桌面式磁控溅射仪安全操作及保养规程

桌面式磁控溅射仪安全操作及保养规程
前言
磁控溅射是一种薄膜制备技术。

在实验中，操作规程的遵守和设备的维护是确保实验成功运行和保证操作安全的重要环节。

本文档旨在提供一份完善的磁控溅射仪的操作和保养规范，以便实验人员遵守，在保证实验安全的前提下，取得更好的实验结果。

安全操作规程
操作前准备
1.磁控溅射仪操作前需要佩戴防护手套，以免触摸表面造成
人体损伤或者使样品污染。

2.鼓风机、备料器、真空泵、离子源等附属设备都应该经过
检查，确保正常工作。

3.磁控溅射仪应该安装在较为稳固的工作台上, 并连接好地
线。

样品放置
1.样品的面向离子源的一面需要平整，并保持进行擦洗和超
声波清洗，避免各种杂质附着。

2.样品放置的位置需要注意：应该放在离子源正下方，可以
选择放置在省略口里、盛装材料的桶里或者浇口前，从而避免样品放置不平或不稳定。

操作过程
1.打开磁控溅射仪开关，等待加热棒达到设定的高温。

该过
程可能需要等待5-10分钟，实验人员需要关注加热棒的状态，以确保安全操作。

2.向磁控溅射仪的离子源加入稳定的靶材料，通电，让靶材
料进行放电。

此时，室内气体将被放电，引起碰撞，使介入到的石墨被离解，最后沉积在样品表面。

3.沉积完成后，应该等待磁控溅射仪的温度降低至正常温度，
并将样品从夹具中取下备用。

操作后整理
1.在样品取出后，关闭磁控溅射开关，将离子源从磁控溅射
仪中拆除，清理靶材料和离子源。

2.将样品送到显微镜下进行检查和测试，并将其保存在样品
柜中。

维护保养方法
日常维护
1.磁控溅射仪禁止长时间不使用，应该在使用之前进行充分
检查，以确保正常工作。

2.清洁进入工作室的空气。

在每个操作结束后通风室至少10
分钟以上，有效避免氧化或异物回流造成的影响。

3.定期检查磁控溅射仪中压力表、气瓶的液位以及腐蚀和氧
化等痕迹，若出现异常，应该立即进行维修或者更换。

涂层异常情况的处理
1.表面不平整：如果样品表面出现不均匀、不平整等情况，
应该从样品放置和离子源的放置方面加强调整。

此外，还可以通过改变引出电极弯曲角度、调整离子源的操作角度来彻底解决问题。

2.气泡、凸起、氧化等情况: 此时，需要终止样品的沉积，
考虑是否需要清洁，或者更换杂质少的靶材料。

对于出现严重
损伤的样品，实验人员应该考虑进行修复，或者重新制备样品，并采取合理的沉积方式，避免重复出现同样的问题。

总结
磁控溅射是一种用于制备薄膜和涂层技术的有力工具。

为了实现安全操作和保证实验成功，实验人员需要遵循相关的操作规程和保养方法。

文档提供了详细的操作和保养指南，建议实验人员仔细阅读并严格遵守，以确保实验安全和操作成功。