静电防护管理规范教材

设备装置设备离子风机/扇

离子平衡测试

衰减时间：2 S

离子平衡：±50 V

每月QC 风量

最大风量管控（特殊要求的

站别，适合风量管控）

注：只管控，不记录

每日巡检确认QC 使用距离

除静电风机固定在对象物品

30cm 距离以内处（某些场

所、条件下，要基于实际的

作业环境、装置差异等调整、

确定适当的使用距离）

注：只管控，不记录

每日巡检确认QC 使用角度

根据对象品与固定点的位置

关系选定最佳吹风角度(为

了避免角度在实际使用过程

中被有意或无意的改变，要

明确的标识角度)注：只管

控，不记录

每日巡检确认QC 设备接地设备接地阻抗106Ω～109Ω每半年QC

5.2 测试仪器

表2 仪器用途表

No 仪器名称用途

1 离子平衡测定器测量离子风机/扇静电消除结果

2 阻抗计测量机台接地阻抗

3 人体ESD装备综合测试仪测试每日进入洁净室人员穿着防静电服装后的状态

6.人体ESD装备综合测试仪使用方法

6.1人体ESD装备综合测试仪操作说明：

静电防护管理规范编号DSM-MF-XXXX

LO：低于设定值，PASS:设定值范围内，HI:高于设定值，有报警功能，参数表如下：

指示灯电阻值

LO R<750KΩ

PASS 750KΩ≦R≦100MΩ

HI R>100MΩ

6.2人体综合测试仪测试方法

静电环的佩戴方式：必须与皮肤紧密接触，不得松弛，不得隔衣物，必须将金属片戴在手腕上侧，如下图所示

人员穿着无尘服装完毕后，在进工程作业前在人体静电综合测试仪上进行人体ESD状态测试,测量方法如下所示

a.双脚站在测试仪金属板上，双脚完全接触金属板，静电环连接在仪器上；

b.用手腕处的皮肤按压静电测试仪器的检测按钮,三个指示灯都亮绿灯即合格（OK），有一个指示灯亮红灯则为不合格（NG），并且蜂鸣器会长鸣。如下图：

静电防护管理规范编号DSM-MF-XXXX

静电防护管理规范

编号

DSM-MF-XXXX

6.2.1测量频率：2次/班

6.2.2测量仪器矫正频率：1次/年，仪器必须在有效的矫正期内才能够使用 6.2.3测试对象:所有产线作业人员

6.2.4静电环的作用：人体所带的静电量及人体所产生静电的变化时，静电荷能够瞬间导出 6.2.5记录方法：人体综合测试结果记录在点检表（DSM-MF-Q006A-01） 6.3人体综合测试异常处理流程：

7.设备接地

人员穿着无尘服与佩戴静电环

着装检查、静电环佩戴检查，是否符合要求 禁止进入，按照要求进行改善

否

是

人体ESD 综合测试是否符合要求 进入工程作业 进入更衣室

是

重复测量3次确认是否符合要求

是

否

否

无尘衣、无尘鞋、静电环更换

静电防护管理规范编号DSM-MF-XXXX 设备接地方法：将接地电缆外皮剥离，内部铜线缠绕在设备接地脚上，全部链接后统一接地工厂内等电位端子箱。

设备接地的作用：将设备作业产生的电荷导入大地，以免电荷累计，导致静电破坏，造成对人员、设备、产品的损害。

测量记录方法：设备接地阻抗测量的结果记录在点检表（DSM-MF-Q006A-03）

设备接地注意事项：设备接地线与人员接地线分开。

8. 装备（设备内静电Bar、离子风机/扇）

8.1静电测量方式：用离子平衡测试仪测量

8.2静电规格：≤ ± 100 V（产品）；2秒内± 1000 V → ± 100 V平衡电压± 50 V以内，

不良标准：

a. 衰减时间超过2 秒情况；

b. 平衡电压时超过±50 V的情况。

8.3测量距离在30 cm之间，测量异常时立即清洁或者更换，直至测试通过。

8.4点检使用装置：离子平衡测试仪

8.5测量方法：

8.5.1离子平衡测试仪线路连接

8.5.2测量方法

①将HCK电线插在

COLLETING插口上

②将ELEGTRONIGS电

线插在GROUND插口

③最后将Pomona插口与

ELEGTRONIGS插口连接

①打开仪器电源②将NODE按钮调节

到+DECAY档

③按下TEST/RESET键。看PLATE

VOLTAGE所显示的数值为1000ⅴ时，

将接受端平板靠近离子风机距离出风口

20至30cm左右（手握静电接受平板时

不能触碰到平板，否则测量值不准确。）

静电防护管理规范

编号

DSM-MF-XXXX

8.6测量记录方法：测量的结果记录在点检表（DSM-MF-Q006A-02） 8.7测量仪器矫正频率：1次/年，仪器必须在有效的矫正期内才能够使用 8.9静电风扇、静电Bar 清洁管控 8.9.1静电风扇清洁方式：

①滤网清洁方式：取出滤网，水洗并充分干燥之后，方可放回原处 ②静电风扇内部清洁方式：无尘布蘸酒精清洁（注：不可伤及静电针） 8.9.2静电Bar 清洁方式：无尘布蘸酒精清洁（注：不可伤及静电针）

9. 台车使用管控方式：

④观察PLATE VOLTAGE 所显示的数值从1000ⅴ降至100ⅴ以内时所需的衰减时间DECAY TIME 所显示的数值（显示值在2s 内则说明该离子风机正常）

⑤将MDE 按钮调节到-DECAY 档，重复②③步骤

⑥将MDE 按钮调节到

FLOAT 档

⑥按下TEST/RESET 键，观察PLATE VOLTAGE 所显示的数值是多少。如下图所示（显示数值在±50以内则该离子风机无异常）

⑦测量结束关闭电源