平晶使用平面平晶使用方法
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平晶使用
Webon快速平面度检测一．首先采用平面检测仪器
对研磨后的器件平面采用平面度检测仪定初步精度
如研磨后的器件达到5um以内可以用平晶进行检测
未达到继续研磨器件可以不用下盘。
FG-5 检测120以内
FG-7 检测170以内
FG-9 检测220以内
FG-30 检测650以内
二达到5um以内用平面平晶体检测
．首先看是否有条纹。
是否合格
以300的密封器件为例的。
检测的整个面必须首先看到同心圆才合格
2um的面型精度整个面的同心圆条纹小于3个
1个同心圆条纹精度大于在
3个就是左右
也就是说必须是小于3个的同心圆条纹才合格。
N<3
Cdw-30I30mmΦ3015mm
Cdw-45I45mmΦ4515mm
Cdw-60I60mmΦ6020mm
Cdw-80I80mmΦ8020mm
Cdw-100I100mmΦ10025mm
Cdw-150I150mmΦ15030mm
Cdw-200I200mmΦ20040mm
Cdw-250I250mmΦ25045mm
Cdw-300I300mmΦ30045mm
Cdw-350I350mmΦ35045mm
CDX-ML18 CDX-ML30
三。
以下是检测中会出现的问题。
条纹非常密集。
两种情况。
1. 加工出得元件精度远远不够。
2. 平晶和元件之间有异物灰尘没处理干净
条纹非常乱
情况是加工的研磨盘凹凸不平不在一个平面上。
元件研磨后整个面就是乱的、
同心圆条纹圈数太多。
情况是元件精度还不达标继续研磨直到圆圈数少于3个。
以上的假设的情况现场情况有变化请及时联系我们
成都威博恩科技有限公司
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