细微加工技术(精密加工)
精密加工技术的研究和应用
精密加工技术的研究和应用随着科技的不断发展和人类对高质量生活的不断追求，精密加工技术的研究与应用愈发重要。
精密加工技术是一种高度精细的制造工艺，可以实现对物体的精准加工，使之符合特定的要求和标准。
这种技术广泛应用于航空航天、电子信息、医疗卫生、汽车、机械工程和生物医药等领域，成为促进这些领域发展的关键因素之一。
一、精密加工技术的概述精密加工技术是一种高精度、高效率的加工手段，通常需要借助各种机床、工具和附属设备，以在工件表面制出所需形状和精度的加工方法。
精密加工技术发展至今已经涵盖了许多领域，包括直接数控加工、微纳米加工、超精密加工、联合加工、传统机械加工等。
这些技术的出现，极大地提高了现代工业生产效率和产品品质，同时也极大地促进了科技的进步。
二、精密加工技术的研究方向1.纳米技术的应用目前，纳米技术正在成为精密加工技术研究的一个重点方向。
纳米技术的应用有很多，其中最为重要的一项是纳米加工技术，即利用纳米级刀具对超薄薄膜进行加工处理。
与传统机械加工相比，纳米加工的热影响区域小，加工精度高，其被广泛应用的领域包括光学、半导体、生命科学和制造业等。
2.智能加工技术的研究智能加工技术是一种结合机械加工、自动控制技术和信息技术的新型加工技术。
它通过建立数字化模型和智能控制系统来实现加工过程的自动化和优化。
随着计算机和信息技术的飞速发展，智能制造技术得到了快速的发展，成为现代加工技术的研究热点。
与传统机械加工相比，智能加工可以大大降低生产成本和劳动强度，提高生产效率和加工品质。
三、精密加工技术的应用领域1.航空航天领域精密加工技术在航空航天领域的应用十分广泛。
在飞机和火箭发动机的制造过程中，需要对各种材料进行复杂的加工处理。
由于加工精度和质量的要求极高，传统机械加工无法满足要求，因此需要采用精密加工技术。
例如，在发动机制造过程中，使用螺纹加工中心对轴承外圈进行加工时，可以实现高精度、高质量、高效率的加工，保证发动机的工作稳定和安全。
精密加工技术-概述
光整加工原理
光整加工的目的
光整加工的目的是提高工件表面质量，降低表面粗糙度，去除表 面划痕、微观裂纹等缺陷。
光整加工方法
光整加工方法包括研磨、抛光、刷光、超精加工等。根据工件的材 料和表面质量要求选择合适的方法。
光整加工材料与工具
光整加工中使用的材料和工具包括研磨剂、抛光轮、刷光轮等，其 质量和选择直接影响光整加工的效果。
精密加工技术在集成电路制造中发挥着重要作用，可以用于制造芯片和封装测试等环节，提高集成电 路的性能和可靠性。
电子元器件制造
精密加工技术可以用于制造各种电子元器件，如电容、电感、电阻等，提高元器件的精度和稳定性。
医疗器械领域的应用
人工关节制造
精密加工技术可以用于制造人工关节，如髋关节、膝关节等，提高关节的匹配度和使用 寿命。
加工过程的智能控制
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实时监测与反馈控制
通过传感器和检测设备实时监测加工过程，对加 工参数进行实时调整，提高加工精度和稳定性。
机器学习与人工智能
利用机器学习和人工智能技术对加工数据进行处 理和分析，实现加工过程的智能优化和控制。
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虚拟仿真与预测
通过虚拟仿真技术预测加工过程和结果，对加工 参数进行优化，减少试制和试验成本。
精密加工技术-概述
contents
目录
• 精密加工技术简介 • 精密加工技术的基本原理 • 精密加工的关键技术 • 精密加工技术的未来发展 • 精密加工技术的应用前景
01
精密加工技术简介
定义与特点
定义
精密加工技术是指在加工过程中 ，通过高精度和高效率的方法， 将原材料转化为具有特定形状、 尺寸和表面质量的产品的技术。
03
精密加工的关键技术
机械工程中的精密加工技术
机械工程中的精密加工技术在机械制造行业中，精密加工技术是一项至关重要的技术，它可以产生非常精确的零部件，最终用于制造高品质的机械设备。
随着科技的发展，精密加工技术也经历了很大的变化和发展。
在本文中，我们将介绍一些最常用的精密加工技术以及它们的应用领域。
1.数控加工技术数控加工技术是一种基于计算机控制的加工方法。
它将计算机的程序指令转换为机器工具的操作指令，以便在加工过程中控制加工工具的运动，并产生非常精确的零件和组件。
数字控制加工技术主要包括数控铣削、数控车削、数控电火花加工等。
数控加工技术最大的优点在于可靠性高、精度高、生产效率高、经济效益好。
它广泛应用于航空、航天、汽车、模具、机械、军工等行业。
2.激光加工技术激光加工技术是一种利用激光束来切割、雕刻、激光打标等加工方法。
激光加工技术应用广泛，除了可以加工金属、非金属等材料外，还可以替代传统加工方法完成非常复杂的零件制造。
激光加工技术主要有激光切割、激光打孔、三维激光切割、激光冲孔、激光抛光、激光微加工等，应用领域涵盖电子、通信、航空、医疗等领域，而且是一种高速度、高效率、低消耗、低废料的加工技术。
3.电火花加工技术电火花加工技术是利用电力与放电作用进行加工的一种高精度、高速度加工方法。
电火花加工技术可以加工各种硬度的材料，如金属、合金、非金属等，并且可以制造微小零部件。
电火花加工技术应用广泛，例如生产模具、复合材料、机械部件等。
由于其加工精度高、加工效率快、加工成本低、零件精度高等特点，所以在机械加工行业中得到了广泛的应用和推广。
C激光切割技术CNC激光切割技术是一种高精度的切割技术，该技术结合了数控加工技术和激光切割技术的优点，具有高效率，高精度，高可靠性等优点。
CNC激光切割技术广泛应用于各种材料的切割，如金属材料、非金属材料、泡沫材料等。
此外，在机械制造行业中，CNC激光切割技术也得到了广泛的应用，如机械制造、钣金制造等领域中的零部件制造。
细孔精密加工技术
细孔精密加工技术引言细孔精密加工技术是一种用于制造微小孔洞的高精度加工方法。
在许多行业中，如电子、光学、医疗和航空航天等领域，微小孔洞的制造对于产品性能和功能至关重要。
细孔精密加工技术的发展为这些行业提供了更高的生产效率和质量控制，因此在实际应用中得到了广泛应用。
细孔精密加工技术的原理细孔精密加工技术主要包括激光加工、电火花加工和电子束加工等方法。
1. 激光加工：激光加工是通过激光束的高能浓缩来进行加工的方法。
通过控制激光束的焦点和功率，可以在材料表面或内部产生微小孔洞。
这种方法具有非常高的精度和速度，适用于各种材料的加工。
2. 电火花加工：电火花加工是一种利用电热融化材料并通过电火花放电形成孔洞的加工技术。
通过控制电火花的强度和持续时间，可以实现精确的孔洞加工。
这种方法适用于导电材料和非导电材料的加工。
3. 电子束加工：电子束加工是一种利用高速电子束的能量来加工材料的方法。
通过控制电子束的位置和能量，可以在材料表面形成微小孔洞。
这种方法具有非常高的精度和无热影响区域，适用于高硬度和高熔点材料的加工。
细孔精密加工技术的应用细孔精密加工技术在许多行业中都有广泛的应用。
1. 电子行业：细孔精密加工技术在电子行业中用于制造微型零件和半导体器件。
例如，在集成电路的制造过程中，需要对硅片进行微小孔洞的制造，以实现电子元件的连接和通路。
2. 光学行业：细孔精密加工技术在光学行业中用于制造微型透镜和光纤。
透镜的微孔制造可以实现对光束的控制和聚焦，而光纤的微孔则可以实现光信号的传输和调制。
3. 医疗行业：细孔精密加工技术在医疗行业中用于制造医疗器械和植入物。
例如，在人工心脏的制造过程中，需要对心脏泵的外壳进行微小孔洞的制造，以实现血液的循环和氧合。
4. 航空航天行业：细孔精密加工技术在航空航天行业中用于制造航空发动机和火箭发动机的喷嘴。
喷嘴的微孔制造可以实现燃料的喷射和推力的调节，从而实现飞行器的控制和动力。
总结细孔精密加工技术是一种用于制造微小孔洞的高精度加工方法，具有广泛的应用前景。
精密加工技术
b.混粉加工方法
在放电加工液内混入粉末添加剂 ，以高速获得光泽面的加工方法称 之为混粉加工。该方法主要应用于 复杂模具型腔，尤其是不便于进行 抛光作业的复杂曲面的精密加工。 可降低零件表面粗糙度值，省去手 工抛光工序，提高零件的使用性能 （如寿命、耐磨性、耐腐蚀性、脱 模性等）。混粉加工技术的发展， 使精密型腔模具镜面加工成为现实 。
真空热处理炉已广泛采用了计算机 控制,目前已发展到真空化学热处理 和真空气淬热处理，包括高压真空 气淬、高流率真空气淬和高压高流 率真空气淬技术等。另外，激光热 处理技术在国外已广泛用于航空、 航天、电子、仪表等领域，如各种 复杂表面件、微型构件、需局部强 化处理构件、微型电子器件、大规 模集成电路的生产和修补、精密光 学元件、精密测量元件等。
4.数控电火花加工新工艺的应用
a.标准化夹具
数控电火花加工为保证极高的重 复定位精度且不降低加工效率，采用 快速装夹的标准化夹具。标准化夹具 ，是一种快速精密定位的工艺方法， 它的使用大大减少了数控电火花加工 过程中的装夹定位时间，有效地提升 了企业的竞争力。目前有瑞士的 EROWA和瑞典的3R装置可实现快速精 密定位。
5、抛光 是利用机械、化学、电 化学的方法对工件表面进行的一种微 细加工，主要用来降低工件表面粗糙 度，常用的方法有：手工或机械抛光 、超声波抛光、化学抛光、电化学抛 光及电化学机械复合加工等。手工或 机械抛光加工后工件表面粗糙度 Ra≤0.05µm，可用于平面、柱面、曲 面及模具型腔的抛光加工。超声波抛 光加工精度 0.01~0.02µm，表面粗糙 度Ra0.1µm。化学抛光加工的表面粗糙 度一般为Ra≤0.2µm。电化学抛光可提 高到Ra0.1~0.08µm。
模糊控制技术是由计算机监测来 判定电火花加工间隙的状态，在保持 稳定电弧的范围内自动选择使加工效 率达到最高的加工条件；自动监控加
第36节微机械及其微细加工技术
➢ 光开关、波分复用器、集成化RF组件、打印喷头
娱乐消费类
➢ 游戏棒、虚拟现时眼镜、智能玩具
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3.6 微机械及其微细加工技术
微机电技术已经受到工业发达国家的 高度重视。从微机电发展的总体水平看， 许多关键技术已经突破，正处于从实验 室研究走向实用化、产业化阶段。
• 美国国家自然科学基金、先进研究计划、 国防部等投资1.4亿美元进行微机电系统 技术的研究。
精度高，重量轻，惯性小。
2.性能稳定，可靠性高。 微机械器件体积极小，封装后几乎
可以摆脱热膨胀、噪声和挠曲等因素的 影响，具有较高的抗干扰性，可以在比 较恶劣的环境下稳定工作。
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3.6 微机械及其微细加工技术
3.能耗低，灵敏性和工作效率高（响应时 间短） 。 完成相同的工作，微机械所消耗的 能量仅为传统机械的十几或几十分之一， 却能以数十倍以上的速度运作。微机电 系统不存在信号延迟等问题，从而更适 合高速工作。
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3.6 微机械及其微细加工技术
2. MEMS在医疗和生物技术领域的应用 生物细胞的典型尺寸为1～10um，生
物大分子的厚度为纳米量级，长度为微 米量级。微型器件尺寸也在这范围之内， 因而适合操作生物细胞和生物大分子。 另外，临床分析化验和基因分析遗传诊 断所需要的各种微泵、微阀、微镊子、 微沟槽、微器皿和微流量计等。
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3.6 微机械及其微细技术加工
• 我国的微系统研究起步并不晚，目前从 事微机电系统研究的单位有60多个，主 要集中在高校、中科院及信息产业部的 研究所。已积累了一些基础技术，取得 了一些传感器和微执行器的研究经验和 科研成果，多数为实验室产品，商品化 工作刚刚起步，离产业化要求相距甚远。
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微细加工
1.精度表示方法
一般加工，其精度用误差尺寸与加工尺寸比值表示；微细加工，其精度用误 差尺寸绝对值表示。
在微细加工时，由于加工尺寸很小，引入了加工单位尺寸的概念。加工单位 尺寸简称加工单位，它表示去除材料的大小。例如，原子加工单位表示能去除一 个原子。显然，加工单位越小，可获得的精度就越高。
第三章 现代制造工程加工技术
SPM探针
介质中的分子 电化学作用区
偏置电压
电致刻蚀原理
第三章 现代制造工程加工技术
到目前为止，利用电脉 冲诱导氧化方法，已经在多 种半导体和金属（如Si，Cr， Nb，GaAs，Au和Ti等）表 面上，制备了所需的纳米结 构或器件。中国科学院分子 结构与纳米技术重点实验室 在氢钝化的p型Si（111）表 面上，利用此法刻蚀出了图 案清晰的中国科学院院徽。
第三章 现代制造工程加工技术
②微细加工刀具 微细切削加工一般采用单晶金刚石刀具。
各种单晶金刚石刀具
单晶金刚石铣刀刃形
第三章 现代制造工程加工技术
2. 微细车削加工
日本通产省工业技术院机械工程实验室（MEL）于1996年开发了世界上第 一台微型化的机床——微型车床。
世界第一台微细车床
车削轴的直径： 0.02mm
高的定位精度和重复定位精度，高平稳性的进给运动。
低热变形结构设计。
刀具的稳固夹持和高的安装精度。
高的主轴转速及动平衡。
稳固的床身构件并隔绝外界的振动干扰。
具有刀具破损检测的监控系统。
第三章 现代制造工程加工技术
C轴回转工作台 刀具 空气涡轮主轴 B轴回转工作台 X导轨 C 工件 Z导轨
B
空气油减振器
移动 完成
提取
放置
细微加工的特点及应用
细微加工的特点及应用细微加工是指通过采用精密的工艺和设备对原材料进行微小尺寸的加工处理的过程。
其特点包括：1. 高精度：细微加工需要达到高精度的要求，可以控制在微米甚至纳米级别。
这是通过使用高精密设备、工艺和精密测量工具来实现的。
2. 微小尺寸：细微加工的加工尺寸通常在微米或更小的范围内，需要对零件、工具和加工过程进行精确控制，以确保有效的加工完成。
3. 表面质量高：细微加工可以实现对零件表面的高质量加工。
通过控制工艺参数和使用合适的刀具，可以获得光滑、均匀的表面。
4. 加工效率低：细微加工通常需要更多的时间和努力来完成同样数量的零件。
这是由于加工尺寸小、精度高的特点所决定的。
细微加工具有广泛的应用领域，包括但不限于以下几个方面：1. 光电子学：在光电子学中，细微加工可以用于制造光学元件、微型激光器和光纤等。
通过精确的加工控制，可以获得高精度的光学元件，用于光纤通信、光栅测量等领域。
2. 微电子学：细微加工在微电子学领域中有着重要的应用。
通过细微加工，可以制造出微小的芯片、集成电路和导电薄膜等。
这些微小电子元件在电子产品和计算机中起着关键作用。
3. 生物医学：细微加工在生物医学领域中也有广泛的应用。
通过细微加工，可以制造出微型生物芯片、显微探针和微型手术工具等。
这些微小的生物医学器件可以实现快速、准确和无创的生物分析和治疗。
4. 纳米技术：细微加工在纳米技术领域也有重要的应用。
通过细微加工，可以制造出纳米级别的结构、纳米线和纳米颗粒等。
这些纳米材料可以应用于催化剂、传感器和纳米电子器件等领域。
5. 其他领域：细微加工还可以应用于其他领域，例如精密机械制造、航空航天、汽车制造和光学仪器制造等。
在这些领域中，细微加工可以帮助提高产品的精度、性能和可靠性。
总之，细微加工以其高精度、微小尺寸和优质表面的特点，在光电子学、微电子学、生物医学、纳米技术和其他领域中发挥着重要的作用。
随着工艺和设备的不断发展，细微加工将在更多领域中得到广泛应用，为人类创造更多的可能性。
分析现代机械制造工艺及精密加工技术的应用
分析现代机械制造工艺及精密加工技术的应用随着科技的进步和工业化的发展，现代机械制造工艺和精密加工技术在制造业中的应用越来越广泛。
这些技术使得产品制造更加高效、精确和可靠，同时也提高了产品质量和竞争力。
现代机械制造工艺的应用主要体现在以下几个方面：1. 数控技术：数控技术是一种以数字指令控制机床运动和加工工艺的技术。
它通过计算机编程来实现对机床的自动控制，可以实现复杂形状零件的加工。
数控技术提高了生产效率和加工精度，并且可以减少人力成本和人为误差。
2. 激光切割技术：激光切割技术利用激光束的高浓度能量来熔化、蒸发或气化工件的表面，从而实现对材料的切割。
激光切割技术具有切割速度快、精度高、变形小等优点，广泛应用于金属材料和非金属材料的加工中。
3. 焊接技术：现代机械制造中广泛采用的焊接技术包括电弧焊、激光焊、气体焊等。
这些技术能够实现高强度和高质量的焊接连接，广泛应用于金属结构制造、汽车制造、航空航天等领域。
4. 注塑成型技术：注塑成型技术是一种通过熔融注塑机将熔融塑料注入模具中，然后冷却硬化，最后取出成型产品的过程。
该技术可以实现复杂形状零件的快速制造，并具有成本低、生产效率高的优势。
1. 五轴数控加工技术：五轴数控加工技术是一种能够在多个方向上进行切削的数控加工技术。
它可以实现复杂曲面零件的高速加工，提高加工效率和精度。
2. 精密研磨技术：精密研磨技术是一种利用砂轮与工件之间的高速摩擦和切削来达到工件加工的技术。
它可以实现高表面质量和高精度的加工要求，广泛应用于精密部件的制造。
4. 激光刻蚀技术：激光刻蚀技术是一种通过激光束的局部熔化和蒸发来实现细微结构加工的技术。
它可以在各种材料上刻蚀出微米级的细节，广泛应用于微电子、光电子和精密仪器的制造。
现代机械制造工艺和精密加工技术的应用不断创新和发展，为产品制造提供了更多更好的选择。
它们在提高产品质量、降低成本、节约能源等方面发挥了重要作用，对制造业的发展和进步起到了推动作用。
精密和超精密加工技术第8章微细加工技术
微细加工的特点
微细加工作为精密加工领域中的一个极重要的关键技术， 目前有如下的几个特点： 1. 微细加工和超微细加工是多学科的制造系统工程； 2. 微细加工和超微细加工是多学科的综合高新技术； 3. 平面工艺是微细加工的工艺基础； 4. 微细加工技术和精密加工技术互补； 5. 微细加工和超微细加工与自动化技术联系紧密； 6.微细加工检测一体化。
微细加工机理
2．材料缺陷分布的影响
材料微观缺陷分布或材质不均匀性，可以归纳为以下几种情况： 1)晶格原子(～10-6mm) 在晶格原子空间的破坏就是把原子一个个去除。 2)点缺陷(10-6～10-4mm) 点缺陷就是在晶粒结构中存在着空位和填隙 原子。
点缺陷空间的破坏就是以点缺陷为起点来增加晶格缺陷的破坏。 3)位错缺陷(10-4～10-2mm) 位错缺陷就是晶格位移和微裂纹，它在晶体中
微机械由于具有能够在狭小空间内进行作业 而又不扰乱工作环境和对象的特点，在航空航 天、精密仪器、生物医疗等领域有着广阔的应 用潜力，受到世界各国的高度重视。
微小机械学发展
• 微机械涉及的基本技术主要有：微机械 设计；微机械材料；微细加工；集成技术； 微装配和封接；微测量；微能源；微系统 控制等。 • 微机械的制造和生产离不开微细加工技 术。
第八章 微细加工技术
第一节微细加工技术的出现
•制造技术是直接创造财富的基础，是国民经济 得以发展和制造业本身赖以生存的主体技术。 •现代制造技术的发展有两大趋势：一是向着自 动化、柔性化、集成化、智能化等方向发展， 使现代制造成为一个系统，即现代制造系统的 自动化技术；另一个就是寻求固有制造技术的 自身加工极限。 •微细加工技术是制造微小尺寸零件的加工技术。
机械的微型化及相关的制造技术
微细加工技术
微细加工概念 微细加工机理 微细加工方法 LIGA技术及准LIGA技术
微细加工技术应用 生物加工技术
6.1 微细加工技术概述
6.1.1 微细加工的概念
微细加工技术是指加工微小尺寸零件的生产加工技术。 从广义的角度来讲，微细加工包括各种传统精密加工方法和 与传统精密加工方法完全不同的方法，如切削加工，磨料加 工，电火花加工等。从狭义的角度来讲，微细加工主要是指 半导体集成电路制造技术。
6.2 微细加工机理
（4）晶界、空隙、裂纹（102 ～1）mm 它们的破坏是以缺陷 面为基础的晶粒破坏。 （5）缺口（1 mm 以上） 缺口空间的破坏是由于应力集中而 引起的破坏。
在微细切削去除 时，当应力作用的区 域在某个缺陷空间范 围内，则将以与该区 域相应的破坏方式而 破坏。图 6-1 为材料 微观缺陷分布情况。
较大，允许的切削深度 ap 较大。微细加工时，从强度和刚 度都不允许大的切削深度 ap，因此切屑很小。
6.1 微细加工技术概述
3. 加工特征 一般加工时，多以尺寸、形状、位置精度为加工特征。
精密和超精密加工也是如此，所用加工方法偏重于能够形成 工件的一定形状和尺寸。微细加工和超微细加工却以分离或 结合原子、分子为加工对象，以电子束、激光束、离子束为 加工基础，采用沉积、刻蚀、溅射、蒸镀等手段进行各种处 理。这是因为它们各自所加工的对象不同而造成的。
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6.1 微细加工技术概述
微小尺寸加工与一般尺寸加工的不同点： 1. 精度的表示方法
在微小尺寸加工时，由于加工尺寸很小，精度就必须用 尺寸的绝对值来表示，即用去除的一块材料的大小表示，从 而引入加工单位尺寸的概念。加工单位就是去除的一块材料 的尺寸。 2. 微观机理
机械制造中的精密加工与测量技术
机械制造中的精密加工与测量技术机械制造在现代工业生产中扮演着至关重要的角色，而精密加工和测量技术则是机械制造领域中需要掌握和应用的重要技能，因为制造高精度零件和产品需要这些技术的支持。
一、精密加工技术精密加工技术包括切削、磨削、抛光、电化学加工等多种加工方式，其中最为常用的是机械切削。
高精度的零件制造需要采用高精度的切削工具和稳定的切削条件，以实现尺寸和表面质量的控制。
此外，高速切削、超声波切削、磁场切削、光学切削等技术也是精密加工领域不断发展的热点，它们可以进一步提高切削效率和工件质量。
二、测量技术测量技术是机械制造中不可或缺的环节，可分为尺寸测量和形位误差测量两大类。
常用的测量工具包括千分尺、衡器、显微镜、高度计、投影仪等。
为了提高测量精度和重复性，汽车、航空、列车等工业领域的精密测量中心使用高精度的测量仪器和系统，例如激光干涉仪、三坐标测量机、精密测量显微镜等，这些仪器的精度可以达到亚微米甚至纳米级。
三、加工与测量技术的应用高精度的机械加工和测量技术是制造高端精密设备的必要条件。
例如，航空航天、汽车制造、半导体制造、生物医药等领域需要制造和检测精度高、质量好的高精度零件和设备，这些行业对高精度制造和测量技术的要求更高。
而金属、玻璃、陶瓷等材料的加工技术也需要涉及精密加工和测量技术。
在中国，高端制造是未来的发展方向，提高企业自主创新能力和研发能力对于推动我国制造业的高质量发展具有至关重要的作用。
因此，加工和测量技术的进一步提高和创新对于推动整个制造业的不断升级与发展有着重要意义。
结语机械制造中的精密加工和测量技术是制造高质量产品的保障，这些技术的应用也促进了机械制造和制造业的进步与发展。
在未来的制造业发展中，需要不断提高和创新这些技术，以满足市场和客户对于精度、质量和效率的不断提高的要求。
机械制造中的精密加工技术
机械制造中的精密加工技术
机械制造中的精密加工技术主要包括以下几种：
1. 数控加工技术：通过计算机程序控制机床运动轨迹，精确地加工零部件。
2. 高速加工技术：利用高速转速的刀具，使加工速度大大提高，从而提高生产效率。
3. 激光加工技术：利用激光束对工件进行切割、焊接、钻孔等精密加工。
4. 电火花加工技术：利用电火花放电的热能和化学能，对工件进行加工。
5. 磨削加工技术：利用磨削磨头对工件进行精密加工。
6. 压力加工技术：利用压力对金属板材进行冷加工，实现成型。
以上技术可以单独应用，也可以结合使用，以实现对精密机械设备的高精度、高效率、高质量加工。
此外，还有超精密加工技术，它是指加工精度在亚微米及更小范围内的一种加工技术，主要应用于制造高精度、高质量的微型零部件和光学元件。
常见的超精密加工工艺技术包括光刻技术、离子束刻蚀技术、磨削技术、激光加工技术、精密成型技术和电子束加工技术等。
这些技术通常结合使用，以实现更高精度和更复杂的加工任务。
同时，也需要依
靠高精度的机床和测量设备，以确保加工精度的稳定性和可靠性。
以上信息仅供参考，建议咨询专业人士获取更准确的信息。
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第2节 微细加工的概念及其特点
二、微细加工的特点
1.微细加工和超微细加工是一个多学科的制造系统工 程； 2.微细加工和超微细加工是一门多学科的综合高新技 术；
加工方法包括分离、结合、变形三大类。采用传统和非传统加工工艺。
3.平面工艺是微细加工的工艺基础；
平面工艺是制作半导体基片、电子元件和电子线路及其连线、封装等一整套 制造工艺技术，现在正在发展立体工艺技术，如光刻-电铸-模铸复合成型技 术。
位错线 滑移方向
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第3节 微细加工机理 二、材料缺陷分布对其破坏方式的影响
螺型位错
晶体右边的上部点相对于 下部的距点向后错动一个原 子间距，即右边上部相对于 下部晶面发生错动。若将错 动区的原子用线连接起来， 则具有螺旋型特征。这种线 缺陷称螺型位错。
位错线 滑移方向
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2)极小尺度、极大尺度和极端功能。
微细加工技术是指制造微小尺寸零件的加工技术。指 1mm以下的微细尺寸零件，加工精度为0.01-0.001mm。
微细加工属于精密加工范畴。
超 微 细 加 工 ： 1µm 以 下 超 微 细 尺 寸 零 件 ， 加 工 精 度 为 0.1-0.01µm。
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2.微观机理；
一般尺寸—吃刀量较大，忽视晶粒大小作为连续体看； 微细加工—吃刀量小于材料晶粒直径，晶粒看作不连续体。
3.加工特征。
一般尺寸—尺寸、形状、位置精度为加工特征； 微细加工—分离或结合原子、分子为加工对象，以电子束、离子束、激光束 三束加工为基础，采用沉积、刻蚀、溅射、蒸镀等手段进行。
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第3节 微细加工机理 二、材料缺陷分布对其破坏方式的影响
机械制造工艺学课件第7章 精密、超精密及微细加工工艺
第7章 精密、超精密及微细加工工艺
➢ 精密、超精密磨削和磨料加工
超精密磨削和磨料加工是利用细粒度的磨粒和微 粉主要对黑色金属、硬脆材料等进行加工，可分为固 结磨料和游离磨料两大类加工方式。
固结磨料加工主要有：超精密砂轮磨削和超硬材 料微粉砂轮磨削、超精密砂带磨削、ELID 磨削、双 端面精密磨削以及电泳磨削等。
第7章 精密、超精密及微细加工工艺
第7章 精密、超精密及微细加工工艺
7.1 概述
现代制造业持续不断地致力于提高加工精度和加
工表面质量，主要目标是提高产品性能、质量和可靠性
，改善零件的互换性，提高装配效率。超精密加工技术
是精加工的重要手段，在提高机电产品的性能、质量和
发展高新技术方面都有着至关重要的作用，因此，该技
第7章 精密、超精密及微细加工工艺
游离磨料类加工是指在加工时磨粒或微粉成游离状态，如研磨时的研磨 剂、抛光时的抛光液，其中的磨粒或微粉在加工时不是固结在一起的。 游离磨料加工的典型方法是超精密研磨与抛光加工。
① 超精密研磨技术
研磨是在被加工表面和研具之间置以游离磨料和润滑液，使被加工表面
和研具产生相对运动并加压，磨料产生切削、挤压作用，从而去除表面
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第7章 精密、超精密及微细加工工艺
② 超精密砂带磨削技术 随着砂带制作质量的迅速提高，砂带上砂粒的等高性和 微刃性较好，并采用带有一定弹性的接触轮材料，使砂 带磨削具有磨削、研磨和抛光的多重作用，从而可以达 到高精度和低表面粗糙度值。
砂带磨削机构示意图
8
第7章 精密、超精密及微细加工工艺
③ ELID（电解在线修整）超精密镜面磨削技术
术是衡量一个国家先进制造技术水平的重要指标之一，
精密加工超精密加工和细微加工
超净：在未经净化的一般环境下，尘 埃数量极大，绝大部分尘埃的直径小 于1µm，也有不少直径在1µm以上甚 至超过10µm的尘埃。这些尘埃如果落 在加工表面上，可能将表面拉伤；如 果落在量具测量表面上，就会造成操 作者或质检员的错误判断。因此，精 密加工和超精密加工必须有与加工相 对应的超净工作环境
则可达0.02µm 金刚石精密切削铜和铝时
v＝200~500m/min αp＝0.002~0.003mm f＝0.01~0.04mm/r。
18
2．精密磨削及金刚石超精密磨削 精密磨削是指加工精度为1~0.1m，
Ra为0.16~0.006m的磨削方法；而 超精密磨削则是指加工精度高于 0.1m，Ra<0.04 ~0.02m的磨削方 法
25
细微加工技术是指制造微小尺寸零 件、部件和装置的加工和装配技术， 属精密、超精密加工的范畴。其工 艺技术包括：精密和超精密的切削 与磨削方法；绝大多数的特种加工 方法；与特种加工有机结合的复合 加工方法等三类
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常用的细微加工方法及其应用参见 表5-15
电子束曝光光刻加工过程
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制和工艺过程优化等生产自动化技术
11
四、常用的精密加工和超精密加工和细 微加工方法
采用金刚石刀具对工件进行超精密的微 细切削和应用磨料磨具对工件进行珩磨、 研磨、抛光、精密和超精密磨削等
采用电化学加工、三束加工、超声波加 工等特种加工方法及复合加工
微细加工是指制造微小尺寸零件的生产 加工技术
IT5以上）、Ra<0.1µm的加工方法， 如金刚石车削、高精密磨削、研磨、 珩磨、冷压加工等
3
3．超精密加工 指加工精度在0.1µm ~0.01µm、Ra
细微加工特点及应用前景
细微加工特点及应用前景机自1006班 40号 **[摘要]：微细加工技术是现代加工技术手段的新发展,是二十一世纪关键技术之一。
本文介绍了微机械与微细加工技术的发展过程、技术特点以及相关理论基础，并具体阐述了微细加工技术的应用、发展的意义、存在的问题及发展要求。
[关键字]：微细加工微机械微机电发展前景随着20世纪80年代后期微机械、微机机电系统(Micro Electro Mechanical System,MEMS)这一门新兴交叉学科的兴起,微细加工技术作为获得微机械、微机电系统的必要手段,得到了快速的发展。
微细加工技术起源于平面硅工艺,但随着半导体器件、集成电路、微型机械等技术的发展与需求,微细加工技术已经成为一门多学科交叉的制造系统工程和综合高新技术, 广泛应用于医疗、生物工程、信息、航空航天、半导体工业、军事、汽车等领域,给国民经济、人民生活和国防、军事等带来了深远的影响,被列为21世纪关键技术之一。
1 细微加工的发展及特点1.1细微加工的发展过程现代制造技术的发展有两大趋势:一是向着自动化、柔性化、集成化、智能化等方向发展,另一个就是寻求固有制造技术的自身微细加工极限。
随着微/纳米科学与技术的发展,以微小形状尺寸或极小操作尺度为特征的微机械已成为人们在微观领域认识和改造客观世界的一种高新技术。
微机械由于具有能够在狭小空间内进行作业而又不扰乱工作环境和对象的特点,在航空航天、精密仪器、生物医疗等领域有着广阔的应用潜力,受到世界各国的高度重视。
美国国家科学基金会在二十世纪八十年代就把MEMS作为一项重点研究领域制定了资助研究计划并投入了大量的资金,美国宇航局、国防部先进研究计划署等单位也都先后在航空航天、军事领域展开了研究。
日本从1991年起启动了一项为期10年、耗资250亿日元的微型机械大型研究计划,分别用于医疗和航空、原子能工业,并投资3 000万美元筹建了一座“微型机器人中心”。
在欧洲,德国自1988年开始微加工10年项目,并首创了L IGA(德文Lithographie (制版术) , Galvanoformung (电铸成形) , Abformung(注塑)三个词的缩写)工艺,制作出微机械和微光学元件系统;法国1993年启动了“微系统与技术”项目;瑞士在其钟表制造行业和小型精密机械工业的基础上投入了MEMS的开发工作;英国政府制订了纳米科学计划。
工业制造中的精密加工技术
工业制造中的精密加工技术随着工业的发展，越来越多的产品需要精密加工技术来制造。
精密加工技术是一种高精度加工技术，可以制造出高精度、高性能的产品。
由于其精度高、质量好、效率高等优点，精密加工技术在各个行业中得到广泛应用。
一、精密加工技术的概念及分类精密加工技术是一种高精度、高效率的制造技术，主要包括数控加工、光学加工、化学加工、电子束加工、超声波加工等。
其中数控加工是最常用的精密加工技术之一。
它是一种基于数控系统的先进制造技术，可以实现复杂零件的生产制造。
数控加工主要包括铣削、车削、钻孔、切割等工艺。
二、数控加工技术的特点数控加工技术具有以下特点：1、高精度：数控加工技术采用数字化的控制方法，可以实现高精度的加工，精度可以达到0.01mm。
2、高效率：数控加工利用计算机控制系统，可以实现高效率的生产制造，一台数控加工中心可以同时进行多个工艺，大大提高了生产效率。
3、高可靠性：数控加工技术采用数字化的控制方法，可以避免由于人为因素导致的误差，提高了产品的可靠性。
4、灵活性好：数控加工可以实现不同形状和精度要求的产品制造，制造过程可以根据实际情况进行灵活调整。
5、成本低：相比传统加工方式，数控加工成本更低，可大大降低生产成本。
三、数控加工技术在工业制造中的应用数控加工技术广泛应用于机械加工、电子制造、航空航天、汽车制造等领域。
以机械加工为例，数控加工可以制造各种精度要求高、造型复杂的机械零件，如齿轮、曲轴、凸轮等。
数控加工还可以制造航空工业中的涡轮叶片、航空发动机中的各个零件等。
四、精密加工对制造业的推动作用精密加工技术的兴起推动了制造业的发展。
它不仅提高了产品的质量和效率，还极大地丰富了产品的种类和样式。
同时，精密加工技术也为工业制造提供了更多的机会和挑战。
制造企业需要不断学习和掌握先进的精密加工技术，以提高自身的竞争力。
五、结论精密加工技术是工业制造不可或缺的一部分。
它不仅提高了产品的质量和效率，还推动了制造业的发展。
微细加工技术资料
1超微机械加工 2光刻加工 3LIGA技术与准LIGA技术 4封接技术 5分子装配技术
2.3.2微细加工工艺方法 1超微机械加工
• 超微机械加工是指用精密金属切割、线切 割等方法制造毫米级尺寸以下的微机械微 零件，是一种三维实体加工技术，多是单 件加工，单件装配，费用价高。
微型弹簧
2.3.2微细加工工艺方法 2光刻加工
2.3.1微机械及其特征
1、微机械概念及应用
微机械技术涉及电子、电气、机械、材料、制造、信息与自动控制，以 及物理、化学、光学、医学、生物技术等多种工程技术和科学，并集约 了当今科学技术的许多尖端成果。
放在手提箱 里的机械厂
2.3.1微机械及其特征
1、微机械的基本特征
• • • • •
微机械按其尺寸特征可以分为： 1~10mm的微小机械； 1um~1mm的微机械； 1nm~1um的纳米机械。 而制造微机械采用的微细加工，又可以进一 步分为微米级微细加工、亚微米级微细加工 和纳米级微细加工等。
2.3.2微细加工工艺方法 2光刻加工
2.3.2微细加工工艺方法 2光刻加工
2.3.2微细加工工艺方法 3LIGA技术与准LIGA技术
• LIGA是德文Lithographie，Galanoformung和Abformung三个词， 即光刻、电铸和注塑的缩写。 • LIGA工艺是一种基于X射线光刻技术的MEMS加工技术，主要包括X 光深度同步辐射光刻，电铸制模和注模复制三个工艺步骤。由于X射 线有非常高的平行度、极强的辐射强度、连续的光谱，使LIGA技术能 够制造出高宽比达到500、厚度大于1500 μ m、结构侧壁光滑且平行 度偏差在亚微米范围内的三维立体结构。这是其它微制造技术所无法 实现的。LIGA技术被视为微纳米制造技术中最有生命力、最有前途的 加工技术。利用LIGA技术，不仅可制造微纳尺度结构，而且还能加工 尺度为毫米级的MEMS结构。 • 由于LIGA技术需要极其昂贵的X射线光源和制作复杂的掩模板，使其 工艺成本非常高，限制该技术在工业上推广应用。于是出现了一类应 用低成本光刻光源和(或)掩模制造工艺而制造性能与LIGA技术相当的 新的加工技术，通称为准LIGA技术或LIGA-like技术。
微细加工技术
微型机床
放在手提箱 里的机械厂
二、微细加工的特点
微细加工技术是指加工微小尺寸零件的生产加工技 术。从广义的角度来讲，微细加工包括各种传统精 从广义的角度来讲， 密加工方法和与传统精密加工方法完全不同的方法， 密加工方法和与传统精密加工方法完全不同的方法， 切削技术 磨料加工技术，电火花加工， 技术， 如切削技术，磨料加工技术，电火花加工，电解加 化学加工，超声波加工，微波加工，等离子体 工，化学加工，超声波加工，微波加工，等离子体 加工，外延生产，激光加工，电子束加工， 加工，外延生产，激光加工，电子束加工，粒子束 加工，光刻加工，电铸加工等。从狭义的角度来讲， 加工，光刻加工，电铸加工等。从狭义的角度来讲， 微细加工主要是指半导体集成电路制造技术， 微细加工主要是指半导体集成电路制造技术，因为 微细加工和超微细加工是在半导体集成电路制造技 术的基础上发展的， 术的基础上发展的，特别是大规模集成电路和计算 机技术的技术基础，是信息时代微电子时代， 机技术的技术基础，是信息时代微电子时代，光电 子时代的关键技术之一适当的溶剂里，将应去
除的光刻胶膜溶除干净，以获得刻蚀时所需要的光 刻胶膜的保护图形。显影液的选择原则是： 对需要去除的那部分胶膜溶解得快，溶解度大 对需要保留的那部分胶膜溶解度极小 同时，要求显影液内所含有害的杂质少，毒性小。 显影时间随胶膜的种类、膜厚、显影液种类、显影 温度和操作方法不同而异，一般由实验确定。
7、去胶
去胶就是在SiO2或其他薄膜上的图形刻蚀出 来后，把覆盖在基片上的胶膜去除干净。
四、微细加工技术的发展与趋势
加工方法的多样化 加工材料单纯的硅向各种类型的材料发展 提高微细加工的经济性 加快微细加工的机理研究
微型弹簧
扑翼式微飞行器
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第3节 微细加工机理 二、材料缺陷分布对其破坏方式的影响 3.面缺陷 面缺陷是指二维尺度很大而第三维尺度很小 的缺陷。
金属晶体中的面缺陷主要有晶界和亚晶界两种。 晶界和亚晶界均可提高金属的强度。晶界越多, 晶粒越细, 金属的塑性变形能力越大, 塑性越 好。
2013-8-10
晶界
实际金属为多晶体, 是由大量 外形不规则的小晶体即晶粒组成 的。每个晶粒基本上可视为单晶 体.一般尺寸为10-5～10-4m, 但 也有大至几个或十几个毫米的。 所有晶粒的结构完全相同, 但彼 此之间的位向不同, 位向差为几 十分、几度或几十度。
1.精密机械仪器仪表零件的微细加工
2.电子设备微型化和集成化的需求
微细加工是电子设备微型化和集成化的关键技术之一。 3.集成电路的制作技术 集成电路是电子设备微型化和集成化中的重要元件。 微细加工技术的出现和发展与集成电路密切相关。
2013-8-10
第2节 微细加工的概念及其特点 一、微细加工的概念 微细加工技术：广义上包含各种传统精密加 工方法和与传统精密加工方法完全不同的新方 法；狭义上，半导体集成电路制造技术。
磨料加工 （传统加工）
特种加工 （非传统加工）
复合加工 2013-8-10
结合加工
分 类 加工方法
蒸镀 分子束镀膜 分子束外延生长 离子束镀膜 电镀(电化学镀) 电铸 喷镀 离子束注入 氧化、阳极氧化 扩散 激光表面处理 电子束焊接 超声波焊接 激光焊接
可加工材料
金属 金属 金属 金属、非金属 金属 金属 金属、非金属 金属、非金属 金属 金属、半导体 金属 金属 金属 金属、非金属
电子半径2.8*10-12mm；质量9*10-29g； 能量几百万电子伏；可聚焦到直径11-发射阴极 2-控制栅极 3-加速 2µ m；能量密度可达109W/cm2。 阳极 4-聚焦系统 5-电子束斑点
2作台
(1)电子束的热效应及其加工 功率密度
电子束照射在工件表面上的功率密度
2.微观机理；
一般尺寸—吃刀量较大，忽视晶粒大小作为连续体看； 微细加工—吃刀量小于材料晶粒直径，晶粒看作不连续体。
3.加工特征。
一般尺寸—尺寸、形状、位臵精度为加工特征； 微细加工—分离或结合原子、分子为加工对象，以电子束、离子束、激光束 三束加工为基础，采用沉积、刻蚀、溅射、蒸镀等手段进行。
2013-8-10
缺口(1mm以上) 拉应力集中引起破坏
2013-8-10
第3节 微细加工机理 三、各种微细加工方法的加工机理
分 类 加工机理
化学分解（气体、液体、固体） 电解（液体） 蒸发（真空、气体） 扩散（固体） 熔化（液体） 溅射（真空）
化学附着 化学结合 电化学附着 电化学结合 热附着 扩散结合 熔化结合 物理附着 注入
第8章 微细加工技术
8.1 微细加工技术的出现 8.2 微细加工的概念及其特点 8.3 微细加工机理 8.4 微细加工方法 8.5 集成电路与印制线路板制作技术
2013-8-10
第1节 微细加工技术的出现 一、制造技术自身加工的极限
现代制造技术的两大发展趋势：
1)自动化、柔性化、集成化、智能化等方向发展--制 造系统自动化；
应
用
附着加工
镀膜、半导体器件 镀膜、半导体器件 半导体器件 干式镀膜、半导体器件、刀具、工具 电铸型、图案成形、印制线路板 喷丝板、栅网、网刃、钟表零件 图案成形、表面改性 半导体掺杂 绝缘层 掺杂、渗碳、表面改性 表面改性、表面热处理 难熔金属、化学性能活泼金属 集成电路引线 钟表零件、电子零件
注入加工
间隙原子
位于晶格间隙之中的原 子叫间隙原子。间隙原 子会造成其附近晶格的 很大畸变。
2013-8-10
第3节 微细加工机理 二、材料缺陷分布对其破坏方式的影响 异类原子
任何纯金属中都或多或少会存在杂质, 即其它元素, 这些原子 称异类原子(或杂质原子)。当异类原子与金属原子的半径接近时, 则异类原子可能占据晶格的一些结点; 当异类原子的半径比金属 原子的半径小得多, 则异类原子位于晶格的空隙中, 它们都会导 致附近晶格的畸变。
2)极小尺度、极大尺度和极端功能。
微细加工技术是指制造微小尺寸零件的加工技术。指 1mm以下的微细尺寸零件，加工精度为0.01-0.001mm。
微细加工属于精密加工范畴。
超微细加工：1µm以下超微细尺寸零件，加工精度为 0.1-0.01µm。
2013-8-10
第1节 微细加工技术的出现 二、微细加工出现的历史背景
整体微细加工技术：用各种微细加工方法在 集成电路基片上制造出各种微型运动机械，即 微型机械和微型机电系统。
2013-8-10
第2节 微细加工的概念及其特点 一、微细加工的概念
微小尺寸加工与一般尺寸加工的不同点： 1.精度的表示方法；
一般尺寸—加工误差与加工尺寸的比值(精度比率)表示； 微细加工—尺寸的绝对值表示，即用加工单位尺寸(简称加工单位，去除的 一块材料的大小) 表示。 如：微细加工0.01mm尺寸零件采用微米加工单位；加工微米零件尺寸采用亚 微米加工单位；超微细加工采用纳米加工单位。
结合加工
2013-8-10
变形加工
加工方法
压力加工 铸造(精铸、压铸)
可加工材料
金属 金属、非金属
应
用
板、丝的压延、精冲、拉拔、挤压、波导管、衍射光栅 集成电路封装、引线
2013-8-10
第4节 微细加工方法 二、微细加工的基础技术 1.电子束加工
电子束加工 （electron beam machining， EBM） 是在真空条件下，利用电子枪 中产生的电子经加速、聚焦后能量密 度为106 ～109w/cm2 的极细束流高速 冲击到工件表面上极小的部位，并在 几分之一微秒时间内，其能量大部分 转换为热能，使工件被冲击部位的材 料达到几千摄氏度，致使材料局部熔 化或蒸发，来去除材料。
单位面积的切削阻力非常大；
切削刃上所承受的剪切应力也非常大。
微细切削时用金刚石刀具进行切削
2013-8-10
第3节 微细加工机理 二、材料缺陷分布对其破坏方式的影响 1.点缺陷 点缺陷指在三维尺度上都很小的, 不超过几个 原子直径的缺陷。
点缺陷造成局部晶格畸变, 使金属的电阻率、 屈服强度增加, 密度发生变化。
2013-8-10
第3节 微细加工机理 二、材料缺陷分布对其破坏方式的影响 空位
在晶体晶格中, 若某结点 上没有原子, 则这结点称 为空位。空位附近的原子 会偏离正常结点位臵, 造 成晶格畸变。空位的存在 有利于金属内部原子的迁 移(即扩散)。
2013-8-10
第3节 微细加工机理 二、材料缺陷分布对其破坏方式的影响
q VI / r
2
q-功率密度(W/cm2); V-工作电压(V); I-电流(A); r-电子束斑半径。
2013-8-10
饱和温度：电子束连续照 射无限长时，中心部分达 到热平衡温度。
基准时间：使电子束照射区
2013-8-10
第3节 微细加工机理 二、材料缺陷分布对其破坏方式的影响
破坏方式
晶格原子(-10-6mm) 在晶格原子空间的破坏是把原子一个 一个去除； 空位和填隙原子(10-6-10-4mm) 点缺陷空间的破坏是以点 缺陷为起点来增加晶格缺陷的破坏; 晶格位移和微裂纹(10-4-10-2mm) 位错缺陷，通过位错线 的滑移或微裂纹引起晶体内滑移变形 晶界、空隙和裂纹(10-2-1mm) 面缺陷，晶粒间破坏
第2节 微细加工的概念及其特点 二、微细加工的特点
1.微细加工和超微细加工是一个多学科的制造系统工 程； 2.微细加工和超微细加工是一门多学科的综合高新技 术；
加工方法包括分离、结合、变形三大类。采用传统和非传统加工工艺。
3.平面工艺是微细加工的工艺基础；
平面工艺是制作半导体基片、电子元件和电子线路及其连线、封装等一整套 制造工艺技术，现在正在发展立体工艺技术，如光刻-电铸-模铸复合成型技 术。
2013-8-10
第3节 微细加工机理 二、材料缺陷分布对其破坏方式的影响
2.线缺陷 线缺陷指两维尺度很小而第三维尺度很大的缺陷。 这就是位错, 由晶体中原子平面的错动引起 。位 错有两种。
2013-8-10
第3节 微细加工机理 二、材料缺陷分布对其破坏方式的影响 刃型位错
在金属晶体中，由于某种原因， 晶体的一部分相对于另一部分出现 一个多余的半原子面。这个多余的 半原子面犹如切入晶体的刀片，刀 片的刃口线即为位错线。这种线缺 陷称刃型位错。半原子面在上面的 称正刃型位错, 半原子面在下面的 称负刃型位错。
晶粒与晶粒之间的接触界面叫做 晶界。晶界在空中呈网状；晶界
1Cr17不锈钢的多晶体
上原子的排列规则性较差。
2013-8-10
晶界原子排列的示意图
亚晶界
晶粒也不是完全理想的晶体， 而是由许多位向相差很小的所 谓亚晶粒组成的。晶粒内的亚 晶粒又叫晶块(或嵌镶块)。亚 晶粒之间的位向差只有几秒、 几分，最多达1～2度。亚晶粒 之间的边界叫亚晶界。亚晶界 是位错规则排列的结构。例如， 亚晶界可由位错垂直排列成位 错墙而构成。亚晶界是晶粒内 的一种面缺陷。
应
用
切削加工 （传统加工）
熔断钼、钨等高熔点材料，硬质合金 球，磁盘，反射镜，多面棱镜 油泵油嘴，化学喷丝头，印刷电路板 集成电路基片的外圆、平面磨削 平面、孔、外圆加工，硅片基片 平面、孔、外圆加工，硅片基片 硅片基片 刻槽，切断，图案成形，破碎 孔，沟槽，狭缝，方孔，型腔 切断，切槽 模具型腔，大空，切槽，成形 刻模，落料，切片，打孔，刻槽 在玻璃、红宝石、陶瓷等上打孔 打孔，切割，光刻 成形表面，刃磨，割蚀 打孔，切断，划线 划线，图形成形 刃磨，成形，平面，内圆 平面，外圆，型面，细金属丝，槽 平面