SEMI最新版气体标准目录
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SEMI最新版气体标准目录
王少楠;张军
【期刊名称】《低温与特气》
【年(卷),期】2005(023)001
【摘要】@@ SEMI C3-0699rn气体规范rnSEMI C3.12-1102rn瓶装氨标准，纯度99.998%rnSEMI C3.1-93 (Reapproved 1101)
【总页数】2页(P38-39)
【作者】王少楠;张军
【作者单位】全国气体标准化技术委员会,秘书处,四川,成都,610225;全国气体标准化技术委员会,秘书处,四川,成都,610225
【正文语种】中文
【中图分类】T-651
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