SiH4的化学性质

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SiH4的化学性质
沃银花;王少楠;余京松
【期刊名称】《低温与特气》
【年(卷),期】2005(023)004
【摘要】SiH4是易燃、易爆的危险性气体.因为它是强还原性物质,与氧化性物质、碱或许多重金属盐类溶液接触,会显示出很强的活泼性.详细介绍了SiH4的基本性质.
【总页数】3页(P23-25)
【作者】沃银花;王少楠;余京松
【作者单位】浙江大学,材化学院,半导体所,浙江,杭州,310027;西南化工研究设计院,四川,成都,610225;浙江大学,材化学院,半导体所,浙江,杭州,310027
【正文语种】中文
【中图分类】TQ117
【相关文献】
1.添加H2对SiH4/N2/Ar等离子体淀积的氮化硅电学和光学特性的影响 [J], 景
亚霓;钟传杰
2.一种PECVD设备中SiH4及N2的气体分析方案 [J], 潘阿伟
3.模拟分析SiH4和N2O产生等离子体加强化学沉积制备SiO2薄膜 [J], 陈心园;黄建;邓伟;王维;周筑文
4.SiH4辉光放电等离子体中中性基团的轴向分布 [J], 祝祖送;尹训昌;尤建村
5.应用回归分析改善A面板工厂SiH4日常供应管理 [J], 姜昌日
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