一种涂胶机[发明专利]

专利名称：一种涂胶机
专利类型：发明专利
发明人：宋双
申请号：CN201711155775.6申请日：20171120
公开号：CN109807003A
公开日：
20190528
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本发明属于半导体制程中喷胶技术领域，特别涉及一种涂胶机。

包括涂胶平台、二维运动平台、喷嘴I、吊臂、喷嘴II、盘体I及盘体II，其中二维运动平台、盘体I及盘体II均设置于涂胶平台上，吊臂设置于二维运动平台上、并且两端分别与喷嘴I和喷嘴II连接，喷嘴I和喷嘴II分别与盘体I和盘体II相对应。

本发明通过吊臂连接两个喷嘴，两个喷嘴分别对应两个盘体，当两盘体均被放置晶圆后即可开始作业，满足同时喷涂两片晶圆的需要，提高产能。

申请人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司
地址：110168 辽宁省沈阳市浑南区飞云路16号
国籍：CN
代理机构：沈阳科苑专利商标代理有限公司
代理人：何丽英
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