辉光离子氮化炉作业指导书

辉光离子氮化炉作业指导书

Q/SZ J08.142

1 目的

为贯彻公司职业健康安全方针、环境方针，有效的进行安全生产并控制污染物的产生和排放，保护环境，特制定本作业指导书。

2 适用范围

本作业指导书适用于LD-150型辉光离子氮化炉的操作。

3 总则

3.1．作业者必须熟练掌握本作业指导书的所有内容，经考试合格后，取得上岗证，方可进行独立操作。

3.2．经医生检查，确定无防碍工作的疾病，才能上岗作业。

3.3．当氨气管路泄漏时，必须戴好面具进行处理。

4 操作规程

4.1．开动设备前应首先检查真空系统是否漏气，保证压升率（0.13Pa/min）。检查水路保证水压≥0.15MPa，阴阳极绝缘电阻大于0.5MΩ。

4.2．开动设备按下列顺序操作：

4.2.1先给变压器一次送电（即原送电柜按钮合上）。

4.2.2然后合控制盘上的“系统启动”空气开关（白色）。

4.2.3打开真空泵1、真空泵2、使炉体抽气。

4.2.4在真空度≤50Pa时，先合上高压按钮，调整电压给定旋钮检查电控柜输出电压0-850V连续可调，是否正常；如正常，可将电压旋钮调至0V。

4.2.5在确定上述正常后，先合上电阻1、将电流给定旋钮调整到2V，然后缓慢调整电压旋钮，开始进入起辉、打弧工作状态，此时应视打弧的程度大小做适当调整电流电压。

4.2.6在进入辉光稳定起辉状态后，或通入适当氨气（0.3升/分钟），并调整电流电压，进入升温阶段后，或电流超过80A时，应将电阻1关掉，电流回0，再开启电阻2重新起辉工作（升温速度按工艺执行）。

4.2.7炉内出现频繁打弧，应首先关小电流，观察炉内情况后，方可继续升温出现打死弧、报警及其它异常现象时，可作紧急情况处理，立即关断高压或按“紧急停止”按钮（此按钮再次复位时应按方向旋转）。

4.3．温度设定：零件进入保温状态后，操作者人工目测工件温度，然后按工艺参数设定温度，按▲或键就可以方便地设定温度。零件到温前应正确调整流量0.8-1升/分，并调整炉压，使炉内工件温度保持均匀，各部温差不超过10℃。

4.4．氨气流量的设定及炉内压力设定应视零件复杂状况及工艺情况由操作者灵活掌握。其原则是通过调整炉压，使工件各部温度达到均匀。

4.5．冷却循环水的使用，应在保证炉体冷却效果的前提下，尽可能使用循环水，以节约用水。开炉后一定时期内应在炉体温度为40℃时再开启冷却水，以利于工件的升温。在调整水温时应观察进水口温度表，应≤40℃为合适。

4.6．停炉：在保温时间到后，应有以下两种停炉状态。① 如工件复杂，有变形要求，停炉时，应在保持有辉光的状态下，小电流保持2小时（氨气流量关掉）后关断高压，停止真空泵，继续通冷却水；② 如果对变形要求不严，工件不复杂，可直接关闭电源，关闭氨气，关闭真空泵（工艺有要求的，按工艺执行）。

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4.7．注意事项：

4.7.1.停炉后，炉体抽真空状态保持。

4.7.2冬季防寒，将炉体真空泵水放掉，水路通少量水排放防止冻坏。

4.7.3.在装卸炉体时，应用木快垫炉体的密封部防止碰坏密封面。

4.7.4.在开动小氮化炉时，将热电偶、真空泵、测压传感器、阴极接线，切换到小氮化炉工作状态，其它操作已与以上操作规程相同。

4.7.

5.清洗工件用的汽油要妥善管理，防止发生火灾。擦洗用过的废油刷子、抹布不能随处乱扔，防止污染环境。废真空泵油用后倒入打淬火油池内。

4.7.6.在清洗工件的作业现场，3米之内严禁进行电焊、气焊作业，防止发生火灾。

4.7.7.在真空泵工作过程中，要经常检查排气管路是否泄漏，防止污染环境。

附加说明：

本作业指导书由XXX有限责任公司安技环保处提出

本作业指导书由XXX有限责任公司安技环保处负责起草

本作业指导书起草人：

本作业指导书审核：

本作业指导书批准:

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