路 保 压8Kg/cm2以上 试验时间：24H。 b)若在任何温度变化修正之后，没有压力衰减的现象、则注明该管路气体名 称、管线压力值、时间、时期和空气温度等数据，请业主代表见证测试的开 始与结束。 c)完成测试后再将测试数据送请业主代表签名。