石墨舟维护规程

PECVD石墨舟维护规程
石墨舟使用达到一定次数，石墨舟表面及氮化硅层严重影响整舟均匀性和使用寿命，为保证PECVD产品表面颜色均匀，特制定本规程。

本规程适用于石墨舟清洗、烘干、镀舟及表面处理。

一、石墨舟清洗、烘舟
1.清洗槽配酸比例：
纯水加到25CM高（约168L），加入HF4瓶（16L），开鼓泡5分钟。

2.补酸：
每洗完一次石墨舟后向酸槽中加入2LHF保证槽中HF酸浓度，开鼓泡5分钟。

注：加酸、补酸操作时必须穿戴好防服用品，保证安全操作。

3.洗舟：
泡酸：将待洗石墨舟拆下电极叉，并将舟石墨螺母拧松放入空槽中，将另一侧酸液抽到放好舟的槽中，检查液位必须完全淹住石墨舟。

根据舟的使用次数必须在酸槽中放置6~10小时，待石墨舟表面黄色氮化硅完全被酸分解，可以将槽中的酸液抽到另外一侧。

为提高洗舟效率可在准备抽酸前，将其他待洗石墨舟放入另一侧，当酸抽入时补酸后继续循环洗舟。

如与漂洗时间冲突时可延长泡酸时间。

漂洗：
待洗舟槽中酸液抽完后，打开排液阀并打开喷淋阀，冲洗1小时后关闭排酸阀，当纯水液位到槽溢流位时关闭喷淋阀并打开鼓泡阀。

当舟在纯水中漂2小时后，关闭鼓泡阀并打开排水阀，将槽中纯水全部排完后关闭排水阀并打开进水阀，当液位到达淹没到石墨舟后
将进水阀关闭，继续漂洗6小时以上。

当完成以上时间后将槽中纯水排干净，将石墨舟提出用气枪将石墨舟表面水份吹干。

注：吹时注意气流方向必须与石墨舟极板保持平衡，吹气角度不得大于45度，防止因气压过大造成极板损坏。

4.烘舟：
烘箱温度设定为120度，将待烘石墨舟放入烘箱，关好箱门打开加温开关，保持烘舟12小时以上。

注：在烘舟中途不允许关闭加温和打开箱门。

烘箱每半月用吸尘器将内部吸干净，内部腐蚀严重时必须使用酒精擦拭干净才能使用。

二、表面处理
当石墨舟使用和清洗到一定次数后表面开始出现凹坑，严重影响到产品表面均匀性和石墨舟使用寿命，为保证使用效果特规定石墨舟在清洗后必须进行表面磨光处理。

将烘干降温的石墨舟送到指定维护地点拆散，在磨光处理前用专用工具将工艺卡点拆下，待磨完后装上工艺卡点（注意调整卡点磨损方向，卡点磨损严重时必须更换），完成以上步骤后按方向装好石墨舟送回车间。

注：石墨舟属易碎品在进行磨光处理时必须保证石墨舟极板完好无损。

三、镀舟（饱和）：
打磨好的石墨舟装好电极叉，并将石墨舟两侧连接块处石墨螺母拧紧，中间螺母适当拧松后放入指定的镀舟管，选择指定镀舟工艺镀舟，镀完的舟放到指定货架上待用。

以上各步骤必须作好日期、时间及舟号记录，方便问题追溯。