X荧光分析原理
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sample
channel counts
energy (KeV)
X-ray tube detector amplifier and multi-channel analyser
X光管产生的初级X射线直接照射在样品上，这种仪器的特点是光程
短，体积小，激发效率高。
能量色散X射线荧光光谱仪（二次靶激发）
- X射线类型：SST-mAX，非钨灯丝、零挥发、金属陶瓷 超尖锐光管，Rh靶或其它靶材（对硅酸盐分析而言Rh靶 和Cr是最好的选择）
- 最大功率3KW - 最大管电压60kV,
- 最大管电流100 mA
激发源
X射线管输出依赖于下列因素： - 灯丝 - 加速电压 - 电流 - 真空 - 阳极靶材料 - 窗口
激发源
• 安全回路
- 阳极水温，阳极水流量，水位，水电导，阴极水 流量
- Axios顶部的X RAY ON指示灯（13W日光灯管）
- 控制面板上的X RAY ON指示灯 - X射线管上的高压电缆安全插头 - 测量腔安全压力传感器（30 to 40 hPa） - 高压钥匙开关触点
激发源
Axios cement荧光仪配置的X射线管
帕纳科能量色散X射线荧光光谱仪
Minipal4 Epsilon 5 Epsilon3
帕纳科波长色散X射线荧光光谱仪
典型的波长色散X射线光谱仪（顺序式）
Axios
AxiosmAX
帕纳科波长色散X射线荧光光谱仪
Cubix XRF Axiosfast
Venus200
能量色散X射线荧光光谱仪（直接激发）
样品
• Airlock 体积只有115cm3
• 自旋机构，30转/分 • 样品探测器
• Turret 包含两个位置
- Loading Position - Measuring Position
色散
• 基于布拉格原理将要分析的谱线从二次X射线谱中色 散出来
n 2dSin
• 要产生衍射，入射X射线的波长必须满足： λ <2d
激发源
• X射线管 - 激发源—激发样品原子，产生荧光X射线 - 波长色散X射线光谱仪需要有效的大激发功率，以很好 的进行测定；X射线管的稳定性和可靠性是非常重要的。 - 在灯丝(阴极)和靶阳极之间施加几千伏的电压，作为对 电子的加速电压。此电压常以千伏度量。阳极通常是铜， 而靶表面敷以高纯度的诸如Rh、Ag、Cr、Mo、W之类 元素的镀层。 - 用于波长色散X射线光谱测定的X射线管通常工作在14kW。此功率的大部分转化为热能，因此水冷却是必须 的。
- 在Axios中封闭探测器通常不单独使用，而是与流 气探测器串联起来构成复合探测器。
- 将封闭探测器的入射窗串联在流气探测器的后窗。
- 复合探测器输出的计数率实际上是2个探测器的计 数率之和。
样品
• 特征X射线的产生 - 利用初级X射线辐照样品； - 产生原子内壳层电子空位； - 原子跃迁发射X射线； 具有壳层电子空位的原子处于激发态，电子将重新排列， 外壳层电子向内壳层跃迁，填补内壳层的电子空位，同时 释放出跃迁能量，使原子回到基态。这跃迁能量以特征X射 线形式释放出来，或者能量转移给另一个轨道电子，使该 电子发射出来，即俄歇电子发射。
Axios cement内部结构图
Axios cement内部结构图
激发源
• 产生初级X射线，激发样品原子 • X射线发射器 - 为X射线管提供高压 - 固态发生器，不需要水冷 - 最大输出功率2.4kW - 输出电压：20kV-60kV，步长1kV - 输出电流：10mA-100mA, 步长1mA - 打盹设置(Doze): 50kV/40mA - 休眠设置(Sleep): 50kV/20mA
样品
•特征X射线的产生
样品
•K和L系特征X射线部分能级图
样品
• K系线 如果电子空位产生于K壳层，那么原子跃迁产生的谱线称 为K系线 • L系线 如果电子空位产生于L壳层，那么原子跃迁产生的谱线称 为系线 • 无论定性分析还是定量分析都只用到Kα ,Kβ ,Lα 和Lβ 四 条线
样品
• 样品分析向下（在X光管Be窗的上方) • 样品规格：高度Max40mm,直径 Max50mm • 样品不能超高，直径必须>样杯Mask
样品
• 样品传送系统 - 两位置转盘系统 - 标准配置为单进样，连续 装载为选购功能 - 空气中传送时间< 5秒 - 氮气中传送时间<15秒 - 真空中传送时间<10秒 - 氦气中传送时间<15秒
样品
• 样品传送系统包含下面的部件: - 控制电路SPC (SPECTRT-CNTR) PCB. - Cap - 转盘turret - 活塞plunger - 驱动Cap的汽缸 - 驱动plunger的汽缸 - 转盘电机M101 - 自旋电机M100
X荧光培训
X射线荧光光谱（XRF）分析原理 荷兰帕纳科公司 杨成选
XRF分析的原因
分析速度快，分析时间从几十秒到几分钟内变化，取决于仪器类型和 通道个数。
分析元素范围广，可分析Be4 〜 U92 之间的80多种元素。 测定元素的含量范围宽，从ppm-100%都可直接进行分析 精密度高，重现性好。短期精度可达0.01%量级，长期精度 <0.05%。 可分析的样品类型多。对固体、液体、松散粉末、压片、玻璃熔融片、 滤纸等多种类型样品都可直接进行分析。
• 波长色散+能量色散型
XRF光谱仪类型
X射线荧光光谱仪按照射方式不同可分为两类 • 上照射式
典型的如帕纳科Cubix XRF
• 下照射式
典型的如帕纳科AxiosmAX
波长色散与能量色散的区别
波长色散使用晶体分光，而能量色散则不使用 波长色散测量峰高，而能量色散测量的是峰面积 波长色散可测量的元素范围从Be-U,而能量色散只能测量 Na-U之间的元素 能量色散对轻元素和重元素的分辨率不如波长色散，对 中等元素分辨率相当 波长色散通常使用大功率X光管，而能量色散则使用小功 率X光管
探测
• 探测器（2θ ）与分光晶体（θ ）以2：1的速度旋转 • 探测器与分光晶体独立驱动 • 扫描角度： Flow&sealed 探测器 13°<2θ °<148° SC 探测器 0°<2θ °<104°
探测
流气探测器
＋HV(1700V)
前置放大器
探测
封闭探测器
探测
闪烁探测器
探测
• 复合探测器
激发源
• X光管由阳极靶（Rh）、阴极灯丝、Be窗口（75um)、 真空腔室、陶瓷绝缘体、阳极靶HT电源接头、阴极灯 丝电源接头、阳极冷却水管、阴极冷却水管和光管日 志电路等组成。
激发源
• 端窗X射线管 • 阳极靶加正高压，阴极灯丝接地(接地电阻<0.5Ω ) • 阳极靶用去离子水冷却，灯丝用外循环水冷却 • 99%以上的能量都转化为热能，只有不到1%的能量转化 为辐射能
Lif200 crystal
色散
分光晶体在测角仪中的位置
色散
测角仪
- 出射角：40º - θ /2θ 独立驱动，同轴
- 在机器后面的电子线路架上有两块Position control PCB板，左面的一块为2θ 驱动板，右面 的一块为1θ 驱动板 - 晶体与探测器以1：2速度旋转
色散
分光晶体
•
•
探测
探测效率
1.2
Relative Sensitivity
1.0 0.8 0.6 0.4 0.2
Scint Duplex Flow
Ca Sc
Ti
V
Cr Mn Fe
Co
Ni
Cu
Zn
探测
• Axios cement配置
- Flow探测器适用于BeKα 到 NiKα 的测量 - Scint探测器适用于NiKα 到 BaKα 的测量
色散
布拉格衍射定律
Ray 1 Ray 1
Ray 2
布拉格衍射定律
Ray 2
n 2 x 2dSin
色散
分光晶体在测角仪中的位置
Specimen Primary collimator
Detector
Tube
θ
Secondary collimator 2θ CuKα θ = 22.5150° 2θ = 45.0300°
激发源
• 滤光片的作用
- 消除光管特征线的干扰 - 微量分析时可提高峰/背比，获得较低的 LLD
- 减弱初级光束强度
- 抑制管光谱中的杂质谱
激发源
•滤光片的选择
样品
• 被X射线管产生的初级X射线辐照，发射特征X射线（荧光 X射线） • 特征X射线的强度与样品中元素的浓度成比例 • 特征X射线的波长反映了原子的特征，是X荧光定性分析 的依据（莫赛来定律）
激发源
连续谱分布
1 I ( ) KiZ 1 2 min
激发源
ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
Cr靶激发
激发源
Rh靶激发-重元素
激发源
Rh靶激发-轻元素
激发源
下照射式（分析面朝下）
激发源
• 在Axios上有7种规格滤光片可选： - Brass (100um - Brass (300um) - Brass (400um) - Al (200um) - Al (750um) - Pb (1000um) - Be (150um)
波长色散X射线光谱仪
Braggs Law : n=2dsin 布喇格方程
利用晶体的衍射特性区分不同元素发射的特征X射线。值得注意的是晶体 在空间顺序产生色散，而光栅在空间同时产生色散
波长色散X射线荧光仪结构及测量过程
波长色散X 射线荧光仪结构及测量过程
• 激 发 源 : 通常利用X射线管做激发源，产生初级X射线 • 样 品 : 被X 射线管产生的初级X射线辐照（激发），发射特征 X射线 • 色散系统 : 利用晶体的衍射原理，将样品组成元素发射的不同 波长的荧光 X 射线色散成波长单一的荧光X射线； • 探测系统 : 单色化的荧光X射线经探测器光电转换,由光信号转 变成电压脉冲信号； • 计数系统 : 用计算机能量多道分析器对脉冲信号进行计数； • 数据处理系统: 将X射线的强度转换为元素的浓度。
色散
• Axios cement配置3块分光晶体
- LiF200测量K-U之间的所有元素 - PE002测量Al- Cl之间的元素
- PX1测量O-Mg之间的元素
探测
• • 探测器工作原理: 以X射线的粒子性为基础把X射线光子转换成可 测量的电压脉冲 。 闪烁计数器： 探测重元素和短波辐射 8 - 32keV NiKα 到 BaKα 流气正比计数器： 适用于轻元素和长波辐射的探测 0.1 - 8 keV BeKα 到 NiKα 封闭正比计数器: 中等原子序数元素和中波长辐射的探测 4 - 9keV VKα 到 ZnKα 或CeL 到 WLα （有寿命）
amplifier and multi-channel analyser Detector Secondary target
channel counts
energy (KeV)
X-ray tube
Sample
X光管产生的初级X射线先打在一个二次靶上，二次靶产生的荧光X射线
或散射X射线再照射在样品上，这种仪器的优点是可以实现选择性激发。
XRF光谱仪类型
X射线荧光光谱仪按色散方式不同可分为两类： • 能量色散X射线荧光光谱仪：
利用半导体探测器和能量多道分析器对光谱直接进行分辨的仪器。
• 波长色散X射线荧光光谱仪：
利用晶体作为色散元件，对光谱进行分辨的仪器。
XRF光谱仪的类型
扫描型
• 波长色散型
固定道型 组合型（扫描型+固定道）
• 能量色散型: 直接激发、二次靶激发
操作简便，自动化程度高。 。
XRF在水泥工业中应用
在水泥工业中XRF可用于下列材料的分析： 煤 石膏 铁矿石、硫酸渣 粘土 石英砂 石灰石、电石渣 生料 熟料、水泥 混合材（石灰石、矿渣、粉煤灰等）
XRF分析的原理
试样受X射线照射后，其中各元素原子的内壳层（K、L 或M壳层）电子被激发逐出原子而引起壳层电子跃迁， 并发射出该元素的特征X射线（荧光）。每一种元素都 有其特定波长（或能量）的特征X射线。通过测定试样 中特征X射线的波长（能量），便可确定试样中存在何 种元素，即为X射线荧光光谱定性分析。元素特征X射 线的强度与该元素在试样中的原子数量（即含量）成比 例。因此，通过测量试样中某元素特征X射线的强度， 采用适当的方法进行校准与校正，便可求出该元素在试 样中的百分含量，即为X射线荧光光谱定量分析。
直接激发二次靶激发波长色散能量色散型xrf光谱仪类型x射线荧光光谱仪按照射方式不同可分为两类上照射式典型的如帕纳科cubixxrf下照射式典型的如帕纳科axiosmax波长色散与能量色散的区别波长色散可测量的元素范围从beu而能量色散只能测量nau之间的元素能量色散对轻元素和重元素的分辨率不如波长色散对中等元素分辨率相当帕纳科能量色散x射线荧光光谱仪epsilonminipal4epsilon3帕纳科波长色散x射线荧光光谱仪典型的波长色散x射线光谱仪顺序式axiosmaxaxios帕纳科波长色散x射线荧光光谱仪axiosfastvenus200cubixxrf能量色散x射线荧光光谱仪直接激发x光管产生的初级x射线直接照射在样品上这种仪器的特点是光程短体积小激发效率高
channel counts
energy (KeV)
X-ray tube detector amplifier and multi-channel analyser
X光管产生的初级X射线直接照射在样品上，这种仪器的特点是光程
短，体积小，激发效率高。
能量色散X射线荧光光谱仪（二次靶激发）
- X射线类型：SST-mAX，非钨灯丝、零挥发、金属陶瓷 超尖锐光管，Rh靶或其它靶材（对硅酸盐分析而言Rh靶 和Cr是最好的选择）
- 最大功率3KW - 最大管电压60kV,
- 最大管电流100 mA
激发源
X射线管输出依赖于下列因素： - 灯丝 - 加速电压 - 电流 - 真空 - 阳极靶材料 - 窗口
激发源
• 安全回路
- 阳极水温，阳极水流量，水位，水电导，阴极水 流量
- Axios顶部的X RAY ON指示灯（13W日光灯管）
- 控制面板上的X RAY ON指示灯 - X射线管上的高压电缆安全插头 - 测量腔安全压力传感器（30 to 40 hPa） - 高压钥匙开关触点
激发源
Axios cement荧光仪配置的X射线管
帕纳科能量色散X射线荧光光谱仪
Minipal4 Epsilon 5 Epsilon3
帕纳科波长色散X射线荧光光谱仪
典型的波长色散X射线光谱仪（顺序式）
Axios
AxiosmAX
帕纳科波长色散X射线荧光光谱仪
Cubix XRF Axiosfast
Venus200
能量色散X射线荧光光谱仪（直接激发）
样品
• Airlock 体积只有115cm3
• 自旋机构，30转/分 • 样品探测器
• Turret 包含两个位置
- Loading Position - Measuring Position
色散
• 基于布拉格原理将要分析的谱线从二次X射线谱中色 散出来
n 2dSin
• 要产生衍射，入射X射线的波长必须满足： λ <2d
激发源
• X射线管 - 激发源—激发样品原子，产生荧光X射线 - 波长色散X射线光谱仪需要有效的大激发功率，以很好 的进行测定；X射线管的稳定性和可靠性是非常重要的。 - 在灯丝(阴极)和靶阳极之间施加几千伏的电压，作为对 电子的加速电压。此电压常以千伏度量。阳极通常是铜， 而靶表面敷以高纯度的诸如Rh、Ag、Cr、Mo、W之类 元素的镀层。 - 用于波长色散X射线光谱测定的X射线管通常工作在14kW。此功率的大部分转化为热能，因此水冷却是必须 的。
- 在Axios中封闭探测器通常不单独使用，而是与流 气探测器串联起来构成复合探测器。
- 将封闭探测器的入射窗串联在流气探测器的后窗。
- 复合探测器输出的计数率实际上是2个探测器的计 数率之和。
样品
• 特征X射线的产生 - 利用初级X射线辐照样品； - 产生原子内壳层电子空位； - 原子跃迁发射X射线； 具有壳层电子空位的原子处于激发态，电子将重新排列， 外壳层电子向内壳层跃迁，填补内壳层的电子空位，同时 释放出跃迁能量，使原子回到基态。这跃迁能量以特征X射 线形式释放出来，或者能量转移给另一个轨道电子，使该 电子发射出来，即俄歇电子发射。
Axios cement内部结构图
Axios cement内部结构图
激发源
• 产生初级X射线，激发样品原子 • X射线发射器 - 为X射线管提供高压 - 固态发生器，不需要水冷 - 最大输出功率2.4kW - 输出电压：20kV-60kV，步长1kV - 输出电流：10mA-100mA, 步长1mA - 打盹设置(Doze): 50kV/40mA - 休眠设置(Sleep): 50kV/20mA
样品
•特征X射线的产生
样品
•K和L系特征X射线部分能级图
样品
• K系线 如果电子空位产生于K壳层，那么原子跃迁产生的谱线称 为K系线 • L系线 如果电子空位产生于L壳层，那么原子跃迁产生的谱线称 为系线 • 无论定性分析还是定量分析都只用到Kα ,Kβ ,Lα 和Lβ 四 条线
样品
• 样品分析向下（在X光管Be窗的上方) • 样品规格：高度Max40mm,直径 Max50mm • 样品不能超高，直径必须>样杯Mask
样品
• 样品传送系统 - 两位置转盘系统 - 标准配置为单进样，连续 装载为选购功能 - 空气中传送时间< 5秒 - 氮气中传送时间<15秒 - 真空中传送时间<10秒 - 氦气中传送时间<15秒
样品
• 样品传送系统包含下面的部件: - 控制电路SPC (SPECTRT-CNTR) PCB. - Cap - 转盘turret - 活塞plunger - 驱动Cap的汽缸 - 驱动plunger的汽缸 - 转盘电机M101 - 自旋电机M100
X荧光培训
X射线荧光光谱（XRF）分析原理 荷兰帕纳科公司 杨成选
XRF分析的原因
分析速度快，分析时间从几十秒到几分钟内变化，取决于仪器类型和 通道个数。
分析元素范围广，可分析Be4 〜 U92 之间的80多种元素。 测定元素的含量范围宽，从ppm-100%都可直接进行分析 精密度高，重现性好。短期精度可达0.01%量级，长期精度 <0.05%。 可分析的样品类型多。对固体、液体、松散粉末、压片、玻璃熔融片、 滤纸等多种类型样品都可直接进行分析。
• 波长色散+能量色散型
XRF光谱仪类型
X射线荧光光谱仪按照射方式不同可分为两类 • 上照射式
典型的如帕纳科Cubix XRF
• 下照射式
典型的如帕纳科AxiosmAX
波长色散与能量色散的区别
波长色散使用晶体分光，而能量色散则不使用 波长色散测量峰高，而能量色散测量的是峰面积 波长色散可测量的元素范围从Be-U,而能量色散只能测量 Na-U之间的元素 能量色散对轻元素和重元素的分辨率不如波长色散，对 中等元素分辨率相当 波长色散通常使用大功率X光管，而能量色散则使用小功 率X光管
探测
• 探测器（2θ ）与分光晶体（θ ）以2：1的速度旋转 • 探测器与分光晶体独立驱动 • 扫描角度： Flow&sealed 探测器 13°<2θ °<148° SC 探测器 0°<2θ °<104°
探测
流气探测器
＋HV(1700V)
前置放大器
探测
封闭探测器
探测
闪烁探测器
探测
• 复合探测器
激发源
• X光管由阳极靶（Rh）、阴极灯丝、Be窗口（75um)、 真空腔室、陶瓷绝缘体、阳极靶HT电源接头、阴极灯 丝电源接头、阳极冷却水管、阴极冷却水管和光管日 志电路等组成。
激发源
• 端窗X射线管 • 阳极靶加正高压，阴极灯丝接地(接地电阻<0.5Ω ) • 阳极靶用去离子水冷却，灯丝用外循环水冷却 • 99%以上的能量都转化为热能，只有不到1%的能量转化 为辐射能
Lif200 crystal
色散
分光晶体在测角仪中的位置
色散
测角仪
- 出射角：40º - θ /2θ 独立驱动，同轴
- 在机器后面的电子线路架上有两块Position control PCB板，左面的一块为2θ 驱动板，右面 的一块为1θ 驱动板 - 晶体与探测器以1：2速度旋转
色散
分光晶体
•
•
探测
探测效率
1.2
Relative Sensitivity
1.0 0.8 0.6 0.4 0.2
Scint Duplex Flow
Ca Sc
Ti
V
Cr Mn Fe
Co
Ni
Cu
Zn
探测
• Axios cement配置
- Flow探测器适用于BeKα 到 NiKα 的测量 - Scint探测器适用于NiKα 到 BaKα 的测量
色散
布拉格衍射定律
Ray 1 Ray 1
Ray 2
布拉格衍射定律
Ray 2
n 2 x 2dSin
色散
分光晶体在测角仪中的位置
Specimen Primary collimator
Detector
Tube
θ
Secondary collimator 2θ CuKα θ = 22.5150° 2θ = 45.0300°
激发源
• 滤光片的作用
- 消除光管特征线的干扰 - 微量分析时可提高峰/背比，获得较低的 LLD
- 减弱初级光束强度
- 抑制管光谱中的杂质谱
激发源
•滤光片的选择
样品
• 被X射线管产生的初级X射线辐照，发射特征X射线（荧光 X射线） • 特征X射线的强度与样品中元素的浓度成比例 • 特征X射线的波长反映了原子的特征，是X荧光定性分析 的依据（莫赛来定律）
激发源
连续谱分布
1 I ( ) KiZ 1 2 min
激发源
ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
Cr靶激发
激发源
Rh靶激发-重元素
激发源
Rh靶激发-轻元素
激发源
下照射式（分析面朝下）
激发源
• 在Axios上有7种规格滤光片可选： - Brass (100um - Brass (300um) - Brass (400um) - Al (200um) - Al (750um) - Pb (1000um) - Be (150um)
波长色散X射线光谱仪
Braggs Law : n=2dsin 布喇格方程
利用晶体的衍射特性区分不同元素发射的特征X射线。值得注意的是晶体 在空间顺序产生色散，而光栅在空间同时产生色散
波长色散X射线荧光仪结构及测量过程
波长色散X 射线荧光仪结构及测量过程
• 激 发 源 : 通常利用X射线管做激发源，产生初级X射线 • 样 品 : 被X 射线管产生的初级X射线辐照（激发），发射特征 X射线 • 色散系统 : 利用晶体的衍射原理，将样品组成元素发射的不同 波长的荧光 X 射线色散成波长单一的荧光X射线； • 探测系统 : 单色化的荧光X射线经探测器光电转换,由光信号转 变成电压脉冲信号； • 计数系统 : 用计算机能量多道分析器对脉冲信号进行计数； • 数据处理系统: 将X射线的强度转换为元素的浓度。
色散
• Axios cement配置3块分光晶体
- LiF200测量K-U之间的所有元素 - PE002测量Al- Cl之间的元素
- PX1测量O-Mg之间的元素
探测
• • 探测器工作原理: 以X射线的粒子性为基础把X射线光子转换成可 测量的电压脉冲 。 闪烁计数器： 探测重元素和短波辐射 8 - 32keV NiKα 到 BaKα 流气正比计数器： 适用于轻元素和长波辐射的探测 0.1 - 8 keV BeKα 到 NiKα 封闭正比计数器: 中等原子序数元素和中波长辐射的探测 4 - 9keV VKα 到 ZnKα 或CeL 到 WLα （有寿命）
amplifier and multi-channel analyser Detector Secondary target
channel counts
energy (KeV)
X-ray tube
Sample
X光管产生的初级X射线先打在一个二次靶上，二次靶产生的荧光X射线
或散射X射线再照射在样品上，这种仪器的优点是可以实现选择性激发。
XRF光谱仪类型
X射线荧光光谱仪按色散方式不同可分为两类： • 能量色散X射线荧光光谱仪：
利用半导体探测器和能量多道分析器对光谱直接进行分辨的仪器。
• 波长色散X射线荧光光谱仪：
利用晶体作为色散元件，对光谱进行分辨的仪器。
XRF光谱仪的类型
扫描型
• 波长色散型
固定道型 组合型（扫描型+固定道）
• 能量色散型: 直接激发、二次靶激发
操作简便，自动化程度高。 。
XRF在水泥工业中应用
在水泥工业中XRF可用于下列材料的分析： 煤 石膏 铁矿石、硫酸渣 粘土 石英砂 石灰石、电石渣 生料 熟料、水泥 混合材（石灰石、矿渣、粉煤灰等）
XRF分析的原理
试样受X射线照射后，其中各元素原子的内壳层（K、L 或M壳层）电子被激发逐出原子而引起壳层电子跃迁， 并发射出该元素的特征X射线（荧光）。每一种元素都 有其特定波长（或能量）的特征X射线。通过测定试样 中特征X射线的波长（能量），便可确定试样中存在何 种元素，即为X射线荧光光谱定性分析。元素特征X射 线的强度与该元素在试样中的原子数量（即含量）成比 例。因此，通过测量试样中某元素特征X射线的强度， 采用适当的方法进行校准与校正，便可求出该元素在试 样中的百分含量，即为X射线荧光光谱定量分析。
直接激发二次靶激发波长色散能量色散型xrf光谱仪类型x射线荧光光谱仪按照射方式不同可分为两类上照射式典型的如帕纳科cubixxrf下照射式典型的如帕纳科axiosmax波长色散与能量色散的区别波长色散可测量的元素范围从beu而能量色散只能测量nau之间的元素能量色散对轻元素和重元素的分辨率不如波长色散对中等元素分辨率相当帕纳科能量色散x射线荧光光谱仪epsilonminipal4epsilon3帕纳科波长色散x射线荧光光谱仪典型的波长色散x射线光谱仪顺序式axiosmaxaxios帕纳科波长色散x射线荧光光谱仪axiosfastvenus200cubixxrf能量色散x射线荧光光谱仪直接激发x光管产生的初级x射线直接照射在样品上这种仪器的特点是光程短体积小激发效率高