真空系统指标实现途径及检测方法

真空系统指标实现途径及检测方法
一、真空获得的方法可分成以下三类。

（1）利用机械力的真空泵；
（2）利用蒸汽喷射的真空泵；
（3）利用表面现象的真空泵。

各种泵可能达到的压力和抽速是组成真空系统所必须的。

另外，欲获得高的真空度，适当的使用多台泵是必要的。

超高真空状态的实现单用泵来抽是不行的，表面吸附的气体要烘烤除气或放电情况是必要的。

极高真空的获得要使用低温泵，对于真空容器的材料的选择和内壁的处理是必不可少的。

水环真空泵属于机械泵，以水或其它液体作为工作液，
极限真空3.3kPa，配套罗茨真空泵使用，真空度可达到10Pa，属于低真空泵。

主要应用于电力、采矿、化工、制药、造纸、塑料等行业。

二、真空的压力测定方法
在较高压力时（105～1Pa）利用压力差U型管压力计，麦克劳真空计，薄膜计，弹簧管压力计等。

在103～10-2Pa的中间压力范围，利用气体性质（热传导，粘性）的变化而做成的皮氏计、粘性真空计。

在低压力时，使用将气体分子电离而测量的电离真空计。

水环真空泵的压力范围105～10Pa，主要采用弹性变形真空计、机械式隔膜真空计测量压力。

根据工况需要，可配置智能型压力变送器，输出电信号，可远程检测压力值，并参与控制。