RENA清洗设备操作规
合集下载
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
RENA清洗设备操作规程
确认外围电力供应到位后，将电力控制柜前 的红色送电旋钮从OFF旋到ON
设备供电后再在将冷却器的旋开关从OFF 旋到ON
确认所有红色急停按钮拉出后到设备前方操 作区域将显示器下方的绿色ON按钮按下
用钥匙打开显示器后面的门，将显示器电源 开关POWER打开
计算机系统启动后将自动进入生产操作界面，点击Login 进入登陆界面，输入用户名及密码，点击ok 进
生产准备
• 穿上工作服，戴上PVC/昵绒手套，清洗操 作人员需要戴上安全眼镜、防护面具、防 酸碱围裙、长袖防酸手套 • 确保手套没有粘有油脂性物质，严禁直接 接触硅片的正反面，只允许接触硅片的两 侧，在插片过程。中禁止用手套接触皮肤， 如接触过皮肤、头发或者是带有油脂的物 品，请更换手套
确认厂务配套各项目是否正常
其他要求
• 在正常生产过程中，不要出现半小时的停产。若出现停产 半小时以上情况 ，请将刻蚀槽溶液排至Tank，以保证溶 液浓度稳定。若出现停产半小时以上，清洗操作人员带好 防护用品，打开KOH 槽的上盖用水枪冲洗KOH 槽喷淋管， 冲洗完毕后，盖上盖子进入正常生产 • 无论设备是否在生产过程中，应尽量保证滚轮处于运行状 态 • 若生产操作人员发现有除工艺人员、设备人员和生产指定 人员以外，有人操作设备必须立即发出制止 • 设备发生叠片时，片间可能是化学溶液，要先带好防护用 品，再拿到水枪处反复冲洗，再用气枪吹干
入,确认界面各模块单元上方显示黄色“Manual”状态，且滚轮显示蓝色即滚动状态
• 确认监测屏幕上显示各模块溶液均满槽 （即Full DI、Full Chem)和设备门窗均关 闭。Etch Bath 显示 Not Ready，Dryer1 Dryer2 显示 Ready • 确认各模块有无报警信息，若有任何异常， 通知当班工艺工程师和设备工程师
• 酸洗槽（acidic bath） • 先确认机器处于手动状态，点击控制面板上的 Manual Mode • 选择菜单Manual，然后点击acidic • 按下draining将酸槽的化学品排掉，等待直到图表 显示为“Empty”(黄色) • 酸槽的冲洗，按下“ rinsing” 冲洗(屏幕的左边)。 酸槽将充满水和开始循环。可通过程序设定冲洗 次数。清洗完成之后，系统自动将水排掉，酸槽 内状态保持空的 • 在排空槽内液体并清洗完毕后按下filling chemie, 系统将按工艺设定配比容积加入药液
点击Manual 按钮
进入Drives 菜单
点击All Conveyor，点击Stop 停止 滚轮，点F10 退回主界面。
• 点击Mode Auto 按钮，设备进入自动模式， 在界面上所有操作单元下方从黄色 “Manual”转变成绿色“Auto” • 设备将自动开始从Tank 中向Etch bath 添 加腐蚀液，界面上Etch bath 单元下方显示 为黄色“Filling chemie”和黄色“not ready”, 等待Etch bath 添加完成，等待碱槽和酸槽 温度显示稳定，下方显示为绿色“Full chemie”和绿色“Ready”。随后点击“start” 按钮各模块自动运行。界面显示各模块均 为绿色“Ready”和绿色＂in process＂．即 设备进入正常生产状态
药液更换
• 蚀刻槽（etch bath） • 选择菜单Manual，然后点击etch bath • 在确定需要更换药液后点击屏幕左边操作 菜单上的BATH CHANGE，系统将自动将 液体排空，再依工艺设定的清洗次数进行 槽和罐的清洗，最后按照工艺设定补充相 应量的药液到储液罐内，至此蚀刻槽的换 药结束
• 用水枪冲洗KOH 的喷淋管和槽体，并清洁 设备表面 • 检查各门的位置，正确地调整好它们 • 击右上角的“Log off”，跳出一个对话框。 点击对话框中“Log off”，门将被密封。若 生产区域的门未正确地调整好位置，Alert 警报会出现。再次登录，调整好门的位置， 按F1 消除警报，再登出 • 关掉设备的显示器，关闭电力控制柜电源 开关
• 碱洗槽（alkaline bath） • 先确认机器处于手动状态，点击控制面板上的 Manual Mode • 选择菜单Manual,然后点击alkaline • 按下draining将碱槽的化学品排掉，等待直到图表 显示为“Empty”(黄色) • 碱槽的冲洗，按下“ rinsing” 冲洗(屏幕的左边)。 碱槽将充满水和开始循环。可通过程序设定冲洗 次数。清洗完成之后，系统自动将水排掉，碱槽 内状态保持空的 • 在排空槽内液体并清洗完毕后按下filling chemie, 系统将按工艺设定配比容积加入药液
关机步骤
• 确认各模块均停止工作，点击“Mode manual”按钮进入手动模式点击manual 进 入Drives 菜单点击All Conveyor，点击Start 启动滚轮，点击F10 退回主界面
进入“Manual”选单中“Etch bath”
点击“Drain Bath”,即把Etch bath 中的反应液排到Tank内，点击F10 退回主菜单， 确认Etch Bath 模块显示黄色＂not ready"和黄色＂draining"。等待Etch bath 排 液完成，在Etch bath 模块上只显示为黄色“not ready”，表明液体排完
确认外围电力供应到位后，将电力控制柜前 的红色送电旋钮从OFF旋到ON
设备供电后再在将冷却器的旋开关从OFF 旋到ON
确认所有红色急停按钮拉出后到设备前方操 作区域将显示器下方的绿色ON按钮按下
用钥匙打开显示器后面的门，将显示器电源 开关POWER打开
计算机系统启动后将自动进入生产操作界面，点击Login 进入登陆界面，输入用户名及密码，点击ok 进
生产准备
• 穿上工作服，戴上PVC/昵绒手套，清洗操 作人员需要戴上安全眼镜、防护面具、防 酸碱围裙、长袖防酸手套 • 确保手套没有粘有油脂性物质，严禁直接 接触硅片的正反面，只允许接触硅片的两 侧，在插片过程。中禁止用手套接触皮肤， 如接触过皮肤、头发或者是带有油脂的物 品，请更换手套
确认厂务配套各项目是否正常
其他要求
• 在正常生产过程中，不要出现半小时的停产。若出现停产 半小时以上情况 ，请将刻蚀槽溶液排至Tank，以保证溶 液浓度稳定。若出现停产半小时以上，清洗操作人员带好 防护用品，打开KOH 槽的上盖用水枪冲洗KOH 槽喷淋管， 冲洗完毕后，盖上盖子进入正常生产 • 无论设备是否在生产过程中，应尽量保证滚轮处于运行状 态 • 若生产操作人员发现有除工艺人员、设备人员和生产指定 人员以外，有人操作设备必须立即发出制止 • 设备发生叠片时，片间可能是化学溶液，要先带好防护用 品，再拿到水枪处反复冲洗，再用气枪吹干
入,确认界面各模块单元上方显示黄色“Manual”状态，且滚轮显示蓝色即滚动状态
• 确认监测屏幕上显示各模块溶液均满槽 （即Full DI、Full Chem)和设备门窗均关 闭。Etch Bath 显示 Not Ready，Dryer1 Dryer2 显示 Ready • 确认各模块有无报警信息，若有任何异常， 通知当班工艺工程师和设备工程师
• 酸洗槽（acidic bath） • 先确认机器处于手动状态，点击控制面板上的 Manual Mode • 选择菜单Manual，然后点击acidic • 按下draining将酸槽的化学品排掉，等待直到图表 显示为“Empty”(黄色) • 酸槽的冲洗，按下“ rinsing” 冲洗(屏幕的左边)。 酸槽将充满水和开始循环。可通过程序设定冲洗 次数。清洗完成之后，系统自动将水排掉，酸槽 内状态保持空的 • 在排空槽内液体并清洗完毕后按下filling chemie, 系统将按工艺设定配比容积加入药液
点击Manual 按钮
进入Drives 菜单
点击All Conveyor，点击Stop 停止 滚轮，点F10 退回主界面。
• 点击Mode Auto 按钮，设备进入自动模式， 在界面上所有操作单元下方从黄色 “Manual”转变成绿色“Auto” • 设备将自动开始从Tank 中向Etch bath 添 加腐蚀液，界面上Etch bath 单元下方显示 为黄色“Filling chemie”和黄色“not ready”, 等待Etch bath 添加完成，等待碱槽和酸槽 温度显示稳定，下方显示为绿色“Full chemie”和绿色“Ready”。随后点击“start” 按钮各模块自动运行。界面显示各模块均 为绿色“Ready”和绿色＂in process＂．即 设备进入正常生产状态
药液更换
• 蚀刻槽（etch bath） • 选择菜单Manual，然后点击etch bath • 在确定需要更换药液后点击屏幕左边操作 菜单上的BATH CHANGE，系统将自动将 液体排空，再依工艺设定的清洗次数进行 槽和罐的清洗，最后按照工艺设定补充相 应量的药液到储液罐内，至此蚀刻槽的换 药结束
• 用水枪冲洗KOH 的喷淋管和槽体，并清洁 设备表面 • 检查各门的位置，正确地调整好它们 • 击右上角的“Log off”，跳出一个对话框。 点击对话框中“Log off”，门将被密封。若 生产区域的门未正确地调整好位置，Alert 警报会出现。再次登录，调整好门的位置， 按F1 消除警报，再登出 • 关掉设备的显示器，关闭电力控制柜电源 开关
• 碱洗槽（alkaline bath） • 先确认机器处于手动状态，点击控制面板上的 Manual Mode • 选择菜单Manual,然后点击alkaline • 按下draining将碱槽的化学品排掉，等待直到图表 显示为“Empty”(黄色) • 碱槽的冲洗，按下“ rinsing” 冲洗(屏幕的左边)。 碱槽将充满水和开始循环。可通过程序设定冲洗 次数。清洗完成之后，系统自动将水排掉，碱槽 内状态保持空的 • 在排空槽内液体并清洗完毕后按下filling chemie, 系统将按工艺设定配比容积加入药液
关机步骤
• 确认各模块均停止工作，点击“Mode manual”按钮进入手动模式点击manual 进 入Drives 菜单点击All Conveyor，点击Start 启动滚轮，点击F10 退回主界面
进入“Manual”选单中“Etch bath”
点击“Drain Bath”,即把Etch bath 中的反应液排到Tank内，点击F10 退回主菜单， 确认Etch Bath 模块显示黄色＂not ready"和黄色＂draining"。等待Etch bath 排 液完成，在Etch bath 模块上只显示为黄色“not ready”，表明液体排完