一种光学球面曲率半径的检测方法[发明专利]
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专利名称:一种光学球面曲率半径的检测方法专利类型:发明专利
发明人:王孝坤,李锐刚,郑立功,张学军
申请号:CN201110128160.0
申请日:20110518
公开号:CN102168955A
公开日:
20110831
专利内容由知识产权出版社提供
摘要:一种光学球面曲率半径的检测方法,涉及光学球面曲率半径的测量方法,它解决了现有测量光学球面的曲率半径的方法存在误差,并且现有测量方法较难精确实现对大曲率半径的球面镜进行测量的问题,其方法为:调整靶标球与干涉仪的相对位置,判断靶标球的曲率中心与干涉仪出射波前焦点是否重合;是,则激光跟踪仪测量靶标球的曲率中心坐标,所述靶标球的曲率中心坐标即为干涉仪出射波前焦点的坐标;否,继续调整靶标球与干涉仪的相对位置;直到待测球面镜达到零条纹干涉状态;采用激光跟踪仪测量待测球面镜上多点的位置坐标;然后将多个值进行平均和统计运算,获得待测光学球面镜的曲率半径。
本发明适用于光学测量技术领域。
申请人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
地址:130033 吉林省长春市东南湖大路3888号
国籍:CN
代理机构:长春菁华专利商标代理事务所
代理人:陶尊新
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