AOI制程点检表
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制程设备：AOI
班别： □A班 □B班
AOI制程点检表
日期： 年
月
机台号：
站別 名称
保养项目
中检 标准
日期 备注
频率 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31AOI 自动光 学检查机检测台面吸气 机台表面清洁
传动机构 粘尘纸频率设定
吸气正常
1次/班
干净无灰尘 1次/班
传动正常无杂音 1次/班
1次/60片 1次/班
作业人
检查人
备注： 点检所 表单编 号：
审核：
Rev:A00
文档密级：★
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日期： 年
月
机台号：
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保养项目
中检 标准
日期 备注
频率 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31AOI 自动光 学检查机检测台面吸气 机台表面清洁
传动机构 粘尘纸频率设定
吸气正常
1次/班
干净无灰尘 1次/班
传动正常无杂音 1次/班
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作业人
检查人
备注： 点检所 表单编 号：
审核：
Rev:A00
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