使用长脉冲高能激光对石英玻璃打孔
《飞秒激光刻蚀石英玻璃微加工技术研究》
《飞秒激光刻蚀石英玻璃微加工技术研究》一、引言随着微纳制造技术的飞速发展，飞秒激光刻蚀技术在石英玻璃微加工领域的应用日益广泛。
该技术以其高精度、高效率、低损伤等优点，在光学、光电子学、微机械等领域展现出了巨大的应用潜力。
本文将就飞秒激光刻蚀石英玻璃微加工技术的研究现状、原理、实验方法、结果以及展望等方面进行详细介绍。
二、飞秒激光刻蚀技术原理飞秒激光刻蚀技术是一种利用飞秒激光器产生的高能量、高精度的激光脉冲对材料进行微纳加工的技术。
其原理是利用激光的超高能量和超快脉冲宽度，使石英玻璃材料在极短时间内发生非线性吸收、多光子电离等物理过程，从而达到局部快速熔化、汽化、烧蚀的效果，实现材料的高精度微加工。
三、石英玻璃微加工技术研究现状石英玻璃作为一种重要的光学材料，具有优良的物理化学性能和光学性能，广泛应用于光学仪器、光电子器件、传感器等领域。
然而，石英玻璃硬度高、脆性大，传统的机械加工方法难以实现高精度、低损伤的加工。
因此，飞秒激光刻蚀技术在石英玻璃微加工领域的应用成为了研究热点。
目前，国内外学者在飞秒激光刻蚀石英玻璃的加工工艺、加工质量、加工效率等方面进行了大量研究，取得了一系列重要成果。
四、实验方法与步骤1. 实验材料与设备：选用高纯度石英玻璃作为实验材料，采用飞秒激光器作为加工设备。
2. 实验设计：根据实际需求，设计合理的激光参数（如激光脉冲能量、频率、扫描速度等）和加工路径。
3. 实验步骤：将设计好的加工路径导入飞秒激光器控制系统，启动激光器进行加工。
通过观察和记录实验过程中的现象和数据，分析飞秒激光刻蚀石英玻璃的加工特性。
五、实验结果与分析1. 加工质量：飞秒激光刻蚀石英玻璃具有高精度、低损伤的特点，可实现微米级别的加工精度。
通过优化激光参数和加工路径，可以提高加工质量，降低表面粗糙度。
2. 加工效率：飞秒激光刻蚀技术具有高效率的优点，可以在短时间内完成复杂的微纳加工任务。
然而，过高的激光能量可能导致加工速度降低，需根据实际需求合理调整激光参数。
石英玻璃机冷加工工艺
石英玻璃机冷加工工艺
石英玻璃是一种高硬度、高透明度的无机材料，具有耐热、抗腐蚀、电绝缘等特点，广泛应用于光电子、航空航天、半导体等领域。
然而，石英玻璃的加工难度较大，尤其是冷加工，需要采用专业的加工工艺和设备才能达到预期的加工效果。
下面介绍石英玻璃机冷加工工艺。
1.石英玻璃的备料：选择石英玻璃板材或管材，验收质量。
2.石英玻璃的切割：采用切割机对石英玻璃进行切割，切割后进行表面清洗，去除切割痕迹和边角毛刺。
3.石英玻璃的抛光：采用高精度抛光机对石英玻璃进行抛光，提高表面光洁度和平整度。
4.石英玻璃的打孔：采用钻孔机对石英玻璃进行打孔，控制孔径和孔洞精度。
6.石英玻璃的清洗：采用超纯水洗涤设备，去除残留污染物和杂质。
1.切割机：采用钨丝或钻石锯片进行切割，控制切割深度和切割线精度。
2.抛光机：采用碳化硅砂轮或钻石砂轮进行抛光，达到高光洁度和平整度要求。
4.数控切割机：采用激光或电火花进行切割，可以实现复杂的图形切割。
1.石英玻璃在加工过程中易发生裂纹和断裂，需要注意加工参数和加工工艺。
2.切割和钻孔过程要注意除尘和冷却，避免产生大量石英粉尘和温度过高。
3.抛光过程要选择合适的砂轮和研磨液，控制抛光压力和速度，避免表面热沉积和砂粒磨损。
4.数控切割要注意刀具的选择和修磨，避免刀片过旧或过磨导致切割不良。
5.清洗过程要选择合适的清洗液和设备，避免水垢和污垢残留，影响石英玻璃的品质。
综上所述，石英玻璃的机冷加工工艺需要掌握专业的技术和设备，提高加工效率和质量。
同时要注意加工过程中的安全和环保问题，保护工人的健康和环境的可持续发展。
武汉高能激光分享激光切割机穿孔的几种方案
武汉高能激光共享激光切割机穿孔的几种方案激光切割机打孔是比较常见的加工方式，但是为了充足不同的打孔需求，激光切割机打孔的方式也不一样，下面我们就几种常见的穿孔方式工大家参考。
1.激光切割机分段斜坡式穿孔这是基于激光切割机的原理，并考虑可能达到所穿孔小、排出熔渣少的穿孔方式。
即：先以小能量溶化金属表面，当表面溶化后金属的激光汲取率提高时，加大能量，同时兼顾到熔渣排出时的飞溅情形。
连续作业达到穿透金属材料的目的。
优点体现在：这种穿孔一般由2到3个加工条件混合形成。
所供给的能量按肯定规律不断加强，并以脉冲波的形式作用于金属。
虽然穿孔时间比较长，但所穿的孔径小，孔径四周的热影响也明显小得多。
2.激光切割机高能穿孔这是使用较大的连续波能量作用于金属，短时间达到穿孔目的的方式。
金属板材的厚度不同决议了所穿孔径的大小和熔渣飞溅的情形。
这种穿孔方式的局限性较大，在要求工件精度的情况下通常不宜使用。
3.激光切割机侧吹穿孔激光切割机高能穿孔速度虽然快，但飞溅和残留的熔渣往往会在切割路径上影响加工头的感应精度，从而影响到加工质量。
严重时还可能对加工头的喷嘴前端造成损坏，引起报警，从而影响了加工效率。
侧吹穿孔测克服了这些可能造成的困难，其原理是加添了一个高压气体喷嘴，用于在穿孔的同时将穿孔部位四周的熔渣吹开并适当冷却。
4.激光切割机冲击穿孔侧吹穿孔*的解决了中厚板材高质量穿孔的难题，然而对于厚板，由于穿孔中所排出的熔渣过多，穿孔的深度太深，侧吹不能很好排出熔渣并保持所穿孔径的基本形状，为此武汉高能激光专门应对厚板的冲击穿孔方式。
这种方式是在充分把握了穿孔时激光作用部位的本领密度与金属熔融相互变化规律的基础上，是激光切割机在能量密度掌控上随金属熔融而变化，从而达到快速穿孔的效果。
以上的四种激光切割机穿孔方式，充足各种不同厚度板材的加工，大家可以依据本身的要求来选择合适的激光切割机穿孔方式。
激光加工石英玻璃小孔的研究
硕士学位论文摘要石英玻璃已有160多年历史，由于其优良的物理性能，在国防、化工、医疗、机械等各个领域方挥着极为重要的作用。
但是，石英玻璃是一种硬脆性材料，容易在外力作用下破裂，传统的机械加工方式难以高效的对其进行加工，特别难在石英玻璃上加工小孔。
本文从它良好的热性能出发，提出一种新型的加工石英玻璃小孔的方法——激光加工。
激光加工是一种热加工，为了了解在加工过程中石英玻璃温度场以及热应力的变化，采用了ANSYS建立了有限元模型，并推导了有限元方程，计算了激光加工过程中的热对流系数，分析了在不同功率下、不同激光作用下温度场的变化，对激光作用形成的小孔进行了仿真。
阐述了热加工产生热应力和热变形的原因，将分析温度场的有限元模型的热分析转变为结构分析，对加工过程中产生的热应力和热变形进行了研究。
模型的建立和分析，对激光加工小孔的加工参数的选用有一定的指导意义。
仿真完毕之后，进行了多组激光参数的加工石英玻璃的试验。
采用激光脉冲的方式，研究了石英玻璃被加工成形的小孔形状及锥度和激光功率密度的关系，并用MATLAB绘制了曲线图。
采用连续激光切割小孔的方式，研究了激光功率、离焦量、小孔形状和锥度之间的关系，绘制了相应的曲线图。
在最后提出了2mm厚石英玻璃片激光加工小孔的合理参数。
本文还对激光加工石英玻璃小孔的裂纹问题进行了初步的探讨。
由于石英玻璃的热膨胀系数极小，在显微镜下面没有观察到裂纹，并且通过试验研究发现，激光切割石英玻璃厚板时，如果未切透，则出现裂纹，若切透则不出现裂纹。
关键词：石英玻璃，激光打孔，激光切孔I激光加工石英玻璃小孔的研究AbstractQuartz glass has been invented before 160 years, because of its excellent physical capability, it is a very important kind of nonmetal material. Quartz glass is rigid and brickle, it is so frangible that mechanized progressing is very hard to machining it, especially drilling.This paper has found a new technology—laser progressing to machining the pinhole of quartz glass because of its excellent physical capability.Laser progressing is thermal machining, basing on ANSYS, the finite element modeling has been built for researching temperature field and thermal press of quartz glass. Firstly, the finite element equation is guided, thermal convection coefficient is calculated, the pinhole is emulated which was formed by laser. And then, the reasons of how the thermal press and the thermal displacement produced are explained. Thermal analysis is transformed to structure analysis for researching the thermal press and thermal displacement. Building and analyze the molding are propitious to choosing the best parameter of laser progressing.Then, using pulsed laser and continuous laser cutting progressing pinhole is experimentalized to analyze the connection among the pinhole figure of quartz glass and laser’s power and its focal position, then the connection curve figures are described by MATLAB, the best laser progressing parameter is mentioned for 2mm thickness quartz glass at last.Finally, the problem of quartz glass’s crackle because of laser processing is primary researched. The crackle isn’t found behind microscope, because the thermal expanded coefficient is very small. But if the thick quartz glass isn’t penetrated by laser cutting, the crackle can be aroused easily.Key Words: quartz glass, laser drilling, laser cutting pinholeII湖南大学学位论文原创性声明本人郑重声明：所呈交的论文是本人在导师的指导下独立进行研究所取得的研究成果。
《飞秒激光在石英玻璃上的微结构加工技术研究》
《飞秒激光在石英玻璃上的微结构加工技术研究》一、引言随着科技的不断进步，微纳米技术已经成为众多领域中的关键技术之一。
飞秒激光技术在微结构加工中有着突出的应用效果，其在石英玻璃等材料上的微结构加工具有独特的技术优势。
本文旨在深入探讨飞秒激光在石英玻璃上微结构加工的技术原理和实验研究，为该技术的进一步发展和应用提供理论依据和实验支持。
二、飞秒激光技术概述飞秒激光技术是一种利用飞秒级脉冲激光进行材料加工的技术。
其激光脉冲宽度极短，能量高度集中，能够在材料表面产生高精度的微结构。
飞秒激光加工具有非线性作用、低热影响区、高精度等特点，广泛应用于各种材料的高精度加工中。
三、石英玻璃及其特性石英玻璃是一种高硬度的光学材料，具有优良的光学性能和化学稳定性。
其独特的物理和化学性质使得其在许多领域有着广泛的应用，如光学仪器、光学通信、医疗设备等。
然而，由于其硬度高、脆性大，石英玻璃的加工难度较大。
因此，寻求一种高效、精确的加工方法对于石英玻璃的应用具有重要意义。
四、飞秒激光在石英玻璃上的微结构加工技术（一）技术原理飞秒激光在石英玻璃上微结构加工的主要原理是利用高能飞秒激光脉冲在材料表面产生高精度的微结构。
通过控制激光的能量、脉冲频率、扫描速度等参数，可以在石英玻璃表面实现高精度的切割、打孔、雕刻等操作。
同时，由于飞秒激光的脉冲宽度极短，其热影响区域小，可以降低热损伤和裂纹产生的风险。
（二）实验方法与步骤1. 样品准备：选择优质的石英玻璃作为加工对象，对其进行预处理以获得理想的表面状态。
2. 实验设备：采用先进的飞秒激光加工系统进行实验，包括飞秒激光器、计算机控制系统、三维精密工作台等。
3. 参数设置：根据实验需求，设置合适的激光能量、脉冲频率、扫描速度等参数。
4. 实验过程：在计算机控制下，使飞秒激光器按照预设的路径在石英玻璃表面进行扫描，实现微结构的加工。
5. 结果检测：通过显微镜观察和测量，对加工后的微结构进行精度和质量的检测。
aetf143a长脉冲激光制孔及切割验收要求
aetf143a长脉冲激光制孔及切割验收要求随着科技的不断发展，长脉冲激光在制孔及切割过程中得到了广泛的应用。
长脉冲激光具有高效、高精度和高质量等优点，因此在制造业和材料加工领域中得到了广泛的应用。
为了保证长脉冲激光制孔及切割的质量和效率，需要进行相应的验收，以下是关于长脉冲激光制孔及切割验收的要求。
1.器材要求：a)长脉冲激光器必须具备高功率输出和高能量密度的特性，以确保制孔及切割的效果。
b)长脉冲激光器的波长范围应适应不同材料的加工需求。
c)长脉冲激光器的工作频率应能够满足制孔及切割的要求。
2.制孔及切割质量要求：a)制孔和切割的孔径和尺寸应符合设计要求，尺寸误差要在可接受范围内。
b)制孔和切割的表面粗糙度应满足制造要求，表面光洁度要求高，不得出现明显的毛刺和瑕疵。
c)制孔和切割的边缘质量要好，不得出现裂纹、烧损和变色等缺陷。
d)制孔和切割的位置精度要高，不得偏移或错位。
3.制孔及切割效率要求：a)制孔和切割的速度要快，提高生产效率。
b)制孔和切割的能量利用率要高，避免能量浪费。
4.安全要求：a)使用长脉冲激光器进行制孔及切割时，必须有专业操作人员进行操作，确保工人的人身安全。
b)长脉冲激光器必须具备安全防护装置，避免激光对人眼和皮肤造成伤害。
5.环境要求：a)制孔及切割作业区域要有良好的通风装置，避免因作业产生的烟尘和有害气体的聚集。
b)制孔及切割作业区域要保持整洁，避免杂物和易燃物品引发安全事故。
6.文档要求：a)对于长脉冲激光制孔及切割的验收，必须有相关的操作规程和技术细节的文档。
b)验收时，需要提供操作人员的培训、安全操作指南和操作规程等相关文档。
7.技术支持要求：a)长脉冲激光器制孔及切割设备的供应商必须提供技术支持和售后服务，并能够解决故障和问题。
总结：长脉冲激光制孔及切割的验收要求包括器材要求、制孔及切割质量要求、制孔及切割效率要求、安全要求、环境要求、文档要求和技术支持要求。
一种高精度石英玻璃激光切割定位方法[发明专利]
![一种高精度石英玻璃激光切割定位方法[发明专利]](https://img.taocdn.com/s3/m/44d2422ff02d2af90242a8956bec0975f465a41f.png)
专利名称：一种高精度石英玻璃激光切割定位方法专利类型：发明专利
发明人：王军龙,冯巧玲,潘登,李本海,王学锋,李凯,李广申请号：CN201910129793.X
申请日：20190221
公开号：CN109704557B
公开日：
20220304
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：一种高精度石英玻璃激光切割定位方法，涉及石英玻璃切割技术领域；包括如下步骤：步骤一、调整位移台上石英玻璃的竖直方向高度，实现石英玻璃的上表面位于相机的焦距处；步骤二、在石英玻璃的上表面标记中心，将相机的基准原点与石英玻璃的中心对准；步骤三、将石英玻璃平移至切割头下方；切割头进行切割试刀；步骤四、依次对切割试刀划痕进行观察，选取最佳切割划痕；步骤五、测量切割头与相机的相对位置；本发明实现了全自动高效能的激光切割，提高了石英玻璃的切割精度，保证了切割质量，提升了切割工件的产成率。
申请人：北京航天控制仪器研究所
地址：100854 北京市海淀区北京142信箱403分箱
国籍：CN
代理机构：中国航天科技专利中心
代理人：李晶尧
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《飞秒激光在石英玻璃上的微结构加工技术研究》
《飞秒激光在石英玻璃上的微结构加工技术研究》一、引言随着科技的发展，激光技术逐渐在工业制造、医学、光学等各个领域发挥着越来越重要的作用。
在众多激光技术中，飞秒激光以其独特的优势，如高精度、高效率、低损伤等，在微纳加工领域具有广泛应用。
特别是在石英玻璃的微结构加工中，飞秒激光更是表现出强大的优势。
本文将详细探讨飞秒激光在石英玻璃上的微结构加工技术，以期为相关领域的研究和应用提供参考。
二、飞秒激光的基本原理及特点飞秒激光是一种以脉冲形式输出的激光，其脉冲宽度在飞秒级别（1飞秒等于1e-15秒）。
由于其极短的脉冲时间，使得其在材料加工中具有独特的优势。
首先，飞秒激光具有高能量密度的特点，可以在极短的时间内将能量集中在一个极小的区域内，从而在材料表面产生精确的微结构。
其次，飞秒激光加工过程中产生的热影响区较小，可以减少对周围材料的热损伤。
此外，飞秒激光还具有高度的灵活性和可控性，能够满足复杂微结构加工的需求。
三、石英玻璃及其微结构加工石英玻璃是一种由二氧化硅（SiO2）组成的玻璃材料，具有优良的物理和化学稳定性。
然而，由于其硬度高、脆性大等特点，传统的加工方法往往难以实现对其微结构的精确加工。
而飞秒激光由于其高精度、低损伤的特点，成为石英玻璃微结构加工的理想选择。
四、飞秒激光在石英玻璃上的微结构加工技术飞秒激光在石英玻璃上的微结构加工技术主要包括以下步骤：首先，利用高精度的光路系统和计算机控制技术，将飞秒激光束聚焦到石英玻璃表面；其次，通过控制激光的能量密度和扫描速度等参数，实现不同深度的微结构加工；最后，通过后续的抛光和清洗等工艺，得到满足要求的微结构表面。
在具体实施过程中，需要关注以下几个关键因素：一是激光参数的选择和优化，包括激光能量、脉冲宽度、重复频率等；二是加工过程的控制技术，如光路稳定性、加工速度等；三是加工后的表面处理技术，如抛光、清洗等。
这些因素都会对最终的加工结果产生重要影响。
五、实验研究及结果分析本部分通过实验研究飞秒激光在石英玻璃上的微结构加工过程。
激光玻璃打孔工艺
激光玻璃打孔工艺嘿，朋友们！今天咱来聊聊激光玻璃打孔工艺，这可真是个神奇又好玩的事儿呢！你想想看啊，玻璃那可是硬邦邦的东西，平时咱不小心碰到都怕它碎了。
可这激光就厉害啦，就像一把超级小而精准的利剑，能在玻璃上打出一个个小洞来，这多神奇呀！要说这激光玻璃打孔工艺啊，那可得精细着呢！就好像是一个手艺高超的工匠，在小心翼翼地雕琢一件艺术品。
首先呢，得把玻璃稳稳地放好，不能有一点儿晃动，不然打出来的孔可就歪歪扭扭啦。
然后呢，激光束就开始工作啦，它“嗖”地一下就射向玻璃，就像一道闪电划过夜空。
这时候你可能会问啦，那这激光咋知道在哪里打孔呀？嘿嘿，这可就靠咱聪明的人类啦！咱得提前设计好打孔的位置和大小，就像是给激光画了一张地图，告诉它该往哪里去，该打多大的孔。
这可不能马虎，要是弄错了，那可就前功尽弃喽！而且啊，这激光打孔可快啦！你眨一下眼的功夫，可能一个孔就打好啦。
这可比咱用钻头一点点去钻快多了吧！就好像是孙悟空的七十二变，一下子就变出来啦。
那有人可能又会说啦，这么厉害的激光，会不会把玻璃弄碎呀？别担心，咱有办法！就像给玻璃穿上了一层保护衣，能让激光乖乖地按照我们的要求打孔，而不会把玻璃弄碎。
你说这激光玻璃打孔工艺是不是很有意思呀？它就像是一个魔法，能让坚硬的玻璃变得听话起来。
想象一下，以后我们用的玻璃杯、玻璃窗上那些漂亮的图案和小孔，说不定就是用激光打出来的呢！这多酷呀！咱再想想，要是没有这激光玻璃打孔工艺，那得有多麻烦呀！得用各种工具慢慢地磨呀、钻呀，费好大的劲还不一定能打得好。
但是有了激光，一切都变得简单啦！所以啊，咱可得好好感谢那些发明激光玻璃打孔工艺的人，是他们让我们的生活变得更加精彩。
这就像是给我们的生活开了一扇窗，让我们看到了更多的可能。
总之呢，激光玻璃打孔工艺就是这么神奇，这么厉害！它让我们的生活变得更加美好，更加有趣。
朋友们，你们说是不是呀！。
玻璃激光切孔方法及激光切割装置与流程
玻璃激光切孔方法及激光切割装置与流程下载提示：该文档是本店铺精心编制而成的，希望大家下载后，能够帮助大家解决实际问题。
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玻璃是一种硬度很高的材料，传统的切割方法很难对其进行精细的加工。
《飞秒激光刻蚀石英玻璃微加工技术研究》
《飞秒激光刻蚀石英玻璃微加工技术研究》一、引言随着科技的飞速发展，微纳加工技术在众多领域中发挥着越来越重要的作用。
其中，飞秒激光刻蚀石英玻璃微加工技术因其独特的优势，正受到广泛的关注。
该技术具有高精度、高效率、非接触性等优点，被广泛应用于微电子、光子晶体、生物医学等领域。
本文将针对飞秒激光刻蚀石英玻璃微加工技术进行深入研究，探讨其原理、工艺及实际应用。
二、飞秒激光刻蚀石英玻璃的原理飞秒激光刻蚀石英玻璃的原理主要基于激光与物质相互作用的物理过程。
飞秒激光具有极高的峰值功率，能够在极短的时间内将激光能量传递给石英玻璃，使其局部温度迅速升高，从而达到刻蚀的目的。
此外，飞秒激光的脉冲宽度极短，能够减小热影响区，保证加工的精度和效率。
三、飞秒激光刻蚀石英玻璃的工艺研究1. 激光参数的选择：飞秒激光的脉冲宽度、重复频率、能量密度等参数对刻蚀效果具有重要影响。
通过优化这些参数，可以获得更好的刻蚀质量和效率。
2. 加工环境的控制：在微加工过程中，环境因素如温度、湿度、气压等也会影响加工效果。
因此，需要控制好加工环境的各项参数，以保证加工的稳定性和可靠性。
3. 工艺流程的优化：通过改进工艺流程，如预处理、激光加工、后处理等步骤，可以提高飞秒激光刻蚀石英玻璃的效率和质量。
四、飞秒激光刻蚀石英玻璃的应用研究1. 微电子领域：飞秒激光刻蚀石英玻璃可用于制备微型光学元件、光波导等器件，提高微电子产品的性能和可靠性。
2. 光子晶体领域：飞秒激光刻蚀技术可以制备出具有特定结构的光子晶体，具有优异的光学性能和力学性能。
3. 生物医学领域：飞秒激光刻蚀技术可用于制备微型医疗器械、生物传感器等，具有广泛的应用前景。
五、实验研究及结果分析本部分将详细介绍飞秒激光刻蚀石英玻璃的实验过程及结果分析。
通过设计不同的实验方案，如改变激光参数、加工环境等，分析其对加工效果的影响。
同时，通过对比实验结果，验证了飞秒激光刻蚀石英玻璃的优越性。
六、结论与展望本文对飞秒激光刻蚀石英玻璃微加工技术进行了深入研究。
使用长脉冲高能激光对石英玻璃打孔
使用长脉冲高能激光对石英玻璃打孔戴罡;陆建;刘剑;张梁;倪晓武【期刊名称】《光学精密工程》【年(卷),期】2011(019)002【摘要】为了实现玻璃上的高效快速打孔,研究了使用长脉冲激光在石英玻璃上打孔的方法.通过在玻璃表面镀制ZrO2,解决了石英玻璃对1 064 nm激光吸收弱的问题.使用脉宽为1 ms,波长为1 064 nm的Nd:YAG激光在石英玻璃上打出了深为1.55 mm的锥形孔.研究了激光打孔的能效比,结果显示,当激光的能量密度为6.8 kJ/cm2左右时,打孔的效能比最大,并分析了可能的原因.根据膜层及基底的吸收系数随温度增加而增加的特性,分析了形成锥形深孔的机理.采用在玻璃的双面都增加吸收层的方法,在玻璃上加工出柱状通孔.最后,分析和讨论了吸收层的热学性质和光学性质对打孔的影响,为提高打孔效率提供了设计方案.实验结果表明,使用单脉冲ms激光能够高效地在玻璃上打出小深孔,为提高玻璃打孔效率提供了新的思路.【总页数】7页(P380-386)【作者】戴罡;陆建;刘剑;张梁;倪晓武【作者单位】南京理工大学理学院应用物理系,江苏,南京,210094;南京理工大学理学院应用物理系,江苏,南京,210094;南京理工大学理学院应用物理系,江苏,南京,210094;南京理工大学理学院应用物理系,江苏,南京,210094;南京理工大学理学院应用物理系,江苏,南京,210094【正文语种】中文【中图分类】TN249【相关文献】1.联合使用强脉冲光与长脉冲激光治疗面部毛细血管扩张症的效果分析 [J], 石婧;关璐璐;林珈羽2.石英玻璃的基本特性及石英管的正确使用方法 [J], 张葆青3.用大芯径石英玻璃光纤传输兆瓦级高能激光脉冲及其在双波长LA-L IBS技术中的应用 [J], 周奇;彭飞飞;李润华;陈钰琦;杨雪娇4.长脉冲高能激光对金属靶材烧蚀实验研究 [J], 李欣荣;周天文;孙琦5.长脉冲高能激光能量测试技术的研究 [J], 黎高平;王雷;杨照金;于帅;赵宝珍;胡容;孔小健因版权原因，仅展示原文概要，查看原文内容请购买。
一种直接镭射成孔方法
一种直接镭射成孔方法
激光镭射打孔是一种常用的材料加工方法，它通过高能激光束聚焦在材料表面，迅速产生高温并溶解或蒸发材料，从而形成孔洞。
该方法通常包括以下步骤：
1. 准备工作：确定需要打孔的材料、要打孔的位置和形状，并准备好相应的激光设备和辅助装置。
2. 设置激光参数：根据材料的类型、厚度和所需孔洞的尺寸等因素，调整激光功率、脉冲频率和聚焦方式等参数。
3. 对准位置：将激光束对准需要打孔的位置，并确保激光束正常穿过材料表面。
4. 打孔过程：启动激光设备，将高能激光束聚焦在材料表面，持续照射一定时间，使材料受热并溶解或蒸发形成孔洞。
5. 检查结果：停止激光照射后，检查打孔结果是否符合要求，如孔洞尺寸、形状和位置等。
6. 清理处理：根据需要进行清理处理，如去除产生的废料和残留物等。
需要注意的是，不同材料的激光打孔参数和过程可能会有所差异，因此在实际操作中，需要根据具体材料和要求进行相应的调整和优化。
此外，在进行激光打孔时，需要采取适当的安全措施，如佩戴防护眼镜、穿戴防护服等，以确保操作人员的安全。
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对 打 孔 的影 响 ， 提 高 打 孔效 率 提 供 了设 计 方 案 。实 验 结 果 表 明 ， 用 单 脉 冲 ｍｓ 光 能 够 高 效 地 在 玻 璃 上 打 出 小 深 为 使 激 孔 ， 提 高 玻璃 打 孔 效 率 提 供 了新 的思 路 。 为
关 键 词 ： 光打 孔 ； 能 激光 ； 激 高 长脉 冲激 光 ； 英玻 璃 石
ｒ ａ ｈ ｓｔ ｅｍａ ｉ ｍ ａｕ ｅ ｈ ｎ ｒ ｙ ｄ ｎ ｉ ｑ ａｓ ６ ８ ｋ ／ ｍ。 Ｔｈ ｎ ｈ ｏ ｓｂ ｅｒ ａ ｏ ｓ ｅ ｃ ｅ ｈ ｘｍｕ ｖ ｌｅ ｗｈ ｎ ｔ ｅｅ ｅ ｇ ｅ ｓｔ ｅ ｕ ｌ ． Ｊ ｃ ． ｅ ，ｔ ｅ ｐ ｓ ｉ ｌ ｅ ｓ ｎ ｙ
第 １卷 ９
第 ２期
光 学 精 密 工 程
Ｏｐｔｃ ｄ Ｐｒ ｃｓｏｎ Ｅｎ ｎｅ ｒｎｇ ｉｓａｎ ｅ ｉｉ ｇｉ ｅ ｉ
Ｖｏ ． ９ ＮＯ ２ １１ ．
Ｆｅ ２Ｏ ｂ． １１
２１ ０ １年 ２月
文章编号
１ ０ － ２ Ｘ（ ０ １ ０ — ３ ００ ０ ４ ９ ４ ２ １ ） ２０ ８ —７
中 图分 类 号 ： Ｎ２ ９ Ｔ ４
文献标识码 ： Ａ
ｄ ｉ１ ． ７ ８ ０ Ｅ ２ ¨ ｌ ０ ． ３ ０ ｏ ：０ ３ ８ ／ Ｐ ． Ｏ ９ ２ ０ ８
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使 用 长 脉 冲 高 能 激 光 对 石 英 玻 璃 打 孔
戴 罡， 建， 剑， 梁， 陆 刘 张 倪晓武
（ 南京理工大学 理学院 应用物理系， 江苏 南京 ２０ ９ ） １０ ４
摘 要 ： 了 实现 玻 璃 上 的 高 效 快 速 打孔 ， 究 了使 用 长 脉 冲激 光 在 石英 玻 璃 上 打 孔 的方 法 。通 过 在 玻 璃 表 面 镀 制 Ｚ Ｏ ， 为 研 ｒ ｚ
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解 决 了 石英 玻 璃 对 １ ６ ｍ 激 光 吸 收 弱 的 问题 。使 用 脉 宽 为 １ 、 长 为 １ ６ Ｉ ４ｎ ０ 波 ｍｓ ４ｉｎ的 Ｎ ０ ｌ ｄ： ＡＧ激 光 在 石 英 玻 璃 上 打 Ｙ 出 了深 为 １ ５ ｎ ． ５ｒｉ ｎ的锥 形 孔 。研 究 了激 光 打孔 的能 效 比 ， 果 显 示 ， 结 当激 光 的 能 量 密 度 为 ６ ８ ｋ ／ ｍ ． Ｊ ｃ 左 右 时 ， 孔 的 效 打 能 比最 大 ， 并分 析 了可 能 的 原 因 。根 据 膜 层 及 基 底 的 吸 收 系 数 随 温 度 增 加 而 增 加 的特 性 ， 析 了 形 成 锥 形 深 孔 的 机 理 。 分 采用 在 玻 璃 的 双 面 都增 加 吸 收层 的方 法 ， 玻 璃 上 加 工 出柱 状 通 孔 。最 后 ， 析 和 讨 论 了 吸 收层 的热 学 性 质 和 光学 性 质 在 分
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