静电防护管理规范教材

设备装置设备离子风机/扇
离子平衡测试
衰减时间：2 S
离子平衡：±50 V
每月QC 风量
最大风量管控（特殊要求的
站别，适合风量管控）
注：只管控，不记录
每日巡检确认QC 使用距离
除静电风机固定在对象物品
30cm 距离以内处（某些场
所、条件下，要基于实际的
作业环境、装置差异等调整、
确定适当的使用距离）
注：只管控，不记录
每日巡检确认QC 使用角度
根据对象品与固定点的位置
关系选定最佳吹风角度(为
了避免角度在实际使用过程
中被有意或无意的改变，要
明确的标识角度)注：只管
控，不记录
每日巡检确认QC 设备接地设备接地阻抗106Ω～109Ω每半年QC
5.2 测试仪器
表2 仪器用途表
No 仪器名称用途
1 离子平衡测定器测量离子风机/扇静电消除结果
2 阻抗计测量机台接地阻抗
3 人体ESD装备综合测试仪测试每日进入洁净室人员穿着防静电服装后的状态
6.人体ESD装备综合测试仪使用方法
6.1人体ESD装备综合测试仪操作说明：
静电防护管理规范编号DSM-MF-XXXX
LO：低于设定值，PASS:设定值范围内，HI:高于设定值，有报警功能，参数表如下：
指示灯电阻值
LO R<750KΩ
PASS 750KΩ≦R≦100MΩ
HI R>100MΩ
6.2人体综合测试仪测试方法
静电环的佩戴方式：必须与皮肤紧密接触，不得松弛，不得隔衣物，必须将金属片戴在手腕上侧，如下图所示
人员穿着无尘服装完毕后，在进工程作业前在人体静电综合测试仪上进行人体ESD状态测试,测量方法如下所示
a.双脚站在测试仪金属板上，双脚完全接触金属板，静电环连接在仪器上；
b.用手腕处的皮肤按压静电测试仪器的检测按钮,三个指示灯都亮绿灯即合格（OK），有一个指示灯亮红灯则为不合格（NG），并且蜂鸣器会长鸣。

如下图：
静电防护管理规范编号DSM-MF-XXXX
静电防护管理规范
编号
DSM-MF-XXXX
6.2.1测量频率：2次/班
6.2.2测量仪器矫正频率：1次/年，仪器必须在有效的矫正期内才能够使用 6.2.3测试对象:所有产线作业人员
6.2.4静电环的作用：人体所带的静电量及人体所产生静电的变化时，静电荷能够瞬间导出 6.2.5记录方法：人体综合测试结果记录在点检表（DSM-MF-Q006A-01） 6.3人体综合测试异常处理流程：
7.设备接地
人员穿着无尘服与佩戴静电环
着装检查、静电环佩戴检查，是否符合要求 禁止进入，按照要求进行改善
否
是
人体ESD 综合测试是否符合要求 进入工程作业 进入更衣室
是
重复测量3次确认是否符合要求
是
否
否
无尘衣、无尘鞋、静电环更换
静电防护管理规范编号DSM-MF-XXXX 设备接地方法：将接地电缆外皮剥离，内部铜线缠绕在设备接地脚上，全部链接后统一接地工厂内等电位端子箱。

设备接地的作用：将设备作业产生的电荷导入大地，以免电荷累计，导致静电破坏，造成对人员、设备、产品的损害。

测量记录方法：设备接地阻抗测量的结果记录在点检表（DSM-MF-Q006A-03）
设备接地注意事项：设备接地线与人员接地线分开。

8. 装备（设备内静电Bar、离子风机/扇）
8.1静电测量方式：用离子平衡测试仪测量
8.2静电规格：≤ ± 100 V（产品）；2秒内± 1000 V → ± 100 V平衡电压± 50 V以内，
不良标准：
a. 衰减时间超过2 秒情况；
b. 平衡电压时超过±50 V的情况。

8.3测量距离在30 cm之间，测量异常时立即清洁或者更换，直至测试通过。

8.4点检使用装置：离子平衡测试仪
8.5测量方法：
8.5.1离子平衡测试仪线路连接
8.5.2测量方法
①将HCK电线插在
COLLETING插口上
②将ELEGTRONIGS电
线插在GROUND插口
③最后将Pomona插口与
ELEGTRONIGS插口连接
①打开仪器电源②将NODE按钮调节
到+DECAY档
③按下TEST/RESET键。

看PLATE
VOLTAGE所显示的数值为1000ⅴ时，
将接受端平板靠近离子风机距离出风口
20至30cm左右（手握静电接受平板时
不能触碰到平板，否则测量值不准确。

）
静电防护管理规范
编号
DSM-MF-XXXX
8.6测量记录方法：测量的结果记录在点检表（DSM-MF-Q006A-02） 8.7测量仪器矫正频率：1次/年，仪器必须在有效的矫正期内才能够使用 8.9静电风扇、静电Bar 清洁管控 8.9.1静电风扇清洁方式：
①滤网清洁方式：取出滤网，水洗并充分干燥之后，方可放回原处 ②静电风扇内部清洁方式：无尘布蘸酒精清洁（注：不可伤及静电针） 8.9.2静电Bar 清洁方式：无尘布蘸酒精清洁（注：不可伤及静电针）
9. 台车使用管控方式：
④观察PLATE VOLTAGE 所显示的数值从1000ⅴ降至100ⅴ以内时所需的衰减时间DECAY TIME 所显示的数值（显示值在2s 内则说明该离子风机正常）
⑤将MDE 按钮调节到-DECAY 档，重复②③步骤
⑥将MDE 按钮调节到
FLOAT 档
⑥按下TEST/RESET 键，观察PLATE VOLTAGE 所显示的数值是多少。

如下图所示（显示数值在±50以内则该离子风机无异常）
⑦测量结束关闭电源
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业务程序书制定（改订）履历表。