装置结构及其制造方法[发明专利]

专利名称：装置结构及其制造方法专利类型：发明专利
发明人：不公告发明人
申请号：CN201510829167.3申请日：20151124
公开号：CN105355556A
公开日：
20160224
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本发明公开了装置结构及其形成方法。

霍尔效应装置和场效晶体管形成为包含碳基纳米结构层，例如碳纳米管和/或石墨烯，其上形成有牺牲金属层，以在处理期间保护碳基纳米结构层。

申请人：青岛金智高新技术有限公司
地址：266000 山东省青岛市市北区山东路109号璟台3号楼3102
国籍：CN
代理机构：青岛申达知识产权代理有限公司
代理人：蒋遥明
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