洁净室是做什么的
合集下载
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性,平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益,请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间:9:00-18:30)。
洁净室是做什么的
洁净室亦称为无尘室或清净室,是将一定空间范围内的空气中微粒子、有害气体、细菌等污染物排除,并将室内的温度、湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计的房间。
亦即不论外在空气条件如何变化,其实内均能具有维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
洁净室最主要作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触的大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好的环境空间中生产。
洁净室主要做以下方面的工作:
1、能除去空气中飘浮的微尘粒子。
2、能防止微尘粒子的产生。
3、温度和湿度的控制。
4、压力的调节。
5、有害气体的排除。
6、结构物与隔间的气密性。
7、静电的防制。
8、电磁干扰预防。
9、安全因素的考虑。
10、节能的考量。