垂直式HVPE反应器温场的数值模拟

垂直式HVPE反应器温场的数值模拟
赵勇明;陈贵锋;陈雷英;马晓薇;白云娜;李养贤
【期刊名称】《半导体技术》
【年(卷),期】2008(0)S1
【摘要】基于CFD理论得出了不同条件下的温场分布,研究了流速变化对HVPE 反应器温场的影响。

在模拟计算中,流场数值模拟基于非交错网格系统的SIMPLE 算法,用有限体积方法对控制方程进行离散,并采用改进的压力-速度耦合方法进行求解温场通过与具体实验结合选择合适的温度传输模型,分别改变石墨环几何尺寸、流量等条件,得到反应器流场、温场的相应变化。

根据对模拟结果进行分析,流场对温场的影响是重要的影响因素,流量的大小直接关系到温场的分布,并把数值模拟结果与实验进行了对比验证。

【总页数】3页(P116-118)
【关键词】氢化物气相外延;温场;计算机流体力学;有限体积法;流场
【作者】赵勇明;陈贵锋;陈雷英;马晓薇;白云娜;李养贤
【作者单位】河北工业大学材料学院信息功能材料研究所
【正文语种】中文
【中图分类】TN304.055
【相关文献】
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