立体蚀刻工艺

立体蚀刻工艺
第一章绪论
1.1 立体蚀刻工艺的基本原理
立体蚀刻工艺是结合机械制造和电子制造技术，采用电解腐蚀、热处理、热封技术等一系列步骤，加工出质量可靠、功能齐备的复杂的三维零部件、件容器、表面处理，及微小电子零件。

它可以实现复杂的立体结构的加工，满足电子行业技术高、精度高、产量低等要求，这是传统机械加工方法无法媲美的。

立体蚀刻工艺是以三维形式来设计零件，在三维结构上进行精细加工，以实现对零部件要求的加工要求。

其基本原理是通过电解腐蚀处理具有立体狭缝的金属材料，以微量溶液为电解液，交流电流作为腐蚀源，在空间位置上进行精确的控制，从而选择性地去除材料。

经过一定的处理工艺，将需要形成的立体特征与产品表面干涉处理形成，形成了立体蚀刻工艺的基本原理。

1.2 立体蚀刻工艺的特征
1.2.1 加工质量高
立体蚀刻技术由于采用的是电解腐蚀工艺，可以有效的控制材料腐蚀的精度和深度，比机械加工的质量要好得多。

1.2.2 加工速度快
采用立体蚀刻技术的加工速度很快，可以有效的提高生产效率。

1.2.3 加工精度高
立体蚀刻技术可以得到比机械加工要更精确的加工结果，可以满
足高精度的需求。

1.2.4 可加工复杂形状
电解腐蚀能够对复杂的立体形状进行加工，而机械加工的设备无法实现这样的加工。

1.3 立体蚀刻工艺的发展
立体蚀刻工艺的发展历史可以追溯到20世纪60年代，当时的立体蚀刻工艺以进行单工序、单图形的处理为主。

到20世纪80年代，立体蚀刻工艺的发展进步了很多，采用了计算机控制系统，可以进行复杂图形的多工序处理。

现代的立体蚀刻技术应用越来越广，在电器、电子、航空航天、汽车、机械等行业得到广泛应用，满足现代制造领域对高精度和复杂形状的要求，为制造领域的发展做出了贡献。