pdms硅微通道板产品制备

pdms硅微通道板产品制备
PDMS硅微通道板是一种在硅基板上形成微型通道的复合材料，常被
用于生物样品的处理和微流体应用中。

主要由两类材料组成：1）硅基板：由硅片、硅圆片或硅芯片组成，具有良好的热稳定性和电绝缘性能，适合深曝光技术、先进工艺制造所需的应用；2）PDMS（聚二甲
基硅氧烷）：PDMS有优异的化学稳定性和热稳定性，具有粘滞性能，可以有效地保持微通道板的圆滑表面和尺寸精度。

一、PDMS硅微通道板制备过程
1. 制备光刻硅片：制备表面粗糙、金属化处理的硅片，并在硅片上进
行光刻。

2. 密封处理：将PDMS高转换率连接到光刻的硅片，然后再将PDMS
的外表面多次经过紫外线处理，使PDMS与硅片完全密封，形成一块
微通道板。

3. 重新调节PDMS厚度：重新利用PDMS的表面拉伸或变形的特性处理，来调整其厚度。

4. 製作微通道：最后，使用微机械加工技术精确地建立微通道，将硅
片裁剪成所需要的尺寸。

二、PDMS硅微通道板特点
1. 表面质量优良：PDMS硅微通道板可以很好地满足微流体表面要求，可以有效地抑制结合物的吸附。

2. 半折痕強度高：PDMS的弹性模量比空气高，可以提供较高的折痕
强度；宽带频率响应特性好，可在多个振荡周期频率范围内实现微流
体应用。

3. 高灵敏度：由于PDMS具有良好的折形弹性性能，因此具有较高的
微流体传感器灵敏度。

4. 抗化学牢度高：抗氧化性强，耐酸碱，耐腐蚀性能高，可以有效抗
摩擦、抗坪硬化。

5. 灵活性高：相比于其他类型的微通道板，PDMS硅微通道板可以更
大的应用于复杂的微流体系统，具有更高的灵活性。

三、PDMS硅微通道板的应用
1. 用于样品处理：PDMS硅微通道板可以用于生物样品的制备、分离、检测等，可以有效地提高样品的处理质量。

2. 用于医学和生物学检测：PDMS硅微通道板可以作为先进的机器人
系统和宏观系统中的微流体传感器，利用它完成生物学和医学检测，
可以有效地提高检测精度。

3. 用于微型转换器研究：PDMS硅微通道板具有较高的折形弹性性能，通过引入复杂地零件，可以模拟自然界物质传递的微型转换器研究。

4. 用于电子器件抗干扰：PDMS硅微通道板可以阻隔发射信号，从而
增强电子器件的抗干扰性能。