电容加速度计的接口电路

电容加速度计的接口电路
Mark Van Paemel;吴庆红
【期刊名称】《压电与声光》
【年(卷),期】1991(13)3
【摘要】电容硅微型加速度计可以采用静电力平衡结构来构成。

这种闭合回路结构可通过改变反馈因数形成不同的测量范围。

这样,用同一个加速度计可以测量从1μg—1g的输入加速度;同时可以包含一个调节器电路来修整闭环频率响应,从而达到理想的带宽与阻尼因数。

接口电路起开关电容器电路的作用,它以±5V双电源工作。

给出了一个数值例子来说明这一理论。

【总页数】5页(P46-49)
【关键词】加速度计;接口电路;电容加速度计
【作者】Mark Van Paemel;吴庆红
【作者单位】瑞士电子及微技术中心协会
【正文语种】中文
【中图分类】TH824.4
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