CMOS电路版图设计

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CMOS电路版图设计
版图(Layout)是集成电路设计者将设计并模拟 优化后的电路转化成的一系列几何图形,它包含 了集成电路尺寸大小、各层拓扑定义等有关器件 的所有物理信息。 集成电路制造厂家根据这些信息来制造掩膜。 版图的设计有特定的规则,这些规则是集成电路 制造厂家根据自己的工艺特点而制定的。因此不 同的工艺,就有不同的设计规则。设计者只有得 到了厂家提供的规则以后,才能开始设计。版图 在设计的过程中要进行定期的检查,避免错误的 积累而导致难以修改。很多集成电路的设计软件 都有设计版图的功能。
PMOS俯视图
NMOS和PMOS版图(续)
图中多晶硅(Poly)形成MOS管的栅极。N+扩散和有源区 (Active)共同形成N型有源区,P+扩散和有源区共同形成 P型有源区。有源区分别在栅极两侧构成源区(S)和漏区 (D)。源区和漏区又分别通过接触孔(Contact)与第一层金 属(Metal1)连接构成源极和漏极。 MOS管的可变参数为:栅长(gate_length)、栅宽 (gate_width)和栅指数(gates)。 栅长(gate_length)指栅极下源区和漏区之间的沟道长度 。 (如:某种工艺最小值为2lambda=0.4μm) 栅宽(gate_width)指栅极下有源区(沟道)的宽度。(如:某 种工艺最小栅宽为3 lambda=0.6μm) 栅指数(gates)指栅极的个数。
NMOS 工 艺 流 程
P阱CMOS工艺流程
NMOS和PMOS版图
Poly 2 1 1 2 3 1.5 Active 1.5 N_plus_select
Contact
Metal1
NMOS俯视图
4
N_well Poly
2 1 1.5
P_plus_select 2 1 3 1.5 Active Contact Metal1
多晶硅电阻
2.0
Poly Contact
2.0
Xd 1.0
第一层多晶硅电阻俯视图
2.0
Xd 1.5
PMOS晶体管版图
Micowind画的CMOS反相器版图
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