RF MATCHING BOX
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MATCHER基本知识
什么是什么是vswrvswrmatcher基本知识matchermatcher的基本原理的基本原理matcher基本知识11为什么需要matcher12matcher的基本构成13matcher的重要指标11为什么需要matcher?阻抗匹配是微波电子学里的一部分主要用于传输线上来达至所有高频的微波信号皆能传至负载点的目的不会有信号反射回源点从而提升能源效益
1.1为什么需要matcher
•阻抗匹配是微波电子学里的一部分，主要用于传输线上，来达至所有高频的微 波信号皆能传至负载点的目的，不会有信号反射回源点，从而提升能源效益。
•Generator的阻抗=matcher的阻抗+chamber的阻抗
Generator的阻抗为固定的50Ω， chamber的阻抗由在腔体内反应时的压力、温 度、工艺等决定(但是在一定范围之内)，matcher的阻抗由电容、电感等
MATCHER 基本知识
1. MATCHER的基本原理 2. Generator 到Matcher再到Chamber 3.什么是VSWR
MATCHER基本知识
1. MATCHER的基本原理
1.1为什么需要matcher 1.2matcher的基本构成 1.3matcher的重要指标
MATCHER基本知识
RF Generator
Forward power
Matcher
Chamber
Reflect power
Zg=50Ω
Zm+Zch=50Ω
MATCHER基本知识
1.2matcher的基本构成
RF Gen
Control B/d
Sensor B/d
L和C
Chamber
MATCHER基本知识
1.3mห้องสมุดไป่ตู้tcher的重要指标
•匹配时间 •互锁装置 •噪音干扰 •报警信息
MATCHER基本知识
3.什么是VSWR
1.驻波比全称为电压驻波比，又名VSWR,为英文Voltage Standing Wave Ratio的简写。 2.在无线电通信中，天线与馈线的阻抗不匹配或天线与发信机的阻抗不匹 配，高频能量就会产生反射折回，并与前进的部分干扰汇合发生驻波。为 了表征和测量天线系统中的驻波特性，也就是天线中正向波与反射波的情 况，人们建立了“驻波比”这一概念。 3.SWR=R/r=(1+K)/(1-K) 反射系数K=(ZL-Zo)/(ZL+Zo) (K为负值时表明相位相反)式中ZL是输入阻抗, Zo是输出阻抗。 当两个阻抗数值一样时，即达到完全匹配，反射系数K等于0，驻波比为1。
什么是什么是vswrvswrmatcher基本知识matchermatcher的基本原理的基本原理matcher基本知识11为什么需要matcher12matcher的基本构成13matcher的重要指标11为什么需要matcher?阻抗匹配是微波电子学里的一部分主要用于传输线上来达至所有高频的微波信号皆能传至负载点的目的不会有信号反射回源点从而提升能源效益
1.1为什么需要matcher
•阻抗匹配是微波电子学里的一部分，主要用于传输线上，来达至所有高频的微 波信号皆能传至负载点的目的，不会有信号反射回源点，从而提升能源效益。
•Generator的阻抗=matcher的阻抗+chamber的阻抗
Generator的阻抗为固定的50Ω， chamber的阻抗由在腔体内反应时的压力、温 度、工艺等决定(但是在一定范围之内)，matcher的阻抗由电容、电感等
MATCHER 基本知识
1. MATCHER的基本原理 2. Generator 到Matcher再到Chamber 3.什么是VSWR
MATCHER基本知识
1. MATCHER的基本原理
1.1为什么需要matcher 1.2matcher的基本构成 1.3matcher的重要指标
MATCHER基本知识
RF Generator
Forward power
Matcher
Chamber
Reflect power
Zg=50Ω
Zm+Zch=50Ω
MATCHER基本知识
1.2matcher的基本构成
RF Gen
Control B/d
Sensor B/d
L和C
Chamber
MATCHER基本知识
1.3mห้องสมุดไป่ตู้tcher的重要指标
•匹配时间 •互锁装置 •噪音干扰 •报警信息
MATCHER基本知识
3.什么是VSWR
1.驻波比全称为电压驻波比，又名VSWR,为英文Voltage Standing Wave Ratio的简写。 2.在无线电通信中，天线与馈线的阻抗不匹配或天线与发信机的阻抗不匹 配，高频能量就会产生反射折回，并与前进的部分干扰汇合发生驻波。为 了表征和测量天线系统中的驻波特性，也就是天线中正向波与反射波的情 况，人们建立了“驻波比”这一概念。 3.SWR=R/r=(1+K)/(1-K) 反射系数K=(ZL-Zo)/(ZL+Zo) (K为负值时表明相位相反)式中ZL是输入阻抗, Zo是输出阻抗。 当两个阻抗数值一样时，即达到完全匹配，反射系数K等于0，驻波比为1。