莱宝氦质谱仪中文操作说明书

目录
1. 一般介绍 ...........................................................................................................................................
1.1 本手册使用中的注释......................................................................................................................
1.1.1 安全符号 ......................................................................................................................................
1.1.2 表示法 ..........................................................................................................................................
1.1.3 真空工艺符号 ..............................................................................................................................
1.1.4 术语定义 ......................................................................................................................................
1.2 莱宝的服务支持 .............................................................................................................................
1.3 引言 .................................................................................................................................................
1.3.1 用途 ..............................................................................................................................................
1.3.2 技术数据 ......................................................................................................................................
1.3.
2.1 PhoeniXL300物理数据 .............................................................................................................
1.3.
2.2 电气数据 ...................................................................................................................................
1.3.
2.3 其它数据 ...................................................................................................................................
1.3.
2.4 环境 ...........................................................................................................................................
1.3.
2.5 PhoeniXL300 dry物理数据.......................................................................................................
1.3.
2.6 电气数据 ...................................................................................................................................
1.3.
2.7 其它数据 ...................................................................................................................................
1.3.
2.8 环境 ...........................................................................................................................................
1.3.
2.9 PhoeniXL300 Modul物理数据..................................................................................................
1.3.
2.10 电气数据 .................................................................................................................................
1.3.
2.11 其它数据..................................................................................................................................
1.3.
2.12 环境 .........................................................................................................................................
1.4 拆箱 .................................................................................................................................................
1.4.1 提供的设备 ..................................................................................................................................
1.4.2 附件和选用件 ..............................................................................................................................
1.4.
2.1 吸气线SL300 ............................................................................................................................
1.4.
2.2 手机 ...........................................................................................................................................
2. 安装 ...................................................................................................................................................
2.1 工作场所 .........................................................................................................................................
2.2 电气连接 .........................................................................................................................................
2.2.1 系统供电 ......................................................................................................................................
2.2.2 数据采集系统的连接...................................................................................................................
2.2.2.1 选项（附件）............................................................................................................................
2.2.2.2 数字输出 ...................................................................................................................................
2.2.2.3 数字输入 ...................................................................................................................................
2.2.2.4 记录器 .......................................................................................................................................
2.2.2.5 RS232..........................................................................................................................................
2.2.2.6 手机 ...........................................................................................................................................
2.3 真空连接 .........................................................................................................................................
2.3.1 吸入口 ..........................................................................................................................................
2.3.2 排气口 ..........................................................................................................................................
2.3.3 放气 ..............................................................................................................................................
2.3.4 气镇连接 ......................................................................................................................................
2.4 缺省设置 .........................................................................................................................................
3. 首次运行检查 ...................................................................................................................................
3.1 必须的设备 .....................................................................................................................................
3.2 初次运行概述 .................................................................................................................................
3.2.1 启动和测量 ..................................................................................................................................
3.2.2 内部校准 ......................................................................................................................................
3.2.3 检验 ..............................................................................................................................................
4. 工作原理 ...........................................................................................................................................
4.1 引言 .................................................................................................................................................
4.1.1 PhoeniXL300真空系统 ................................................................................................................
4.1.1.1 PhoeniXL300 dry真空系统.......................................................................................................
4.1.1.2 PhoeniXL300 Modul真空系统..................................................................................................
4.1.2 控制面板 ......................................................................................................................................
4.1.2.1 液晶显示器 ...............................................................................................................................
4.1.2.2 START（启动）按钮 ................................................................................................................
4.1.2.3 STOP（停止）按钮...................................................................................................................
4.1.2.4 ZERO（调零）按钮 ..................................................................................................................
4.1.2.5 MENU（莱单）按钮.................................................................................................................
4.1.2.6 软键 ...........................................................................................................................................
4.1.2.7 数字输入 ...................................................................................................................................
4.1.3 真空法 ..........................................................................................................................................
4.1.4 分流法 ..........................................................................................................................................
4.1.5 吸气模式 ......................................................................................................................................
4.1.6 手机控制 ......................................................................................................................................
4.1.7 手机上显示器 ..............................................................................................................................
5. Phoenix的使用 ..................................................................................................................................
5.1 显示器 .............................................................................................................................................
5.2 起动模式下屏幕 .............................................................................................................................
5.3 待机模式下显示器..........................................................................................................................
5.3.1 气镇 ..............................................................................................................................................
5.4 测量模式下屏幕 .............................................................................................................................
5.4.1 调出校准 ......................................................................................................................................
5.4.2 扬声器音量 ..................................................................................................................................
5.4.3 显示器上状态行...........................................................................................................................
5.4.4 数字显示模式 ..............................................................................................................................
5.4.5 趋势模式 ......................................................................................................................................
6. 莱单简介 ...........................................................................................................................................
6.1 主菜单 ..............................................................................................................................................
6.2 视图 .................................................................................................................................................
6.2.1 标尺线性/对数 .............................................................................................................................
6.2.2 显示范围自动/手动 .....................................................................................................................
6.2.3 时间轴 ..........................................................................................................................................
6.2.4 对比度 ..........................................................................................................................................
6.2.5 待机模式下本底...........................................................................................................................
6.2.6 显示下限 ......................................................................................................................................
6.3 模式 .................................................................................................................................................
6.4 触发器和报警 .................................................................................................................................
6.4.1 触发电平1 ...................................................................................................................................
6.4.2触发电平2 ....................................................................................................................................
6.4.3触发电平3 ....................................................................................................................................
6.4.4 单位 ..............................................................................................................................................
6.4.5 音量 ..............................................................................................................................................
6.4.6 报警延迟 ......................................................................................................................................
6.4.7 音频报警类型 ..............................................................................................................................
6.4.
7.1 定点 ...........................................................................................................................................
6.4.
7.2漏率比 ........................................................................................................................................
6.4.
7.3设置点 ........................................................................................................................................
6.4.
7.4 触发报警 ...................................................................................................................................
6.5 校准 .................................................................................................................................................
6.6 设置 .................................................................................................................................................
6.6.1 真空设置 ......................................................................................................................................
6.6.1.1 放气延迟 ...................................................................................................................................
6.6.1.2 真空范围 ...................................................................................................................................
6.6.1.3 分流设备 ...................................................................................................................................
6.6.1.4 吸气因子 ...................................................................................................................................
6.6.1.5 机器因子 ...................................................................................................................................
6.6.1.6 内部测试漏孔漏率....................................................................................................................
6.6.2 过滤器和本底 ..............................................................................................................................
6.6.2.1 计算吸入口区段本底................................................................................................................
6.6.2.2 本底抑制 ...................................................................................................................................
6.6.2.3 漏率过滤器 ...............................................................................................................................
6.6.3 质量 ..............................................................................................................................................
6.6.4 接口 ..............................................................................................................................................
6.6.4.1 控制的位置 ...............................................................................................................................
6.6.4.2 确定记录器输出........................................................................................................................
6.6.4.3 RS232协议.................................................................................................................................
6.6.4.4 确定PLC输出 ..........................................................................................................................
6.6.4.5 确定PLC输入 ..........................................................................................................................
6.6.4.6 记录器输出定标........................................................................................................................
6.6.5 杂项 ..............................................................................................................................................
6.6.5.1 时间和日期 ...............................................................................................................................
6.6.5.2 语言 ...........................................................................................................................................
6.6.5.3 校准请求 ...................................................................................................................................
6.6.5.4 前级泵检修周期........................................................................................................................
6.6.5.5 油过滤器检修周期....................................................................................................................
6.6.5.6 油过滤器检修信息....................................................................................................................
6.6.6 参数保存/装入 .............................................................................................................................
6.6.6.1 装入参数组 ...............................................................................................................................
6.6.6.2 保存参数组1 ............................................................................................................................
6.6.7 监视功能 ......................................................................................................................................
6.6.
7.1 真空模式压力限制....................................................................................................................
6.6.
7.2 吸气模式压力极限....................................................................................................................
6.6.
7.3 最大抽空时间............................................................................................................................
6.7 信息 .................................................................................................................................................
6.7.1 维护 ..............................................................................................................................................
6.8 访问控制 .........................................................................................................................................
6.8.1访问校准功能 ...............................................................................................................................
6.8.2修改莱单—PIN .............................................................................................................................
6.8.3调零 ...............................................................................................................................................
7. 校准 ...................................................................................................................................................
7.1 引言 .................................................................................................................................................
7.2 校准程序 .........................................................................................................................................
7.2.1 内部校准 ......................................................................................................................................
7.2.2 外部校准 ......................................................................................................................................
7.3 校准系数—数值范围......................................................................................................................
8. 错误和警告信息 ...............................................................................................................................
8.1 提示 .................................................................................................................................................
8.2 错误和警告清单 .............................................................................................................................
9. 维修 ...................................................................................................................................................
9.1 莱宝服务 .........................................................................................................................................
9.1.1 维护计划 ......................................................................................................................................
9.1.2 拆开Phoenix ................................................................................................................................
9.1.3 更换过滤网 ..................................................................................................................................
9.1.4 换油 ..............................................................................................................................................
9.1.5 清洁 ..............................................................................................................................................
9.1.6 更换熔断器 ..................................................................................................................................
9.1.7 油过滤器 ......................................................................................................................................
9.2 涡轮分子泵 ..................................................................................................................................... 附录a ......................................................................................................................................................
1. 一般介绍
我们建议您认真阅读本技术手册，确保从启动开始就一直保持最佳工作状态。

本技术手册包含PhoeniX检漏仪的功能，安装，启动和操作等重要内容。

本手册所有内容基于PhoeniXL300检漏仪。

我们保留修改设计和给定数据的权利，插图也不受限制。

1.1 本手册使用中的注释
1.1.1 安全符号
有关操作安全与防护的主要标记有：
正确操作或使用的有关规程，否则会造成设备事故或轻微损坏。

注意防止危及各种人身伤害的有关规程。

当心
1.1.2 表示法
参阅图的标法是依次由各号和项号组成的。

例如，图2/7表示图2中项目7。

1.1.3 真空工艺符号
下面给出的是本手册中使用的一些重要真空符号：
1.1.4 术语定义
自动量程修正自动选择前置放大器量程和真空范围。

PhoeniX自动量程修正依据选择的运行模式覆盖整个范围或漏率。

为了达到控制目的不仅使用漏率信号，而且使用试样内（入口压力
P1）压力和前级压力（P2），通过阀门进行主量程间量程切换。

主
量程内精细量程转换靠切换前置放大器增益系数实现。

质量定位自动调谐这个功能自动调整质谱室使显示最大漏率。

控制处理器改变产生选
定质量范围离子的电压直到离子探测器探测到最大离子流为止。

在
每次校准过程中自动进行质量定位。

自动调零氦本底测定和自动修正。

通过这个功能，确定仪器内部零电平，然后从当前漏率信号中扣除。

在校准过程中或如果PhoeniX在待机或放气模式下已预先运行至少
20秒，当再次操作启动按钮时进行自动调零。

如果预先抑制的氦本
底下降，使在调零期间仅显示下限显示值，则自动修正零电平。

菜单菜单可使用户按他的要求编程PhoeniX。

菜单为树状结构。

缺省工厂供货时PhoeniX的状态。

GROSS （粗检）GROSS是允许高入口压力（0.2~15 mbar）的测量模式。

最小可检测漏率为1×10-8 mbar l/s。

FINE （精检）FINE是允许入口压力＜0.2 mbar的测量模式。

最小可检测漏率为≤1×10-10 mbar l/s。

PRECISION (精细检) Precision是PhoeniX dry仅允许入口压力＜0.01 mbar的测量模式。

在这种模式下PhoeniX灵敏度最高，最小可检测漏率≤2×10-11 mbar l/s。

前级管道压力涡轮分子泵和旋片泵之间前级管道内压力。

最小可检测漏率在真空模式下PhoeniX能检测的最小漏率（≤5E-12 mbar l/s）。

内部氦本底测量系统内存在的氦分压。

在待机模式下测量的内部氦本底电平，
要从测量信号中扣除掉。

测量模式PhoeniX测量试样漏率。

1.2 莱宝服务支持
图1 污染表明表格
如果设备返回LEYBOLD，请说明设备是否无损坏人体健康的物质或它是否已污染。

如果已污染还要说明危害性质。

为此你必须填写我们为您准备的表格，该表格按需要提供，你也能从技术文件夹中得到。

请把该表格附在设备上或与设备包装在一起。

根据法律要求为了保护我们工作人员必须要这个污染声明。

如果没有污染声明LEYBOLD必然按发货地址返还设备。

装运前，请把黄色拧入密封件装到图2/2排气口和图2/3气镇接口处。

1.3 引言
1.3.1 用途
PhoeniX是氦检漏仪。

该仪器可以两种不同方法检测试件漏孔位置和漏
孔大小：
·试件首先抽空，用氦气喷试件外表面。

它要求在PhoeniX与试件之间进行真空连接（真空模式）。

或者
·在试件内充入超压氦，用连接到吸入口吸气探针从外表面检测试件。

（吸气模式）。

当心PhoeniX仅用来检漏。

不得用作抽空系统（尤其是抽腐蚀性或含水气体）。

抽可冷凝气体和蒸汽：当抽空试件时，试件内水蒸汽会到达前级泵。

对
于空气中水蒸汽—尤其在潮湿场所或使用含水试件时—有时可超过允
许水蒸汽含量。

当水蒸汽增加超过允许值时，泵油中水汽冷凝。

因而油特性改变，泵有
被腐蚀的危险。

在可冷凝气体和水汽环境下使用检漏仪时，必须定期检查前级泵油质
量。

因此你必须判断泵内是否有水蒸汽冷凝。

通常油是浅颜色透明的。

当油内有水蒸汽时，工作温度下油呈昏暗乳状物。

当停泵时，水蒸汽冷凝，油中水分增加。

当心检漏工作（在这过程中冷凝气体或水汽被抽出）结束后，不得立即停检漏仪。

必须打开气镇阀（见第5.3.1节）继续运行（至少20分钟）直到
泵油中不含水汽为止。

如果忽视本说明造成泵内腐蚀，则不在我们担保之列。

必须经常控制泵油高度。

必须按正常换油周期换厂商提供的油。

见旋片
泵说明书。

如果PhoeniX用于有毒物质场所，请与Leybold公司联系以提供消毒规
程。

如果检漏仪与危险气体接触，必须填写污染声明。

1.3.2 技术数据
1.3.
2.1 PhoeniXL 300物理数据
最大入口15 mbar
最小可检测氦漏率
·在真空模式下≤5×10-12 mbar l/s
·在吸气模式下＜1×10-7 mbar l/s
能显示的最大氦漏率0.1 mbar l/s
测量范围12数量级
漏率信号时间常数（封闭，终值的63%）＜1s
入口抽速（氦）
—GROSS模式0.4 l/s
—FINE模式＞2.5 l/s
可检测质量2，3，4
质谱室180°扇形磁场
离子源2灯丝，铱/氧化钇
吸入口DN 25 KF
起动时间（启动后）≤2 min
为了降到最小可检测漏率范围，必须满足一些条件。

·PhoeniX 已完全预热。

·环境状况必须稳定（温度，无振动/加速度）
·试件抽空足够长（本底不再下降）
·ZERO必须激活。

1.3.
2.2 电气数据
电源230V，+/-5%，50Hz
功率消耗420 V A
保护类型IP40
电源线（EU，USA，UK） 2.5 m
1.3.
2.3 其它数据
阀门电磁
尺寸（长，宽，高）mm 490×430×315
重量kg 40.0
噪声水平dB (A) ＜54
音频报警dB（A）95
污染水平（按IEC 60664-1） 2
过电压等级（按IEC 60664-1）II
1.3.
2.4 环境
用于室内
允许环境温度（运行期间）+10℃ (40)
允许贮存温度0℃ (60)
最高相对湿度80%（最高31廢）
在40廢线性下降到50% 最大允许海拔高度（运行期间）2000 m
1.3.
2.5 PhoeniXL300 dry物理数据
最大入口压力15 mbar
最小可检测氦漏率
·真空模式≤2×10-11 mbar l/s
·吸气模式＜1×10-7 mbar l/s
能显示的最大氦漏率0.1 mbar l/s
测量范围12数量级
漏率信号时间常数（封闭，终值的63%）＜1s
入口抽速（氦）
—GROSS模式0.02 l/s —PRECISION模式0.4 l/s
—FINE模式＞2.5 l/s
可检测质量2，3和4
质谱室180°扇形磁场
离子源2灯丝，铱/氧化钇
吸入口DN 25 KF
起动时间（启动后）≤2 min
1.3.
2.6 电气数据
电源230V，50Hz
115V，60Hz
功率消耗350 V A
保护类型IP40
电源线（EU，USA，UK） 2.5 m
1.3.
2.7 其它数据
阀门电磁
尺寸（长，宽，高）mm 490×430×315
重量kg 35.5
噪声水平dB (A) ＜54
音频报警dB（A）95
污染等级（按IEC 60664-1） 2
过电压类别（按IEC 60664-1）II
1.3.
2.8 环境
用于室内
允许环境温度（运行期间）+10℃ (40)
允许贮存温度0℃ (60)
最大相对湿度80%（最大31廢）
在40廢线性下降到50% 最大允许海拔高度（运行期间）2000 m
1.3.
2.9 PhoeniXL300 Modul物理数据
最大入口压力15 mbar
最小可检测氦漏率
·在真空模式下
—用旋涡泵≤8×10-12 mbar l/s
—用油封泵≤5×10-12 mbar l/s
·在吸气模式下＜1×10-7 mbar l/s
能显示的最大氦漏率0.1 mbar l/s
测量范围12数量级
漏率信号时间常数（封闭，终值的63%）＜1s
入口抽速（氦）
—GROSS模式 1.0 l/s
—FINE模式＞2.5 l/s
可检测质量2，3和4
质谱室180°扇形磁场
离子源2灯丝，铱/氧化钇
吸入口DN 25 KF
起动时间（启动后）≤2 min
1.3.
2.10 电气数据
电源100V...230V,
50/60 Hz
功率消耗350 V A
保护类型IP40
电源线（EU，USA，UK） 2.5 m
1.3.
2.11 其它数据
阀门电磁
尺寸（长，宽，高）mm 490×430×315
重量kg 29.5
噪声水平dB (A) ＜54
音频报警dB（A）95
污染等级（按IEC 60664-1） 2
过电压类别（按IEC 60664-1）II
1.3.
2.12 环境
用于室内
允许环境温度（运行期间）+10℃ (40)
允许贮存温度0℃ (60)
最大相对湿度80%（最大31廢）
在40廢线性下降到50% 最大允许海拔高度（运行期间）2000 m。